Предисловие

Цели и принципы стандартизации в Российской Федерации установлены Федеральным законом от 27 декабря 2002 г. № 184-ФЗ «О техническом регулировании», а правила применения национальных стандартов Российской Федерации — ГОСТ Р 1.0-2004 «Стандартизация в Российской Федерации. Основные положения»

Сведения о стандарте

1    РАЗРАБОТАН Федеральным Государственным унитарным предприятием «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП ВНИИОФИ)

2    ВНЕСЕН Научно-техническим управлением Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии

3    УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 15 декабря 2009 г. № 972-ст

4    ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодно издаваемом информационном указателе «Национальные стандарты». а текст изменений и поправок — в ежемесячно издаваемых информационных указателях «Национальные стандарты». В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ежемесячно издаваемом информационном указателе «Национальные стандарты». Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет

© Стандартинформ. 2010

Настоящий стандарт не может быть полностью или частично воспроизведен, тиражирован и распространен в качестве официального издания без разрешения Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии

ний, указанной в паспорте поверяемого СИ и составляющей не менее 10⁸ Вт/(м² • ср) для энергетической яркости и 10² Вт/ср для силы излучения. По результатам измерений определяют границы диапазона измерений энергетической яркости и силы излучения поверяемого СИ. в пределах которого значение погрешности 0₃ не превышает 3 %.

8.3.4 Определение погрешности средства измерений, возникающей из-за неидеальной коррекции угловой зависимости чувствительности

Поверяемое СИ устанавливают на поворотном столике гониометра с использованием в качестве излучателя источника синхротронного излучения. Регистрируют показания / (<р) поверяемого СИ в зависимости от угла падения потока излучения ф в пределах от 0° до 30° с шагом I^е. Показания СИ / (ф) для угла ф нормируют на показание СИ / при нормальном угле падения потока излучения. Рассчитывают угловую зависимость f (ф) отклонения относительной чувствительности СИ от функции cos ф по формуле

f (ф) = ЮО {/(c<*)/I/(4b)cos ф] - 1}.    (8)

Косинусную погрешность СИ 0₄ рассчитывают по формуле:

30'

0₄ = J |/(«p)|sin 2ф<Лр.    (9)

O’

Значение 0₄ должно быть не более 3 %.

При превышении указанного значения косинусной погрешности допускается ограничивать угол зрения СИ.

ГОСТ Р 8.659-2009

Результаты поверки СИ энергетической яркости и силы излучения считают положительными, если предел допускаемой основной относительной погрешности не превышает 10 %.

10 Оформление результатов поверки

10.1    При положительных результатах поверки оформляют свидетельство о поверке и СИ допускают к применению.

10.2    При отрицательных результатах поверки свидетельство аннулируют и выдают извещение о непригодности СИ.

9

ГОСТ Р 8.659-2009

Библиография

[1] CIE N53 Methods of characterizing the performance of radiometers and photometers. — 1982. — 24 p.

10

УДК 543.52:535.214.535.241:535.8:006.354    ОКС    17.020    Т84.10    ОКСТУ    0008

Ключевые слова: энергетическая яркость, сила излучения, спектральная чувствительность, средства измерений, ультрафиолетовое излучение, нанофотолитография, синхротронное излучение

11

Редактор Л В Афанасенко Технический редактор В Н. Прусакова Корректор Г И. Кононенко Компьютерная верстка В И. Грищенко

Сдано в набор 02 04 2010 Подписано в почать 11 05 2010 Формат 60x84’/*. Бумага офсетная Гарнитура Ариал Печать офсетная Уел. печ. л. 1,86 Уч.-изд. л. 1,20. Тираж 114 экз Зак 392.

ФГУП «СТАНДАРТИНФОРМ», 123995 Москва, Гранатный пер . 4 www gostinfo ru info@gostinfo ru Набрано во ФГУП «СТАНДАРТИНФОРМ» на ПЭВМ Отпечатано в филиале ФГУП «СТАНДАРТИНФОРМ» — тип. «Московский печатник», 105062 Москва. Лялин пер . 6

Содержание

1    Область применения............................................1

2    Нормативные ссылки............................................1

3    Операции поверки.............

4    Средства поверки..............

5    Требования к квалификации поверителей

6    Требования безопасности.........

7    Условия поверки..............

