'УШ
vn*r~rKVTJiriHH российской ff.lFPItlllH
ЗАРЕГИСТРИРОВАНО
МИНИСТЕРСТВО ТРУДА И СОЦИАЛЬНОЙ ЗА РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
Регистрационный Xf ззбг? ЩИТЫ
ПРИКАЗ
Москва
Об угвсрждснии профессионального стандарта «Инженер-ироектировщик фотошаблонов для производства наносистсм (включая наносснсорику и интегральные схемы)»
В соответствии с пунктом 22 Правил разработки, утверждения и применения профессиональных стандартов, утвержденных постановлением Правительства Российской Федерации от 22 января 2013 г. №23 (Собрание законодательства Российской Федерации, 2013, № 4, ст. 293), приказываю:
Утвердить прилагаемый профессиональный стандарт «Инженер-проектировщик фотошаблонов для производства наносистем (включая наносенсорику и интегральные схемы)».
УТВЕРЖДЕН приказом Министерства труда и социальной защиты Российской Федерации от «/#» 2014 г. №
ПРОФЕССИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ
Инженер-проектировщик фотошаблонов для производства наноснстсм (включая наносенсорику и интегральные схемы)
182
Регнстрационный номер
I. Общие сведения
Проектирование фотошаблонов и подготовка управляющей информации для их
изготовления_
(наименование вила профессиональной деятельности)
Основная цель вида профессиональной деятельности:
Проектирование и сопровождение фотошаблонов, включая подготовку управляющей информации для изготовления фотошаблонов с информационной защитой проектных решений
|
Вид трудовой деятельности (группа занятий): |
|
1222 |
Руководители специализированных (производственно-эксплуатационных) подразделений (служб) в промышленности |
2139 |
Специалисты по компьютерам, не вошедшие в другие группы |
|
2132 |
Программисты |
2144 |
Инженеры-электроники, инженеры по связи и приборостроению |
|
|
(кодОКЗ1) (наименование) (код ОКЗ) (наименование) |
|
Отнесение к видам экономической деятельности: |
|
32.10.6 |
Производство интегральных схем, микросборок и микромодулей |
|
73.10 |
Научные исследования и разработки в области естественных и технических наук |
|
|
(код ОКВЭД1) (наименование вида экономической деятельности) |
2
II. Описание трудовых функций, входящих в профессиональный стандарт (функциональная карта вила трудовой
деятельности)
|
Обобщенные трудовые функции |
Трудовые функции _| |
|
код |
наименование |
уровень
квалификации |
наименование |
код |
уровень
(подуровень)
квалификации |
|
А |
Проектирование фотошаблонов субмикрокного и нанометрового уровней технологии |
6 |
Проведение верификации первичных данных для проектирования фотошаблонов |
А/01.6 |
6 |
|
Создание математических моделей злемектов коррекции оптических эффектов близости и проведение калибровки созданных математических моделей |
А/02.6 |
6 |
|
Настройка математических моделей литографического процесса для проведения коррекции оптических эффектов близости |
А/03.6 |
6 |
|
Проведение оптимизации параметров топологии в соответствии с техническим заданием |
А/04.6 |
6 |
|
Разработка виртуального прототипа фотошаблона |
А/05.6 |
6 |
|
Проведение подготовки управляющей информации для оборудования участка изготовления фотошаблонов |
А/06.6 |
6 |
|
Подготовка комплекта конструкторской документации на проектирование фотошаблонов |
А/07.6 |
6 |
|
Составление сопроводительной документации на комплект фотошаблонов |
А/08.6 |
6 |
|
В |
Разработка маршрута проектирования фотошаблонов в технологии субмикрокного и нанометрового диапазонов |
7 |
Проведение анализа этапов проектирования и разработка требований и спецификаций к ядру системы проектирования фотошаблонов |
В/01.7 |
7 |
|
Разработка требований, спецификаций и формирование перечня прикладного программного обеспечения маршрута проектирования |
В/02.7 |
7 |
Выполнение
внутрипроизводственных мероприятий по обеспечению информационной безопасности при проектировании фотошаблонов
|
фотошаблонов поя требуемый уровень технологии |
|
■ 1 |
|
Проведение тестирования и верификации разработанного маршрута проектирования фотошаблонов |
В/03.7 |
7 ! |
