Товары в корзине: 0 шт Оформить заказ
Стр. 1
 

67 страниц

563.00 ₽

Купить ГОСТ 8.367-79 — официальный бумажный документ с голограммой и синими печатями. подробнее

Официально распространяем нормативную документацию с 1999 года. Пробиваем чеки, платим налоги, принимаем к оплате все законные формы платежей без дополнительных процентов. Наши клиенты защищены Законом. ООО "ЦНТИ Нормоконтроль".

Наши цены ниже, чем в других местах, потому что мы работаем напрямую с поставщиками документов.

Способы доставки

  • Срочная курьерская доставка (1-3 дня)
  • Курьерская доставка (7 дней)
  • Самовывоз из московского офиса
  • Почта РФ

Распространяется на плоскопараллельные концевые меры длины длиной до 1000 мм образцовые 1 и 2-го разрядов по ГОСТ 8.166-75, рабочие классов точности 00 и 0 по ГОСТ 9038-73 и рабочие класса точности 0 по ГОСТ 13581-68 и устанавливает методы и средства их первичной и периодической поверок

  Скачать PDF

Заменяет Инструкция 96-65 Сведения из перечня "Указатель государственных стандартов СССР 1980 г.", Издательство стандартов 1980

Оглавление

1. Операции и средства поверки

2. Условия поверки и подготовка к ней

3. Проведение поверки

4. Оформление результатов поверки

Приложение 1. Схема и краткое описание интерферометра Кестерса

Приложение 2. Краткое описание и основные технические характеристики гелиевой газоразрядной лампы

Приложение 3. Таблица

Приложение 3. Краткое описание и основные технические характеристики лампы с естественным криптоном

Приложение 5. Таблица

Приложение 6. Краткое описание и основные технические характеристики кадмиевой лампы типа ЛК-3

Приложение 7. Таблица

Приложение 8. Краткое описание и основные технические характеристики безэлектродной ртутной лампы

Приложение 9. Таблица

Приложение 10. Горизонтальный интерферометр ВНИИМ

Приложение 11. Относительный интерферометр ВНИИМ

Приложение 12. Двойной контактный интерферометр МОД.272. Схема и краткое описание

Приложение 13. Таблицы для приведения показаний барометра к температуре 0 градусов Цельсия, уровню моря и нормальному значению силы тяжести

Приложение 14. Давление насыщенного водяного пара, мм рт.ст.

Приложение 15. Примеры проведения расчетов

Приложение 16. Таблица перевода числа полуволн желтой линии криптона и гелия в микрометры

Приложение 17. Измерение температуры мер

Приложение 18. Градуировка микроманометра горизонтального интерферометра

Приложение 19. Градуировка компенсатора относительного интерферометра ВНИИМ

Приложение 20. Определение температурного коэффициента линейного расширения (ТКЛР) концевых мер длины

Показать даты введения Admin

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ

СОЮЗА ССР

ГОСУДАРСТВЕННАЯ СИСТЕМА ОБЕСПЕЧЕНИЯ ЕДИНСТВА ИЗМЕРЕНИЙ

МЕРЫ ДЛИНЫ КОНЦЕВЫЕ ПЛОСКОПАРАЛЛЕЛЬНЫЕ ОБРАЗЦОВЫЕ 1 и 2-го РАЗРЯДОВ И РАБОЧИЕ КЛАССОВ ТОЧНОСТИ 00 и О ДЛИНОЙ ДО 1000 мм

МЕТОДЫ И СРЕДСТВА ПОВЕРКИ

ГОСТ 8.367-79

Издание официальное

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО СТАНДАРТАМ

Москва

РАЗРАБОТАН Государственным комитетом СССР по стандартам ИСПОЛНИТЕЛИ

Ю. П. Ефремов (руководитель темы); Е. И. Латышева ВНЕСЕН Государственным комитетом СССР по стандартам

Член Госстандарта В. И. Кипаренко

УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 27 ноября 1979 г. № 4542

ГОСТ 8.367—79 Стр. 9


трубы. Далее необходимо найти интерф^    Л    Л

верхности концевой меры (см. пп. 2 и

ния 1).    г

3.3.3. Сначала полосы располагают в * кальном направлении (черт. 1, а) и производят отсчет максим ^ ы Ргиба п0_

лос в долях расстояния между ними (АД/ ^ 3ате/полос£ располагают в горизонтальном направлении (ч^> б производят от-счет максимальной стрелы прогиба поло^ ,лл/ ч ' v


Отклонение от измерительной повер^ подсчитывают по формуле


где X AN


AL = AN-')i2t длина волны используемого све>


концевой меры ЛL

(2)


наибольший из отсчетов (ДЛ^ и


а;


^и AN2).


3.3.4. Наличие разнонаправленное кривизны (извернутости) обнаруживает^ ся либо по появлению точек перегиба интерференционных полосах (черт. 2j лиоб по появлению не менее двух линии или точек, в которые полосы стягиваются или из которых они расходятся при легком нажиме на зрительную трубу интерферометра (направление движения полос на черт. 2 показано стрелками).

3.3.5.    Отклонение от плоскостности поверхности в случае ее извернутости должно определяться по максимальному отклонению от плоскостности в той части меры, где кривизна поверхности односторонняя (см. черт. 2).

3.3.6.    Отклонение от плоскостности измерительной поверхности меры в свободном состоянии не должно превышать значений, указанных в ГОСТ 9038-73.