8    Подготовка и проведение поверки ....

9    Обработка результатов измерений ....

10    Оформление результатов поверки . . .

Библиография................................................10

ill

НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

Государственная система обеспечения единства измерений

СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ ХАРАКТЕРИСТИК УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ ПРИ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОМ КОНТРОЛЕ В НАНОФОТОЛИТОГРАФИИ

Методика поверки

State system (or ensuring the uniformity of measurements. Instruments measuring the characteristics of ultraviolet radiation of technological testing of nanophotolitography. Verification procedure

Дата введения — 2011—01—01

1    Область применения

Настоящий стандарт распространяется на средства измерений (СИ) характеристик ультрафиолетового (УФ) излучения, используемые при технологическом контроле в нанофотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок.

Средства измерений характеристик УФ излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии обеспечивают измерения в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм следующих характеристик УФ излучателей:

-    энергетической яркости в динамическом диапазоне, нижняя граница которого составляет не более 10³ Вт/(м² ср). верхняя — не менее 10® Bt/Jm² ср);

-    силы излучения в динамическом диапазоне, нижняя граница которого составляет не более 10^-3 Вт/ср. верхняя — не менее 10² Вт/ср.

Методы оценки погрешностей СИ характеристик УФ излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии, представленные в настоящем стандарте, соответствуют рекомендациям № 53 Международной комиссии по освещению (1).

Межповерочный интервал — не более одного года.

2    Нормативные ссылки

В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:

ГОСТ 8.197-2005 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений спектральной плотности энергетической яркости в диапазоне длин волн от 0.04 до 0.25 мкм

ГОСТ 8.207-76 Государственная система обеспечения единства измерений. Прямые измерения с многократными наблюдениями. Методы обработки результатов наблюдений. Основные положения

ГОСТ 8.552-2001 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений потока излучения и энергетической освещенности в диапазоне длин волн от 0.03 до 0.40 мкм

Примечание — При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылочных стандартов о информационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодно издаваемому информационному указателю «Национальные стандарты», который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и по соответствующим ежемесячно издаваемым информационным указателям, опубликованным в текущем году. Если ссылочный стандарт заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руководствоваться заменяющим (измененным) стандартом. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то положение, в котором дана ссылка на него, применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.

Издание официальное

3 Операции поверки

При проведении поверки выполняют операции, указанные в таблице 1.

Таблица 1

Наименование операции Номер раздела, подраздела, Обязательность проведения операций при поверке пункта настоящего стандарта первичной периодической Внешний осмотр 8.1 + + Опробование 8.2 + ♦ Определение метрологических характеристик 8.3 ♦ ♦ Определение погрешности спектральной коррекции чувствительности 8.3.1 + - Определение погрешности абсолютной чувствительности в диапазоне длин воли от 10 до 30 нм 8.3.2 ♦ ♦ Определение погрешности, возникающей из-за отклонения коэффициента линейности от единицы. Определение границ диапазонов измерений энергетической яркости и силы излучения 8.3.3 ♦ - Определение погрешности, возникающей из-за неидеальной коррекции угловой зависимости чувствительности 8.3.4 ♦ - Обработка результатов измерений 9 ♦ ♦

4    Средства поверки

При проведении поверки применяют следующие средства поверки:

-    установку для измерений энергетической яркости и силы излучения в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм в составе вторичного эталона спектральной плотности энергетической яркости (далее — ВЭТ СПЭЯ) по ГОСТ 8.197. Относительное суммарное среднее квадратическое отклонение (далее — СКО) — не более 3 %;

-    установку для измерений спектральной чувствительности приемников излучения в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм в составе рабочего эталона потока излучения и энергетической освещенности (далее — РЭ ПИ и ЭО) по ГОСТ 8.552. Относительное суммарное СКО — не более 3 %;

-    установку для измерений коэффициента линейности чувствительности радиометров УФ излучения в составе РЭ ПИ и ЭО по ГОСТ 8.552. Относительное суммарное СКО — не более 4 %;

-    установку для измерений угловой зависимости чувствительности фотопреобразователей УФ излучения в составе РЭ ПИ и ЭО по ГОСТ 8.552. включающую в себя гониометр. Относительное суммарное СКО — не более 5 %.