|
Проведение анализа новейших исследований в области информационной безопасности и зашиты данных при проектировании фотошаблонов |
С/01.7 |
7 |
|
Разработка регламента обеспечения информационной защиты проектных решений при проектировании фотошаблонов |
002.7 |
' - 7 I 1 |
|
Контроль выполнения внутреннего регламента информационной защиты проектных решений |
003.7 |
7
_1 |
4
III. Характеристика обобщенных трудовых функций
|
Наименование |
Проектирование фотошаблонов субмикронного и нанометрового уровней |
Код |
А |
Уровень
квалификации |
7] |
|
|
технологии |
|
|
I |
_Е____
Код Регистрационный
Происхождение обобщенной трудовой функции
3.1. Обобщенная трудовая функция
Оригинал X Заимствовано из оригинала
оригинала номер
профессионального
стандарта
|
Возможные |
Инженер-электроник |
|
1 |
|
наименования |
Инженер-программист |
|
|
|
должностей |
|
|
|
|
Требования к образованию и обучению |
Высшее образование - бакалавриат
Дополнительные профессиональные программы - программы повышения квалификации, программы профессиональной переподготовки |
|
Требования к опыту практической работы |
Опыт практической работы более двух лет в должности инженера-про грамм иста или инженера-электроника |
|
Особые условия допуска к работе |
Прохождение обязательных предварительных (при поступлении на работу) и периодических медицинских осмотров (обследований), а также внеочередных медицинских осмотров (обследований) в порядке, установленном законодательством Российской Федерации3 |
Дополнительные характеристики
|
Наименование
документа |
Код |
Наименование базовой группы, должности, профессии или специальности |
|
окз |
2132 |
Программисты |
|
2139 |
Специалисты по компьютерам, не вошедшие в другие группы |
|
2144 |
Инженеры-электроники, инженеры по связи и приборостроению |
|
ЕКС4 |
|
Инженер-электроник |
|
. |
Инженер-программист |
|
ОКСО5 |
210100 |
Электроника и микроэлектроника |
|
210600 |
Нанотехнология |
|
230100 |
Информатика и вычислительная техника |
5
|
|
Проведение верификации первичных |
|
|
Уровень |
|
|
Наименование |
данных для проектирования фотошаблонов |
Коя |
А/01.6 |
(подуровень)
квалификации |
6 |
|
Происхождение трудовой функции |
Оригинал X Заимствовано из оригинала
Код Регистрационный оригинала номер
профессионального
стандарта |
|
Трудовые действия |
Анализ первичных данных и согласование технического задания (описание слоев фотошаблона, перечень необходимых операций со слоями, описание необходимых технологических элементов)
Проведение контроля сформированного кадра изображения Проведение верификации исходных данных, заложенных в техническом задании, па корректноегь предоставленных данных согласно форме, утвержденной в организации (технические требования - приложение к договору)
Формирование отчета (записи в журнале) о начале работы над проектом (заказом) |
|
Необходимые
умения |
Использовать техническую документацию на проектирование и разработку фотошаблонов |
|
. |
Владеть методами проектирования фотошаблонов и подготовки управляющей информации для их изготовления согласно маршрутной карте для заданного технологического уровня |
|
Владеть технологией разработки программных средств Определять элементы топологии
Осуществлять входной контроль модуля на соответствие техническому заданию (габариты, тональность, проектные размеры, ориентация, зеркальность, масштаб) |
|
Проверять топологию на наличие линий и фигур, не предусмотренных техническим заданием |
|
Необходимые
знания
1 -. - |
Основы технологии производства фотошаблонов и интегральных схем Технический английский язык |
|
Целевые системы автоматизированного проектирования фотошаблонов,
средства разработки программ
Типовые маршруты проектирования фотошаблонов |
|
Другие
характеристики |
• |
3.1.2. Трудовая функция
|
Наименование |
|
Создание математических моделей |
|
|
|
|
элементов коррекции оптических |
|
|
Уровень |
|
эффектов близости и проведение |
Код |
А/02.6 |
(подуровень) |
|
калибровки созданных математических |
|
|