3.4. Определение отклонен! лельности, срединной длины и* я от плоскопаРал-


а



номинальной образцовь


отклонения длины tx концевых мер класса точности


о т

1-го разряда и рабочих 00 длиной до 100 мм.

3.4.1. Притертую к вспомогательной согласно требованиям табл. 2 концевую предметный столик 18 интерферометра К меру устанавливают на

зательного приложения 1).Указатель 10 естеРса (чеРт- 1 и меры (черт. 1 обязательного приложени устанавливают посредине

значение ее длины по шкале А (черт. °я ^ или на номинальное


мер


пластине и выдержанную

[ют на 2 обя-


ния 1).


обязательного приложе-


2—2818


Стр 10 ГОСТ 8.367-79

К мерам длиной 10 мм и более присоединяют рабочий спай термопары.

3 4 2. С помощью регулировочных винтов необходимо добиться, чтобы направление интерференционных полос на поверхности пластины было вертикальным и чтобы на поверхности концевой меры было видно 3 или 5 полос.

птгапи

AN>3

Черт 2


AN >3

Кроме того, добиваются, чтобы при легком нажатии рукой на зрительную тр>бу вниз или при движении вверх столика 9 (черт. 1 и 2 обязательного приложения 1) интерференционные полосы в поле зрения перемещались слева направо. В этом случае порядок интерференции в направлении слева направо для полос, наблюдаемых на пластине, увеличивается, а для полос на концевой мере — уменьшается (черт 3, а).

3.4 3. Для меры с незначительным отклонением от плоскопарал-лельности интерференционные полосы на поверхности меры параллельны полосам на поверхности пластины и имеют такую же ширину (черт 3, б).

Для мер с отклонением от плоскопараллельности интерференционные полосы на поверхности меры по сравнению с полосами на поверхности пластины либо имеют различную ширину, либо наклонены к ним, либо искривлены. В общем случае наблюдаются различные сочетания, (черт 3, в и 4), например, на черт. 4, г полосы на мере искривлены и шире полос на пластине. Отклонение от плоскопараллельности бI определяется суммой отклонения от плоскопараллельности меры вдоль длинного Ых и вдоль короткого ребра 6/2 по формуле

о/ = о/1 [- Ы2    (3)

3.4.3.1.    Для определения отклонения от плоскопараллель-ности вдоль длинного ребра концевой меры 61\ находят разность 6N1 числа одновременно наблюдаемых полос между точками b и d на поверхности меры и пластины (черт. 4, а) и определяют по формуле

ГОСТ 8.367-79 Стр. 11

N+1 N' N-1

Черт. 3

5/, = ЬМг • Х/2.    (4)

где X— длина волны используемого света.

3.4.3.2.    Для определения отклонения от плоскопарал-лельности вдоль короткого ребра концевой меры 6k измеряют проекцию 6jVинтерференционной

полосы на мере на длинное ребро ее измерительной поверхности в единицах расстояния между полосами на пластине (черт. 4,6) и определяют по формуле

Ы2 = bN2 • Х/2.    (4')

3.4.3.3.    Отклонение от плоскопараллельности б/i вдоль длинного ребра измерительной поверхности меры можно также определить, располагая интерференционные полосы на пластине горизонтально, параллельно длинному ребру, и измеряя 6N\, как проекцию интерференционной полосы на мере на ее короткое ребро в единицах расстояния между полосами на пластине (черт. 5).

3.4.3.4.    Точки а, 6, d иена черт. 4, а должны быть расположены на расстоянии 1,5 мм от меньших боковых (нерабочих) граней и на расстоянии 1 мм — от больших боковых граней меры, точка с — в середине поверхности меры.

Пр имечание. В поле зрения интерферометра наблюдается зеркальное изображение поверхности меры.

3.4.4.    Для определения срединной длины меры производят изме-

Стр. 12 ГОСТ 8.367-79





рение дробных частей порядков интерференции еи для нескольких спектральных линий используемого источника света, температуры меры tM, давления р, температуры t и влажности е воздуха, затем производят сравнение измеренных еи с вычисленными еБ (выписанными из таблиц обязательных приложений 3, 5, 7 или 9 для номинальной длины меры) и вводят поправки на условия измерений, отличающиеся от нормальных.

а — 6Л^1 = 3,75 — 3,0 = 0,75, 6ЛЬ-0; б —6М, = 0, 6ЛГ2 = 0,4; в —бЛ^=»

= 0, 6yv2=0,4, г — 6А^1“3,8 — 3,2=0,6, 6W2=0,3.

Черт. 4

3.4.4.1. Одну из темных интерференционных полос на поверхности концевой меры располагают так, чтобы вертикальная линия перекрестия проходила через ее середину и середину измерительной поверхности меры.

Значение еи в этом случае — расстояние от темной полосы на

пластине, первой слева от вертикальной линии перекрестия, до середины полосы на мере, выраженное в долях расстояния между соседними полосами на пластине (черт. 3 б, в).

ГОСТ 8.367-79 Стр. 13

Черт. 5

3.4.4.2.    Определение еи проводят, например, переходя от красной области спектра к фиолетовой, а затем в обратном направ-лении—от фиолетовой к красной, и вычисляют среднее значение Еп для каждой линии.