5    Требования к квалификации поверителей

Поверку должны проводить лица, аттестованные в качестве поверителей, освоившие работу с используемыми средствами поверки, изучившие настоящий стандарт и эксплуатационную документацию на средства поверки и средства измерений.

6    Требования безопасности

При поверке СИ характеристик УФ излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии должны быть соблюдены правила электробезопасности. Измерения должны проводить два оператора. аттестованных по группе электробезопасности не ниже III, прошедших инструктаж на рабочем месте по безопасности труда при эксплуатации электрических установок.

2

ГОСТ Р 8.659-2009

7    Условия поверки

При проведении поверки должны быть соблюдены следующие условия:

-    температура окружающего воздуха — 20 °С ± 5 °С:

-    относительная влажность воздуха — 65 % ± 15 %;

-    атмосферное давление — от 84 до 104 кПа;

-    напряжение питающей сети — (220 г 4) В;

-    частота питающей сети — (50 : 1) Гц.

8    Подготовка и проведение поверки

Методика поверки СИ характеристик УФ излучения в нанофотолитографии включает в себя подготовку к поверке, внешний осмотр, опробование и определение метрологических характеристик. При подготовке к поверке СИ необходимо включить все приборы в соответствии с их инструкциями по эксплуатации.

8.1    Внешний осмотр

При внешнем осмотре должны быть установлены:

-    соответствие комплектности СИ паспортным данным;

-    отсутствие механических повреждений блоков СИ. сохранность соединительных кабелей и сетевых разъемов;

-    четкость надписей на панели СИ:

-    наличие маркировки (тип и заводской номер СИ);

-    отсутствие сколов, царапин и загрязнений на оптических деталях СИ.

8.2    Опробование

При опробовании должны быть установлены:

-    наличие показаний радиометра при освещении УФ излучением;

-    правильное функционирование переключателей пределов измерений, режимов работы СИ.

8.3    Определение метрологических характеристик

8.3.1 Определение погрешности спектральной коррекции чувствительности

Погрешность СИ. вызванную неидеальной спектральной коррекцией чувствительности, определяют по результатам измерений отклонений относительной спектральной чувствительности (далее — ОСЧ) поверяемого СИ от стандартной, равной единице в пределах рабочего спектрального диапазона 10 — 30 нм и нулю вне рабочего диапазона. ОСЧ поверяемого СИ сравнивают с известной спектральной чувствительностью эталонного фотопреобразователя УФ излучения, поверенного в ранге РЭ по ГОСТ 8.552 в диапазоне длин волн от 7 до 1100 нм. Измерения относительной спектральной чувствительности поверяемого СИ УФ излучения проводят с использованием источника синхро-тронного излучения, монохроматоров типов МДР-23, ВМР-2. ДФС-29, комплекта светофильтров из кварца и фтористого магния, фотоприемников типов AXUV, поверенных в ранге РЭ ПИ и ЭО ГОСТ 8.552. При определении погрешности измерений относительной спектральной чувствительности в диапазоне длин волн от 7 до 1100 нм эталонное и поверяемое СИ поочередно устанавливают за выходной щелью монохроматора таким образом, чтобы поток монохроматического излучения проходил в апертурную диафрагму. Показания эталонного радиометра Г(/.) и поверяемого СИ / (/.) регистрируют поочередно пять раз на каждой длине волны с шагом 1 нм в диапазоне 7 — 30 нм, с шагом 5 нм в диапазоне 30 — 60 нм. с шагом 10 нм в диапазоне 60 — 1100 нм. Затем за выходной щелью монохроматора устанавливают светофильтр и регистрируют показания эталонного J” (>.) и поверяемого СИ */(>.), соответствующие рассеянному излучению в монохроматоре. Результат /-го измерения ОСЧ поверяемого СИ S, (л) рассчитывают по известным значениям ОСЧ S° (/.) эталонного СИ и отношению значений измеренных сигналов по формуле

S, (л) = S°(а) [//>.) - J, (Х)ИЛ (>•) - S, (>.)).    (1)

Для каждой длины волны определяют среднее значение ОСЧ S(/.). Оценку относительного CKO S₀ результатов измерений для п независимых измерений определяют по формуле

3

Граница относительной неисключенной систематической погрешности результата измерений ОСЧ 0_О определяется погрешностью РЭ ПИ и ЭО по ГОСТ 8.552 (из свидетельства о поверке). Относительное суммарное СКО результатов измерения ОСЧ определяют по формуле

Sv= (s£ + eJ/3)¹'².    (3)

Значение относительного суммарного СКО результатов измерений ОСЧ в диапазоне длин волн от 7 до 1100 нм не должно превышать 5 %.