квалификации |
|
моделей |
|
|
|
|
тр^адой^ункции Оригинал X | Заимствовано из оригинала
Код Регистрационный
оригинала номер
профессионального
|
: Трудовые действия |
Анализ технических возможностей литографического оборудования для проектирования фотошаблонов данного технологического уровня Определение необходимости проведения коррекции оптических эффектов близости
Формирование скриптов коррекции и проведение коррекции оптических эффектов близости
Проведение анализа методов коррекции оптических эффектов близости при проектировании фотошаблонов
Определение и согласование с технологами участка изготовления фотошаблонов параметров коррекции эффектов оптической близости для формирования технологического рисунка на фотошаблоне |
|
Необходимые
умения |
Владеть методиками работы со специализированными программными платформами проектирования и верификации фотошаблонов Анализировать методы коррекции оптических эффектов близости и коррекции фазового сдвига |
|
Необходимые |
Владеть способами коррекции оптических эффектов близости в пределах используемой системы автоматизированного проектирования Использовать и правильно комбинировать алгоритмы и программы для оптимального проектирования фотошаблонов Технический английский язык |
|
знания |
Раздел обшей физики: оптика (дифракция, интерференция), основы фурье-оптики |
|
Процессы электронно-лучевой и оптической литографии, технологии формирования топологического рисунка с помощью лазерных генераторов изображения
Особенности литографического оборудования при изготовлении фотошаблона |
|
Химические процессы травления фоторезиста Целевые системы автоматизированного проектирования Маршруты разработки и проектирования фотошаблонов Методики верификации фотошаблонов |
|
Возможности скриптовых языков |
|
|
I Булева алгебра
Методы создания моделей коррекции оптических эффектов близости |
стандарта
I Другие характеристики
|
Наименование |
|
Настройка математических моделей литографического процесса для |
|
А/03.6 |
Уровень |
|
|
проведения коррекции оптических эффектов близости |
Код |
(подуровень)
квалификации |
6 |
|
Происхождение
трудовой
|
Оригинал
X Заимствовано из оригинала |
|
Код Регистрационный оригинала номер
профессионального
стандарта |
|
Трудовые действия |
Проведение верификации полученной топологии кристалла сверхбольших интегральных схем |
|
|
Проведение анализа и выбор способов коррекции оптических искажений при проектировании фотошаблонов
Выбор совокупности параметров настройки математической модели литографического процесса для проведения коррекции оптических эффектов близости |
|
Необходимые
умения |
Получать адекватную модель литографического процесса, для которого подготавливается данный комплект фотошаблонов |
|
1
1
Необходимые
знания |
Осуществлять калибровку модели литографического процесса Проводить коррекцию оптической близости, основанную на математических моделях (распределении интенсивности излучения при экспонировании после прохождения через фотошаблон), наборе правил проектирования (топологический слой по заранее заданному набору правил проектирования проверяется на наличие мест, в которых необходимо провести коррекцию) с учетом вариации процесса
Раздел общей физики: оптика (дифракция, интерференция), основы фурье-оптики |
|
|
Высшая математика |
|
|
Процессы фотолитографии Методики верификации фотошаблонов
Использование технологии внеосевого освещения для улучшения воспроизведения плотноупакованных топологических структур |
|
Другие
характеристики |
Технологии единого интерфейса для управления объектами автоматизации и технологическими процессами специализированных программных платформ |
|
8
|
Наименование |
Проведение оптимизации параметров топологии в соответствии с техническим |
Код |
А/04.6 |
Уровень
(подуровень) |
6 |
|
|
заданием |
|
|
квалификации |
|
|
Происхождение трудовой функции |
Оригинал X i Зашиствовано из оригинала |
|
Код Регистрационный оригинала номер
профессионального
стандарта |
|
Трудовые J действия |