3.4.4.3.    Для тех же спектральных линий и номинальной длины поверяемой меры из таблиц обязательных приложений 3, 5, 7 или 9 выписывают дробные части порядков интерференции ев и находят разности бе'=еи—вв и бе'/=в—еи для каждой линии. Если при этом уменьшаемое меньше вычитаемого, к уменьшаемому надо добавить единицу.

При малом отклонении срединной длины меры от номинального значения (0,3 мкм и менее) числа ряда бе'ь бе'г, бе'з,... (или бе"), бе"2, бе"з, • • •) возрастают от красной к фиолетовой спектральной линиям, так что произведения 6eVW2 (или 8e'/i-Xif2) одинаковы для всех спектральных линий. Допускаются отклонения в пределах ±0,02 мкм от среднего значения этих произведений.

При большем отклонении эти произведения неодинаковы, тогда необходимо подобрать такие целые числа kit чтобы были „одинаковыми с той же погрешностью произведения (ki + 8ei)Xi/2 (или (ki + 6e"*)W2).

Как правило, k~l; 2 или 3 и редко & = 4; 5 или 6.

“ 51 (^i И) * ^ 2.

72


§Le =



Среднее из найденных таким образом (способом совпадения дробных частей порядков интерференции) произведений для нескольких спектральных линий определяет отклонение срединной длины меры в условиях измерения от ее номинальной длины

Значение б L* положительно, если совпадение найдено для ряда разностей бе', и отрицательно — для бе".

3.4.4.4. Значение бLe можно также определять при помощи специальных линеек — номограмм, прилагаемых к интерферометру Кестерса. Внешний вид линейки для криптона показан на черт. 6. Линейка имеет движок с визиром, шкалу, всю длину которой условно принимают равной 1 мкм (или 3 мкм), и шкалы для отдельных спектральных линий, показывающие число их полуволн, уклады-

Стр. 14 ГОСТ 8.367—79

вающихся в той или иной длине от 0 до 1 мкм (или до 3 мкм). Числа 10, 20, 30 ... на черт. 6, показывают сотые доли числа полуволн.

^ Фиолетовая 0,550

Сэ

5 /Келто-эеленая 0,565

Г**

сэ Желтая 0,587

^ Красная 0,656 Кнм

10 20 50

50 5'0 60'

0 80 90 00

, 1 1 -Li 1 1 L_H 1 1 ! ' Л '

10 20

50 50

50

1 1 ) 11 1

60 ПО 80

Л ' ' ' Л 1 1 ■ i

W го

50

1 1 1 j I 1

50 50

1 I 1 1 1 1

60 ПО 50 * 1 Ь 1 1 tit.

10 20

30

и1м

50 1 1 1 1 1 1

50 60 пО 1 I | | Л 1 I . i

, / I

iiii

<tli

0,2

Черт. 6

3.4.4.5. В результат измерения далее должна быть введена поправка 6Lx на отличие длин волн в условиях измерения от их длин в нормальных условиях

= [0,932 (* — 20) ^-0,358 (р ~ 760) + 0,056 (е — 10)] L • Ю'6, (6)

где t, р и е — температура (°С), давление (мм рт. ст.) и влажность воздуха (мм рт. ст.).

Поправку Ы% можно определять также по специальной линейке, часть которой показана на черт. 7.

/\ I И 1 ГП 1 И 1111 11' 111) И 1111111 | М 11

/ 8 9 10 7

1ТП | II1 г 111111 М"| 1111111111111V111111111 Г| 1111111II1111 IT11111II Ц 11 Ц М 111 J

-------

5° 15а 16° 77° 18

111111! 111 ill 1 (1111111! 1111111! 11! 111111

/

19° 20*

llllllllllllllllll

21° 2Т

iiifmilimtii1!1!

23° 25° 25°

1

N

*

5 П 50 5

+ 5" + ^ *5 + 2

iinliinliiiilmilmiiiiiihmhi

тттТт

ПВО +1 0

f i r1 1 X 5

//

/-1 ~2

iljiiinlinilnii

г 1 f 1 Г i 1 77 О

-3 "5 Ч1пп1н1|||щ|||))1пн1|

|ш1|! X 20 W

III]

0

.

\

Черт. 7

При определении 6Z,*, по формуле (6) или по линейке черт. 7 температуру воздуха принимают равной температуре меры.

(7)

3.4.4.6. Для приведения результата измерений к нормальной температуре 20°С должна быть введена поправка

oLa = a • Z,(20-/J,

ГОСТ 8.367-79 Стр. 15

где а — температурный коэффициент линейного расширения меры;

L — номинальная длина концевой меры;

tM — температура концевой меры.

Пр иМечания: 1. Значение ТКЛР для стальных мер по ГОСТ 9038-73 принимают равным 11,5- 10-6К~1; для твердосплавных мер по ГОСТ 13581-68 — выбирают из выпускного аттестата (паспорта).

2. При необходимости значение ТКЛР мер с погрешностью до :г0,Ы0~бК 1 может быть определено по результатам измерения их длины абсолютным интерференционным методом при различных температурах, отличающихся от 20 °С на ±5°С (см. справочное приложение 20).