Погрешность спектральной коррекции поверяемого СИ 0, в процентах, вызванную отклонением относительной спектральной чувствительности S(>.) от стандартной S^X), определяют по формуле

1100    1100

J L(X)S(>.)tf/. J*."(>.)$^а(к)0.

= 1^_2-

¹1100    1100

\ Цк) S^c,().)cP. jL^CT().)S(>.yf/.

7    7

где Цк) — относительная спектральная плотность энергетической яркости контрольных источников УФ излучения:

L^CT(/.) — относительная спектральная плотность энергетической яркости стандартного источника УФ излучения.

Для определения возможности применения поверяемого СИ при технологическом контроле в нанофотолитографии установлен перечень контрольных и стандартных источников излучения. Табулированные значения Цк) и L^CT(>.) приведены в таблицах 2 — 7. Значение погрешности спектральной коррекции чувствительности 0, СИ характеристик УФ излучения для каждого контрольного источника должно быть не более 6 %.

Таблица 2 — Значения Lc'(k) для стандартного источника синхротронного излучения при энертии 450 МэВ и радиусе орбиты 1,0 мм

Длина волны, нм Длина волны, нм *•*'(>•) Длина волны, нм <Л>-> 9.8 231 70 601 250 36.9 10 279 80 471 275 29.1 13 680 90 375 300 23,5 15 975 100 302 350 15.9 18.5 1385 110 249 400 11.1 20 1504 120 206 500 6.38 25 1663 130 173 600 3.33 30 1622 140 146 700 2.67 35 1493 150 124 800 1.89 40 1326 160 106 900 1.38 45 1172 180 81,4 1000 1,04 50 1020 200 63,6 1100 0.82 60 7791 225 47.8 Таблица 3— Значения Цк) для контрольного источника — ртутной лампы среднего давления Длина волны, нм Ц>-> Длина волны, нм Ц>) Длина волны, нм Цк) 200 5.55 -W* 215 1,04.10й 230 1,18 10"’ 205 8.19 W-2 220 1.23 10-’ 235 1.02 10-' 210 1.04 10*' 225 1,29 10"’ 240 8.64 10'