Проведение верификации параметров исходной топологии (тональность, критичные размеры, габаритные размеры поля фотошаблона, координаты центра, наличие маркировки, метки совмещения, метки для проекционной литографии) на соответствие техническому заданию и правилам проектирования |
|
|
Проведение обработки топологии фотошаблона в соответствии с требованиями технического задания (операции позиционирования слоя, изменение тональности слоя, коррекции размеров для каждого слоя, коррекции эффектов оптической близости, коррекции фазового сдвига для слоя с применением фазосдвигающих масок) |
|
Необходимые
умения |
Проверять ключевые параметры топологии (тональность, критичные элементы, габаритные размеры, метки совмещения, метки проекционной литографии) на соответствие техническому заданию и правилам | проектирования |
|
Проводить конвертацию топологических данных во внутренний формат | оборудования |
|
1 |
Владеть методологией коррекции оптических эффектов близости, контроля линейных размеров топологических элементов |
|
Проводить обработку топологии фотошаблонов в соответствии с требованиями технического задания |
|
Необходимые
знания
|_ |
Создавать служебные элементы фотошаблонов: метки совмещения, мультипликации, штрих-код, текстовые метки |
|
Проводить полный цикл автоматизированного проектирования фотошаблона Технический английский язык |
|
Оптика - дифракция, интерференция |
|
Процессы электронно-лучевой и оптической литографии |
|
Целевые системы автоматизированного проектирования |
|
Маршрут разработки и проектирования фотошаблонов Методики верификации фотошаблонов |
|
Возможности скритггопых языков
Базовые маршруты разработки и верификации сверхбольших интегральных схем, в том числе систем на кристалле |
|
Другие
характеристики |
_ |
9
|
Наименование |
|
Разработка виртуального прототипа |
|
|
Уровень |
|
|
фотошаблона |
Код |
А/05.6 |
(подуровень)
квалификации |
6 |
|
|
Происхождение |
|
|
|
|
|
трудовой
функции |
Оригинал |
X |
Заимствовано из оригинала |
|
|
|
Код Регистрационный
оригинала номер
профессионального
стандарта |
|
Трудовые : действия
1 |
Формирование служебных элементов фотошаблона, необходимых для производственного и контрольно-измерительного оборудования Формирование виртуального прототипа фотошаблона (рамки, служебной информации) с определением координат всех служебных элементов Размещение топологии кристалла и тестовых структур в рабочем поле фотошаблона согласно техническому заданию и правилам проектирования Объединение топологии кристалла и служебной информации в один файл, осуществляющий сборку фотошаблона |
|
|
Согласование полученной управляющей информации с заказчиком Проверка выходных данных на соответствие техническому заданию Проведение верификации проекта на соответствие правилам изготовления |
|
Необходимые
умения
| |
Владеть специализированными программными платформами проектирования фотошаблонов |
|
11рограммировать на языках высокого уровня |
|
Проводить сборку готового фотошаблона: подключать баркод, проверять метки совмещения, метки контроля, тестовые структуры, топологию |
|
|
Осуществлять конвертацию управляющей информации в формат литографического оборудования
Проводить анализ проектных решений топологии фотошаблонов применительно к технологии их изготовления и используемому технологическому оборудованию |
|
Проверять ключевые параметры конечной топологии на соответствие техническому заданию и правилам изготовления |
|
Необходимые |
Технический английский язык |
|
знания |
Целевые системы автоматизированного проектирования, системы разработки программных средств |
|
Методики верификации фотошаблона
Языки программирования высокого уровня, используемые в целевых системах автоматизированного проектирования |
|
Методики верификации фотошаблонов для заданного технологического уровня |
|
Технологический маршрут изготовления фотошаблонов |
|
Особенности литографического оборудования, применяемого для изготовления фотошаблонов |
|
Другие
характеристики |
. |