3.4.4.7. Кроме того, в результат измерения должны быть внесены поправки:

a2 -f- Ь% 24F2




на размер входной щели интерферометра по формуле

где а и Ь — длина и ширина щели;

F — фокусное расстояние объектива коллиматора; на разнородность измерительной поверхности меры и поверхности, притертой к ней вспомогательной пластины: для пары сталь-стекло или сталь-кварц

oLv = +0,02 мкм,    (9)

для пар сталь-сталь и твердый сплав-стекло

0.    (9)

3.4.4.8.    Отклонение действительной срединной длины меры при 20 °С от ее номинальной длины должно быть подсчитано по формуле

8L20 = оLz + Ых + Ыа + Ы0 +    (10)

Примеры расчетов бL2Q и L20 приведены в обязательном приложении 15 (примеры 3 и 4).

3.4.4.9.    Определение срединной длины и отклонения от плоско-параллельности образцовых концевых мер 1-го разряда должно быть произведено независимо друг от друга двумя наблюдателями при каждой из двух притирок вспомогательной пластины сначала к одной, а затем к другой измерительной поверхности меры. За результат измерения принимают среднее арифметическое из 4 или более результатов, полученных обоими наблюдателями.

3.4.4.10.    Расхождение между средними из результатов измерений каждого наблюдателя не должно превышать половины предела допускаемой погрешности измерений длины, установленного для образцовой меры 1-го разряда данной номинальной длины.

3.4.5. Определение срединной длины образцовых концевых мер 1-го разряда методом сравнения с рабочими эталонами производят

Стр. 16 ГОСТ 8.367-79

таким же образом, как измерение длины образцовых концевых мер 2-го разряда методом сравнения с образцовыми концевыми мерами 1-го разряда (пп. 3.6.2 — 3.6.6 и 3.7.2 — 3.7.8).

3.4.6. Отклонение длины концевой меры от номинального значения 6Ln принимают равным сумме абсолютного значения отклонения срединной длины меры при 20 °С 6L20, определенного по (10), и половины отклонения концевой меры от плоскопараллельности 6/, определенного по формуле (3)

[ SI20 I +0,5 . U.

Отклонения длины образцовых концевых мер не должны превышать значений, указанных в ГОСТ 9038-73 для мер класса точности 2.

3.5. Определение отклонения от плоскопараллельности, срединной длины и отклонения длины от номинальной образцовых концевых мер 1-го разряда длиной свыше 100 мм.

3.5.1.    Определение срединной длины и отклонения от плоскопараллельности образцовых концевых мер 1-го разряда длиной свыше 100 мм производят на установке с горизонтальным интерферометром ВНИИМ (см. обязательное приложение 10).

3.5.2.    Сначала отсчитывают температуру меры и эталона (см. справочное приложение 17), атмосферное давление, температуру и давление воздуха в помещении, устанавливают нуль по шкале микроманометра 8 (черт. 3 обязательного приложения 10), закрывают кран 9 и, изменяя насосом 10 давление воздуха в эталоне, добиваются совмещения ахроматических полос двух систем полос, как показано на черт. 2, в обязательного приложения 10.

Производят 3-4 совмещения ахроматических полос и отсчитывают 3-4 показания по шкале микроманометра 6.

Затем приводят давление внутри эталона к атмосферному, открывают кран 9 и отсчитывают смещение указателя с нуля шкалы.

Вычисляют среднее арифметическое 3-4 отсчетов, вносят в него поправку на смещение нуля и по графику градуировки микроманометра (см. справочное приложение 18) определяют изменение оптической длины эталона 6L в мкм на 1 м длины.

Значение 6L при уменьшении давления воздуха в эталоне отрицательно, при увеличении — положительно.

Снова производят отсчеты температуры концевой меры и интерферометра, температуры и давления воздуха и вычисляют их средние значения tM, р, t.

3.5.3.    Отклонение срединной длины концевой меры при 20 °С от ее номинальной длины 6L2q в мкм вычисляют по формуле

^20 = [ Ю^20 + bL + аи (/„ — 20) — ам (tM 20) -]-

+ 0,938(*м-<и)] • L    (11)

где 6/20 — отклонение действительной длины интерферометра Фаб-

ГОСТ 8.367—79 Стр. 17

ри-Перо при 20°С от номинальной длины 100 мм, мкм;

«и и а.м — ТКЛР интерферометра и концевой меры, К“*;

L — номинальная длина концевой меры, м.

3.5.4.    Определение отклонения длины интерферометра Фабри-Перо при 20 °С от номинальной проводят как определение срединной длины концевых мер 1-го разряда длиной до 100 мм (пп. 3.4.4.2 — 3.4.4.8) методом совпадения дробных частей порядков интерференции е в центре интерференционных колец равного наклона. Поправку 61Ф принимают равной нулю. Определение дробных частей порядков интерференции проводят либо фотографированием колец равного наклона, либо фотоэлектрической регистрацией их.

3.5.5.    При фотографировании колец равного наклона входную щель интерферометра (см. черт. 1 обязательного приложения 10) раздвигают по горизонтали до размера 5—6 мм, вводят откидное зеркало 13 и фокусируют изображение щели, вырезающей центральную часть концентрических интерференционных колец, на фотопленку 15.

Получив изображения колец в нескольких спектральных линиях, проводят измерение их диаметров с помощью компаратора типа ИЗА или измерительного микроскопа.

Значение е определяют по формуле

__ 1а — sp

ks — pi 9

где k — число- измеренных диаметров,    2=Di2 + D22+ .. - + £/Л

s = Df+2D£+ ... +(k—l)Dk*, о= 12 + 22+    I)2,

р~ 1 +2+ . .. + (k—1).

Для /г = 5: о = 30 и р= 10.