4

Окончание таблицы 3

Длина волны, нм ЦУ) Длина волны, нм ЦУ) Длина волны, нм ЦУ) 245 4.87-10'* 535 9.77 10'3 825 5.18 10-3 250 9.05 10“* 540 6.49 10"3 830 5.19 Ю*3 255 4.42-10-’ 545 7.18 10-’ 835 5.22 10’3 260 1.75 10-' 550 5.61 «Г3 840 5.25 Iff3 265 2.93 10-' 555 5.50 10-3 845 5.28 10'3 270 1.01 10“’ 560 5.40 10-3 850 5.31 10-3 275 6.52-1 O'* 565 5.51 КГ3 855 5.33 10-3 280 1.78 10-' 570 6.27 10‘3 860 5.36 Iff3 285 2.15 Iff2 575 9.48 10‘3 865 5.38 10’3 290 8.08 10"* 580 7.04 10-1 870 5.41 10‘3 295 1.21 10-’ 585 5.47 Ю"3 875 5.43 Iff3 300 1.48 10'1 590 5.07 10"3 880 5.45 Iff3 305 3.67 10"' 595 5.05 10-3 885 5.48 10'3 310 1.20-10-’ 600 5.02 10"3 890 5.52 10"3 315 6.09 10’1 605 4.98 1 (Г3 895 5.55 10*3 320 1.50 10'2 610 4.99 10-3 900 5.58 Iff3 325 1.19 10"* 615 4.92 Iff3 905 5.62 Iff3 330 1.13 10"* 620 4.97 Iff3 910 5.65 10’3 335 1.03-10-’ 625 4.94 10-3 915 5.70 Iff3 340 9.48 10'3 630 4.92 10-3 920 5.72 Iff3 345 7.87 10’3 635 4.95 10-3 925 5.76 Iff3 350 6.71 «-* 640 4.99 10"3 930 5.79 10’3 355 9.12 Iff3 645 5.02 Iff3 935 5.82 10'3 360 9.51 10-3 650 5.07 10’3 940 5.84 10-3 365 1.000 655 5.16 10"3 945 5.87 Iff3 370 2.68 10'2 660 5.25 10'3 950 5.89 Iff3 375 1.01 1 о-2 665 5.27 10"3 955 5.92 10’3 380 1.03 102 670 6.07 10-3 960 5.96 Iff3 385 7.87 10-3 675 5.22 Iff3 965 5.98 Iff3 390 2.27 10-2 680 5.21 Iff3 970 6.01 10‘3 395 5.82 10'3 685 5.23 Iff3 975 6.04 10-3 400 7.40 10"3 690 5.82 Iff3 980 6.05 10-3 405 3.30 10"’ 695 5.27 1 (У3 985 6.05 Iff3 410 7.52 10’2 700 5.25 10'3 990 6.07 Iff3 415 8.64 10-3 705 5.34 10"3 995 6.08 10*3 420 8.36 10'3 710 7.11-10-3 1000 6.09 Iff3 425 9.92 10'5 715 5.05 10'3 1005 6.09 10-3 430 1.39 10’2 720 5.01 10-3 1010 6.23 10'3 435 6.38 Iff1 725 4.94 10-3 1015 7.66 10'2 440 2.37 10'2 730 4.89 10'3 1020 6.18 Iff3 445 1.20 102 735 4.90 10*3 1025 6.09 Iff3 450 7.58 10"3 740 4.93 10'3 1030 6.08 Iff3 455 6.42 10'3 745 4,92 10"3 1035 6.06 Iff3 460 5.43 10'3 750 4.94 10-3 1040 6.04 Iff3 465 5.19 Iff3 755 4.98 IQ*3 1045 6.01 Iff3 470 5.57 10-3 760 4.97 10‘3 1050 5.96 Iff3 475 5.65 10-3 765 4.99 Iff3 1055 5.93 Iff3 480 5.38 10'3 770 5.01 lOr3 1060 5.89 Iff3 485 6.13 ю-3 775 5.04 10*3 1065 5.86 Iff3 490 1.79 10'2 780 5,05 10"3 1070 5.82 Iff3 495 7.15 Iff3 785 5.11 Iff3 1075 5.79 Iff3 500 4.26 10'3 790 5.09 10'3 1080 5.75 Iff3 505 4.49 10"3 795 5.11 10-3 1085 5.72 Iff3 510 4.63 10'3 800 5.14 Iff3 1090 5.69 Iff3 515 4,70 10-3 805 5.16 Iff3 1095 5.66 Iff3 520 4.65 10'3 810 5.16 Iff3 1100 5.69 Iff3 525 4.69 10"3 815 5.16 IQ*3 530 4.74 1<Г* 820 5.18 IQ-3

Таблица 4 — Значения Ц\) для контрольного источника — лазерной плазмы, тип I

Длина волны, нм ц» Длина волны, нм Ц>) Длина волны, нм Ц>.) 10.0 0.299 17.0 0.086 24.0 0.007 10.5 0.489 17.5 0.056 24.5 0.011 11,0 0.161 18.0 0.038 25.0 0.014 11.5 0,175 18.5 0.025 25.5 0.007 12.0 0.109 19.0 0.018 26.0 0.014 12.5 0.095 19.5 0.015 26.5 0.012 13.0 0.474 20.0 0.007 27.0 0.006 13.5 1.000 20.5 0.009 27.5 0.013 14.0 0.832 21.0 0.008 28.0 0.015 14.5 0.825 21.5 0.008 28.5 0.007 15.0 0.474 22.0 0.015 29.0 0.011 15.5 0.336 22.5 0.009 29.5 0.014 16.0 0.321 23.0 0.015 30.0 0.009 16.5 0.175 23.5 0.009

Таблица 5 — Значения ЦУ.) для контрольною источника — лазерной плазмы, тип II

Длина волны, им т Длина волны, им Ц>) 9 1.00 60 0.14 11 1.44 80 0.074 13 5.62 100 0.035 13.5 6.40 200 1.60 1C* 14 5.84 300 1.03 10-* 15 3.80 400 5.90 10“* 16 2.61 500 3.48 10*3 18 1.32 600 2.64 10-3 20 1.02 800 6.05 1C3 30 0.87 1000 2.02 1C* 40 0.59 1100 3,23 10“* 50 0.21