3.5.6.    При определении е в центре колец равного наклона при фотоэлектрической регистрации интерференционных полос щель 7 (черт. 3 обязательного приложения 10) ограничивают до квадратной, размером 0,8x0,8 мм2, вместо кассеты с фотопленкой вставляют фотоэлектронный умножитель 7, на катод которого попадает изображение центра интерференционных колец. Кран 9 поворачивают в положение «фотоэлектрическая регистрация», включают усилитель постоянного тока 12—14, устанавливают указатель чувствительного усилителя 14 на 4-10~9 А/мм, а указатель скорости движения ленты самописца 13 — на 0,1 или 0,2 мм/с. Включают выпрямитель типа ВС-9 и устанавливают выходное напряжение, соответствующее нормальной работе ФЭУ; подают высокое напряжение на делитель ФЭУ, при этом стрелка показывающего прибора на передней панели 12 должна отклониться на 30—40 мм; при закрывании входной щели 7 стрелка должна отклониться не более чем на 5 мм; в противном случае уменьшают или увеличивают напряжение на делителе ФЭУ.

3—2818

Стр. 18 ГОСТ 8.367-79

Устанавливают кран 16 микроманометра — датчика атмосферного давления 15 в положение «Атмосфера», при этом световой указатель его должен быть установлен на нуль шкалы так, чтобы часть света от него попадала на один из фотоэлементов в схеме усилителя типа Ф-16 (в этом случае включение осветителя микроманометра приводит к резкому отклонению стрелки прибора 12 в одну сторону, а выключение — в другую сторону). После этого переводят кран 16 в положение «Регистрация» и включают мотор 17 насоса 19.

Включают мотор лентопротяжного механизма самописца 14 и запись отклонения, для чего нажимают и поворачивают кнопку.на панели блока 12. Через некоторое время автоматически произойдет переключение направления вращения электромотора 17 и давление начнет изменяться в другую сторону, при этом на лепте самописца будут регистрироваться интерференционные максимумы и минимумы. В момент, когда давление становится равным атмосферному, перо самописца сделает выброс-отметку. Через 5—8 мин направление вращения электромотора автоматически снова изменится на обратное, и снова будут регистрироваться интерференционные максимумы и минимумы, а в момент прохождения указателя микроманометра через нуль шкалы перо самописца сделает выброс-отметку (черт. 8).


Значение е определяют по положению отметок на регистрограм-ме относительно двух последовательных интерференционных максимумов и направлению изменения давления: при возрастании порядок интерференции N увеличивается, при уменьшении давления — уменьшается:

Черт 8

L — расстояние между максимумами N и N+ 1.

Определение е для каждой спектральной линии проводят и при увеличении давления, и при его уменьшении, а за результат при-


где I — расстояние от отметки до центра максимума N;

нимают их среднее арифметическое.

3.5.7. Повторные измерения длины интерферометра Фабри-Перо допускается проводить при определении е только для двух спект-

УДК 531.711.51.089.6:006.354


Группа Т88.5

государственный стандарт СОЮЗА ССР


Государственная система обеспечения единства измерений МЕРЫ ДЛИНЫ КОНЦЕВЫЕ ПЛОСКОПАРАЛЛЕЛЬНЫЕ ОБРАЗЦОВЫЕ 1 И 2-го РАЗРЯДОВ И РАБОЧИЕ КЛАССОВ ТОЧНОСТИ 00 И 0 ДЛИНОЙ ДО 1000 мм Методы и средства поверки Slate system for ensuring the uniformity of measurements Reference gauge-blocks of the 1st and the 2nd accuracy orders and working gauge-blocks of 00 and 0 accuracy classes up to 1000 mm.

Methods and means for verification


ГОСТ

8.367-79

Взамен

Инструкции

96—65


Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 27 ноября 1979 г. № 4542 срок введения установлен

с 01.01 1981 г.


Настоящий стандарт распространяется на плоскопараллельиые концевые меры длины (далее — концевые меры) длиной до 1000 мм образцовые 1 и 2-ю разрядов по ГОСТ 8.166-75, рабочие классов точности 00 и 0 по ГОСТ 9038-73 и рабочие класса точности 0 по ГОСТ 13581-68 и устанавливает методы и средства их первичной и периодической поверок.

1. ОПЕРАЦИИ И СРЕДСТВА ПОВЕРКИ

1.1. При проведении поверки концевых мер длины должны выполняться операции и применяться средства поверки, указанные в табл. 1.


Издание официальное



Перепечатка воспрещена

Издательство стандартов, 1980


ГОСТ 8.367—79 Стр. 19

ральных линий, например, зеленой и фиолетовой кадмия-114 или ртути-198.

3.5.8. Измерение отклонения от плоскопараллельности концевых мер на горизонтальном интерферометре ВНИИМ производят так же, как и на интерферометре Кестерса в пп. 3.4.3.1 —3.4.3.2.

При этом измерение разности длин концевой меры вдоль длинного б/i и вдоль короткого 6/2 ребра измерительной поверхности должно быть произведено дважды — при расположении меры на опорах сначала одной (6// и bW), а затем другой своей узкой нерабочей поверхностью (б//' и 6/г")*

В обоих положениях меры добиваются, чтобы полосы в поле зрения интерферометра на поверхности вспомогательной пластины были расположены горизонтально и чтобы обе системы полос, на пластине и на мере, двигались в одну и ту же сторону при одном и том же направлении движения относительного зеркала.