Таблица 6 — Значения Ц).) для контрольного источника — лазерной плазмы, тип III

Длина волны, нм цц Длина волны, нм Ц>) 10.0 0.009 20.5 0.084 10.5 0.009 21.0 0.079 11.0 0.009 21.5 0.086 11.5 0.010 22.0 0.083 12.0 0.013 22.5 0.082 12.5 0.039 23.0 0.086 13.0 0.106 23,5 0.079 13.5 1.000 24.0 0.085 14.0 0.508 24.5 0.088 14.5 0.267 25.0 0.082 15.0 0.164 25,5 0.087 15.5 0.113 26.0 0.083 16.0 0.132 26.5 0.085 16.5 0.109 27.0 0.084 17.0 0.096 27,5 0.083 17.5 0.094 28.0 0.086 18.0 0.092 28.5 0.084 18.5 0.087 29.0 0.083 19.0 0.074 29.5 0.085 19.5 0.081 30,0 0.083 20.0 0.086

Таблица 7 — Значения Ц>.) для контрольного источника — лазерной плазмы, тип IV

Длина волны, нм ц>) Длина волны, нм «*) 8.00 0.175 12.50 0.095 8.25 0.226 12.75 0.153 8.50 0.263 13.00 0.474 8.75 0.336 13.25 0.803 9.00 0.584 13.50 1.000 9.25 0.504 13.75 0.978 9.50 0.460 14.00 0.832 9.75 0.474 14.25 0.788 10.00 0.299 14.50 0.825 10.25 0.394 14.75 0.672 10.50 0.489 15.00 0.474 10.75 0.292 15.25 0.394 11.00 0.161 15.50 0.336 11.25 0.146 15.75 0.285 11.50 0.175 16.00 0.321 11.75 0.102 16.25 0.263 12.00 0.109 16.50 0.175 12.25 0.073

8.3.2 Определение погрешности абсолютной чувствительности средств измерений в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм

Определение погрешности абсолютной чувствительности средств измерений в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм проводят с использованием источника синхротронного излучения. Эталонное и поверяемое средство измерений энергетической яркости поочередно устанавливают на одинаковом расстоянии от излучателя и юстируют по углу для получения изображения излучающей области источника. Показания эталонного средства измерений Г и поверяемого средства измерений / регистрируют поочередно пять раз. Значение абсолютной чувствительности поверяемого средства измерений рассчитывают по формуле

S = STl/Г,    (5)

где S® — значение абсолютной чувствительности эталонного СИ.

Определяют среднеарифметическое значение абсолютной чувствительности поверяемого СИ. суммарное СКО результата измерений с учетом погрешности эталонного СИ по формулам (1) — (3). Предельная погрешность определения абсолютной чувствительности 0j не должна превышать 6 %.

8.3.3 Определение погрешности, возникающей из-за отклонения коэффициента линейности средства измерений от единицы. Определение границ диапазона измерений энергетической яркости и силы излучения

Коэффициент линейности определяют по отклонению значения чувствительности СИ от постоянного значения в рабочем диапазоне измеряемой величины. Фиксируют ток источника синхротронного излучения /,. соответствующий нижней границе диапазона измерений энергетической яркости, указанной в паспорте поверяемого СИ. и составляющий не более 10³ Вт/(м² ср). или силы излучения, составляющий не более 10^-3 Вт/ср. Увеличивают ток источника вдвое и регистрируют показания поверяемого СИ /₂. Измерения проводят пять раз. Определяют средние значения измеренных сигналов, CKO S₀, суммарное СКО результатов измерений, рассчитывают коэффициент линейности

К=(/, + /₂уЗ/,    (6)

и погрешность поверяемого СИ 0₃. вызванную нелинейностью чувствительности СИ.

Bj= 100|К-1|.    (7)

При определении границ диапазона измерений энергетической яркости и силы излучения поверяемого СИ ток излучателя увеличивают таким образом, чтобы значение энергетической яркости (силы излучения) увеличилось на порядок. Измеряют значения сигналов и рассчитывают соответствующее значение погрешности 0₃. Измерения повторяют до достижения верхней границы диапазона измере-

7