Отсчетам 6// и bW' приписывают, например, знак « + », если полосы на пластине шире полос на мере, и знак «—», если полосы на пластине уже полос на мере.

Отсчетам 64' и 64" приписывают знак « + »,■ если полосы па мере наклонены в одну сторону, и знак «—», если они наклонены в другую сторону.

Тогда отклонение от плоскопараллельности меры 6/ определяют по формуле

Ы = 0,5 I 8// — Ыг" ] + 0,5 | о/2' - 8/а" 1 .    (13)

3.6. Определение отклонения от плоскопараллельности, срединной длины и отклонения длины от номинальной образцовых концевых мер 2-го разряда и рабочих концевых мер класса точности О длиной до 100 мм.

3.6.1.    Определение длины и отклонений от плоскопараллельности образцовых концевых мер 2-го разряда и рабочих класса точности О длиной до 100 мм производят сравнением их с образцовыми концевыми мерами длины 1-го разряда с помощью интерферометра Кестерса (см. обязательное приложение 1) или двойного контактного интерферометра модели 272 (см. обязательное приложение 12).

3.6.2.    На столике интерферометра Кестерса должны быть установлены притертые рядом друг с другом поверяемая (П) и исходная (И) концевые меры, выдержанные предварительно согласно требованиям табл. 3, так, чтобы в поле зрения интерферометра поверяемая мера была видна над исходной.

Примечание. При притирании концевых мер длиной свыше 20 мм к вспомогательной пластине сначала притирают исходную меру и стадят ее на зеркало, а затем притирают поверяемую меру, наблюдая в зеркале изображение притираемой поверхности и контролируя качество притирки.

3.6.3.    Корпус интерферометра (см. черт. 1 обязательного приложения 1) или его столик (черт. 2 обязательного приложения I) пе-

3*

Таблица 1


Наименование

операции


Номер

пункта

настоя

щего


Средства поверки и н\ нормативно-технические характеристики


Обязательность проведения операции при


эксплуатации


выпуске из произ-

'ЬЪД'СГЬЪ

и ремонта

Внешний осмотр

3.1

Плоские стеклянные пластины класса точности 1 по ГОСТ 2923-75

Да

Да

Проверка при-тираемости концевых мер Определение отклонения от плоскостности измерительных поверхностей концевых мер в свободном состоянии

3.2

Да

Да

3.3

Интерферометр Ке-стерса (ф. «К. Цейсс») (см. обязательное приложение 5);

источник монохроматического излучения (см. обязательные приложения 6, 8, 10 или 12) или плоские стеклянные пластины классов точности 1 или 2 по ГОСТ 2923—75

Да

Нет

Определение отклонения от плос-копараллельности, срединной длины и отклонения длины от номинальной образцовых концевых мер:

1-го разряда до

3.4

Интерферометр Ке-стерса (см. обязательное приложение 5);

источник монохроматического излучения (см. обязательные приложения б, 8, 10 или 12)

Нет

Да

Нет

1-го разряда длиной св. 100 мм

3.5

Горизонтальный интерферометр ВНИИМ (см. обязательное приложение 10) или относительный интерферометр ВНИИМ (см. обязательное приложение 15) и рабочие эталоны (плоскопараллельные концевые меры длины) по ГОСТ 8.020—75

Да

2-го разряда длиной до 100 мм

3.6

Концевые меры 1-го разряда по ГОСТ 8.166—75;

интерферометр Ке-стерса (см. обязательное приложение 1);

источник монохроматического излучения (см. обязательные приложения 2, 4, 6 или 8) или двойной контактный ин-

Нет

Да


Продолжение табл. 1

Наименование

Номер

пункта

Средства поверки и их нормативно-технические характеристики

Обязательность проведения операции при

операции

настоя

щего

стандарта

выпуске из производства

и ремонта

^сплуатации и хранении

2-го разряда дли-

3.7

тсрферомегр мод. 272 (см. обязательное приложение 12)

Концевые меры длины

Нет

Да

ной св. 100 мм Определение от-

3.4

1-го разряда по ГОСТ 8 166—75, горизонтальным интерферометр ВНИИМ (см обязательное приложение 10) или относительный интерферометр ВНИИМ (см. обязательное приложение 11); машина оптико-механическая типа ИЗМ по ГОСТ 10875—76 с трубкой контактного интерферометра Интерферометр Ке-

Да

Да

клонения от плос-копараллельности и отклонения длины от номинальной рабочих мер: класса точности 00 длиной до 100 мм класса точности

3.5

стерса (см. обязательное приложение 1), источник монохроматического излучения (см. обязательные приложения 2, 4, 6 или 8)

Горизонтальный интер-

Да

Да

00 длиной св. 100 мм

класса точности

3.6

ферометр ВНИИМ (см. обязательное приложение 10) или относительный интерферометр ВНИИМ (см. обязательное приложение 11) и рабочие эталоны по ГОСТ 8.020-75 Концевые меры 1-го

Да

Да

0 длиной до 100 мм

разряда длиной до 100 мм по ГОСТ 8.166—75;

интерферометр Ке-стерса (см. обязательное приложение 1) с источником монохроматического излучения (см. обязательные приложения 2, 4, 6 или 8) или двойной контактный интерферометр мод. 272

Продолжение табл. 1

Наименование

Номер

пункта

Средства поверки и и\ нормативно-технические характеристики

Обязательность проведения операции при

операции

настоя

щего

стандарта

выпуске из производства и ремонта

экспл}а гации и хранении

(см. обязательное приложение 12) или контактный интерферометр типа ИКПВ с ценой деления 0,05 мкм (при выпуске из производства)

класса точности 0 длиной СВ. 100 мм

3.7

Концевые меры 1 или 2-го разрядов длиной от 100 до 1000 мм по ГОСТ 8 166—75;

Да

Да

относительный интерферометр ВНИИМ (см. обязательное приложение 11) или концевая измерительная машина по ГОСТ 10875-76 с трубкой контактного интерферометра

1.2. Допускается применять другие вновь разработанные или находящиеся в применении средства поверки, прошедшие метрологическую аттестацию в органах государственной метрологической службы и удовлетворяющие по точности требованиям настоящего стандарта.

2. УСЛОВИЯ ПОВЕРКИ И ПОДГОТОВКА К НЕЙ

2.1. При проведение поверки необходимо соблюдать условия, указанные в ГОСТ 8.166-75.

2.1.1.    При поверке концевых мер абсолютным интерференционным методом их температура должна удовлетворять требованиям, указанным в табл. 2; при поверке методом сравнения — в табл. 3.

2.1.2.    Относительная влажность воздуха в помещении не должна превышать 80%.

ГОСТ 8.367-79 Стр. 5

Таблица 2

Номинальная длина концевых мер 1-го разряда, мм

Допускаемые темпера гуры от 20 °С, если известен с п не 6oj

±Ы0-бК-1

отклонения концевых мер ТКЛР* мер огреишостью iee, °С

Допускаемые изменения температуры концевых мер в течение 8 ч, *С

Длительность тшлержки мер, не менее, ч

около

прибора

на измерительном столике прибора

От ОД

ДО

4,5

2

3

1

2

0,25

»

5

9,5

1

3

0,5

2

0,5

»

10

»

25

0,5

2

0,5

2

1,0

»

30

»

40

0,2

2

0,2

2

1,0

»

50

»

70

0,2

1

0,2

4

2

»

80

»

100

0,1

1

0,2

4

2

»

125

»

175

0,1

1

0,2

4

4

»

200

»

500

0,1

1

0,1

6

6

»

600

»

1000

0,1

0,5

0,1

8

8

* ТКЛР — температурный коэффициент линейного расширения.

Таблица 3

Номинальная длина концевых мер 2-го разряда, мм

Допускаемые отклонения температуры концевых мер от 20 °С, если ТКЛР мер

Длительность выдержки мер рядом друг с другом, не менее, ч

не бол

±мо-ек-1

ее, °С ±0,Ы0-бК-1

около

прибора

на измерительном сголике

От

0,1

ДО

4,5

2

4

1

0, 25

»

5

»

9,5

1

4

1

0,25

»

10

»

25

0,5

3

1

0,4

»

30

»

40

0,2

3

1,5

0,5

»

50

»

70

0,2

2

1,5

0,5

»

80

»

100

0,2

2

2

1

»

125

»

175

0,1

1

2

2

»

200

»

500

0,1

1

3

2

»

600

»

1000

0,1

1

4

2

2.1.3.    Необходимо предусмотреть возможность затемнения помещения.

2.1.4.    При поверке образцовых мер 1 и 2-го разрядов абсолютным интерференционным методом погрешности измерения температуры мер /, давления воздуха р и его влажности е не должны превышать значений, указанных в табл. 4.

Таблица 4

Номинальная длина копдевых мер, мм

„ погрешность измерения Допускаемая г

температуры

меры

давления

воздуха

влажности

воздуха

±°С

±Па (мм рт ст )

133,3(1,0)

133,3(1,0)

133,3(1,0)

До 5 От 5 » 100 » 100 » 1000

0,1

0,01

0,005

13,3(0,1)

13,3(0,1)

13,3(0,1)

2.1.5.    Для определения температуры в03ДУха и П0веряемых ^концевых мер используют ртутные стекляннь термометры с ценой деления от 0,1°С до 0,01 °С по ГОСТ 13646~68а также платиновые термометры сопротивления в комплекте с теРмоме1Рпческими местами, медь-константановыми термопара^1*’ переключателями направления термотока и гальванометрами или микРовольтнаноам-

Температуру концевых мер длиной до ^ мм пРинимают равной температуре термометра, вставленного в столик измерительного

прибора.

Схемы измерения температуры конц^вых меР л ^1°<^ощью стек' лянного ртутного термометра с ценой Деления 0,01 С или с помощью платкового термометра сопротивдения и меДь-копстантано-вых термопар с гальванометром предста#лены на чеРт* 1 и 2 справочного приложения 17.

2.1.6.    Отсчитанное по барометру значее атм°сферногои давления необходимо привести к температуре 0 ^ географической широте 45° и к уровню моря.

Поправки для приведения показаний барометра к температуре 0°С приведены в табл. 1, к уровню моря ~ в та°л* 2, к широте 45° — в табл. 3 обязательного приложений

Для условий измерения поправки выч^^cляют, интеРп°лируя данные таблиц обязательного приложения 10 (см- пРимеР 1 обязательного приложения 15).    „

Для каждой поверочной лабораторий (для Даннои географической широты и высоты над уровнем мор$*) необходимо составить

сводную таблицу поправок.

2.1.7.    Влажность воздуха е в мм рт. СТг ВЫЧИСЛЯК)т по показаниям сухого fc и влажного /Вл термометр^8 аспиРаДионного психрометра по ГОСТ 6353-52 по формуле:

е — 0,5 (/с — гу)'    (■*    *

где —давление насыщенных паров во^ы в мм Рт- ст- ПРИ темпе‘ ратуре^л, °С.

Давление насыщенных паров воды пРи температурах от 8 до

ГОСТ 8.367-79 Стр. 7

30 °С приведено в обязательном приложении 14.

Пример вычисления влажности воздуха приведен в обязательном приложении 15 (пример 2).

2.2. Перед проведением поверки концевых мер длины должны быть выполнены следующие подготовительные работы.

2.2.1.    После транспортирования концевые меры необходимо выдержать в помещении в их упаковке не менее 18 ч, после чего каждая мера должна быть распакована, освобождена от смазки, тщательно промыта авиационным бензином по ГОСТ 1012-72 и вытерта чистой сухой салфеткой из хлопчатобумажной ткани.

2.2.2.    Вспомогательные пластины должны быть подготовлены, как указано в п. 2.2.1.

Металлические пластины должны быть промыты авиационным бензином, стеклянные и кварцевые — этиловым спиртом по ГОСТ 18300—72.

2.2.3.    Подготовительные работы необходимо проводить в специальном помещении, имеющем вытяжной шкаф.

3. ПРОВЕДЕНИЕ ПОВЕРКИ

3.1. Внешний осмотр

3.1.1.    При проведении внешнего осмотра должно быть установлено соответствие концевых мер требованиям ГОСТ 9038-73 на комплектность наборов, маркировку мер и футляров.

3.1.2.    На нерабочих поверхностях образцовых мер не должно быть следов коррозии.

3.1.3.    На измерительных поверхностях концевых мер, находящихся в эксплуатации или выпускаемых из ремонта, допускается наличие незначительных дефектов, не влияющих на притираемость мер.

3.2. Проверка притираемости

3.2.1.    Проверке на притираемость подвергают обе измерительные поверхности каждой концевой меры не ранее чем через 20—30 мин для мер длиной до 100 мм и через 1—2 ч для мер длиной св. 100 мм после подготовки мер и вспомогательных пластин к поверке.

Проверку усилия сдвига при притирании мер друг к другу производят в соответствии с требованиями ГОСТ 8.166-75.

3.2.2.    Непосредатвенио перед притиранием измерительная поверхность концевой меры и рабочая поверхность вспомогательной пластины должны быть протерты чистой сухой салфеткой.

Рукой в тонкой перчатке или закрытой салфеткой концевую меру необходимо приложить поверяемой измерительной поверхностью к рабочей поверхности вспомогательной пластины, находящейся в другой руке.

Стр. 8 ГОСТ 8.367-79

Наблюдая поверхность концевой меры через пластину, слегка прижимают меру к пластине или пластину к мере, чтобы появились интерференционные полосы, расширяющиеся при дальнейшем сдавливании, и, наконец, исчезающие. При этом поверхности концевой меры и вспомогательной пластины должны прочно сцепиться между собой.

3.2.3.    Если расширения и исчезновения полос не происходит или после сцепления поверхностей наблюдаются цветные или белые пятна, необходимо повторить очистку поверхностей более тщательно. С помощью лупы проводят внешний осмотр измерительных поверхностей, особенно в местах появления пятен, и при отсутствии заметных дефектов снова притирают меру к пластине.

Можно также сдвинуть меру на соседний участок поверхности пластины или притереть меру к другой пластине.

3.2.4.    Притираемость образцовых концевых мер должна соответствовать требованиям ГОСТ 8.166-75, рабочих концевых мер — требованиям ГОСТ 9038-73 или ГОСТ 13581-68.

3.2.5.    Перед определением срединной длины и отклонения от плоскопараллельности абсолютным интерференционным методом каждая концевая мера должна быть притерта посредине вспомогательной пластины.

При поверке методом сличения обе меры — поверяемая и образцовая (или эталонная) —должны быть притерты в середине пластины рядом, так, чтобы длинные ребра измерительных поверхностей мер были параллельны друг другу.

Меры, притертые к пластине, должны быть выдержаны вблизи интерферометра, а затем внутри его, на измерительном столике, в течение времени, указанного в табл. 2 и 3.

3.2.6..При поверке концевых мер длиной свыше 100 мм на горизонтальном интерферометре ВНИИМ (см. обязательное приложение 10) к ним должны притираться стальные вспомогательные пластины.

К концевым мерам, длина которых не кратна 100 мм, должны быть притерты вспомогательные меры известной длины, чтобы длина блока была кратна 100 мм.

3.3. О п р е д е л е н и е отклонения от плоскостности концевых мер в свободном состоянии.

3.3.1.    Определение отклонения от плоскостности измерительных поверхностей концевых мер длиной св. 0,6 до 3 мм включительно в свободном состоянии должно проводиться на интерферометре Кестерса (см. обязательное приложение 1).

3.3.2.    Концевую меру располагают на стеклянной пластине, установленной на предметном столике 18 (см. черт. 1 или 2 обязательного приложения 1) так, чтобы она была видна в середине поля зрения интерферометра и длинное ребро измерительной поверхности было параллельно горизонтальной нити перекрестия зрительной