Товары в корзине: 0 шт Оформить заказ
Стр. 1
 

59 страниц

548.00 ₽

Купить официальный бумажный документ с голограммой и синими печатями. подробнее

Официально распространяем нормативную документацию с 1999 года. Пробиваем чеки, платим налоги, принимаем к оплате все законные формы платежей без дополнительных процентов. Наши клиенты защищены Законом. ООО "ЦНТИ Нормоконтроль".

Наши цены ниже, чем в других местах, потому что мы работаем напрямую с поставщиками документов.

Способы доставки

  • Срочная курьерская доставка (1-3 дня)
  • Курьерская доставка (7 дней)
  • Самовывоз из московского офиса
  • Почта РФ

Распространяется на слитки монокристаллического кремния, получаемые методом Чохральского и предназначенные для изготовления пластин-подложек, используемых в производстве эпитаксиальных структур и структур металл-диэлектрик-полупроводник

Показать даты введения Admin

Страница 1

МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЕ СТАНДАРТЫ

Цветные металлы КРЕМНИЙ, МАГНИЙ, КАДМИЙ, ТИТАН

Технические условия Марки

Издание официальное

Москва ИПК ИЗДАТЕЛЬСТВО СТАНДАРТОВ 200 I

Страница 2

УДК 669.2/.8:006.354

ОТ ИЗДАТЕЛЬСТВА

Сборник «Цветные металлы. Кремний, магний, кадмии, титан. Технические условия. Марки* содержит стандарты, утвержденные до I марта 2001 г.

В стандарты внесены изменения, принятые до указанного

срока.

Текущая информация о вновь утвержденных и пересмотренных стандартах, а также о принятых к ним изменениях публикуется в ежемесячном информационном указателе «Государственные стандарты».

©ИПК Издательство стандартов. 2001

Страница 3

Группа В51

МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ    СТАНДАРТ

КРЕМНИИ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ

В СЛИТКАХ    гост

Технические условия    19658    81

Monocrystalline silicon in ingots.

Specifications

OKU 17 7213

Дата введения 01.01.83

Настоящий стандарт распространяется на слитки монокристаллического кремния, получаемые методом Чохральского и предназначенные для изготовления пластин-подложек, используемых в производстве эпитаксиальных структур и структур металл — диэлектрик - полупроводник. (Измененная редакция, Изм. № 2).

1. ТЕХНИЧЕСКИЕ ТРЕБОВАНИЯ

1.1. Слитки монокристаллического кремния изготоааяют в соответствии с требованиями настоящего стандарта дырочного типа электропроводности (Д), легированные бором (Б), и электронного типа электропроводности (Э), легированные фосфором (Ф) или сурьмой (С), бегтислокапнонные (с плотностью дислокаций не более 1 • 10' см~:) по технологической документации.

При оформлении документации с применением печатающих и автоматизированных устройств индексы дополнительных требований в наименовании марок необходимо печатать в соответствии с требованиями ГОСТ 2.0(>4.

Слитки монокристаллического кремния должны соответствовать требованиям, указанным в таблице.

Т а б л н и а

Маркл

Груши

Под

группа

Уасльное длектрическое сопротивление (УЭО

Ба ю паи длина слитка, мм. не меисс

Мшервал номинал 1. них значе-иий УЭС. Ом • см

Относительное отклонение средних значений УЭС торцов oi номинального значения УЭС. %

Радиальное относи тельное о1клоненис УЭС от среднего значения по ториу слитка, Ъ

Номинальные диаметр слитка, мм

ЭКДБ

1

а

б

в

г

д

0.005-20

35

10

62.5

78.5

102.5

127.5

152.5

100

150

250

250

250

0.1-20

2

а

62.5

100

б

0.005—20

78,5

100

в

25

10

102,5

200

г

A 1 *>A

127.5

200

д

0.1—2U

152.5

250

Издание официальное *

Перепечатка вис и решена


Страница 4

ГОСТ 19658-81 С. 2

Продолжение

Марка

Груши

Под

группа

Удельное злектрическое сопротивление (УЭС)

Номинальный днамсф елнтка. мм

Блзошш дли II л СЛИТКА. Mtl,

нс чеисе

И н icpea.i номинал!, пил значений УЭС. Ом • см

Oi носи 1слыюе отклонение средних мочений УЭС тор-пои I» номинально ю значения УЭС. %

нал mi ос относи тельное отклонение УЭС от среднего тначения ио торну слитка. %

экдг,

3

а

62.5

100

6

0,005—20

78.5

100

В

20

10

102.5

150

г

0.1-20

127,5

200

д

0,1-15

152,5

250

4

а

62,5

100

6

0.005-20

78.5

100

в

15

10

102.5

150

г

0.1-20

127,5

150

д

0.1-15

152,5

200

5

а

62,5

100

б

20-40

35

15

78,5

150

в

102.5

200

г

127,5

250

д

152,5

250

6

а

62,5

100

б

78,5

100

в

20-40

25

15

102.5

200

г

127,5

200

Д

152,5

250

7

а

62,5

100

б

20-40

20

15

78,5

100

в

102.5

150

г

127,5

150

8

а

20-40

62,5

100

б

20-40

20

10

78,5

100

в

20-80

102,5

150

г

20-40

127,5

150

ЭКЭС

11

а

62,5

ИХ)

б

0.01-1

35

20

78,5

150

в

102.5

200

12

а

62.5

100

б

0.01-1

20

15

78,5

100

ЭКЭФ

21

а

62,5

100

б

78,5

150

в

0.1-20

40

20

102,5

200

г

127.5

200

д

152,5

250

1-3.7П

9


Страница 5

С. 3 ГОСТ 19658-81

Продолжение

Удельное ллектрическое сопротиштение (УЭС)

Баюиам

Марка

Группа

Под

группа

И м теряал номинальных значений УЭС.

Ом • см

Oi носи тельное отклонение средних знамении УЭС тор-uon от номинально ю значения УЭС. %

Радиальное относи гсльное отклонение УЭС от среднего значения по ториу слитка. Ч

Номинальный диаметр слитка, мм

длина

слитка.

ми. не мен се

ЭКЭФ

22

а

б

в

г

д

0.1-20

30

15

62.5

78.5

102.5

127.5

152.5

100

100

200

200

250

23

а

б

в

0.1-20

20

15

62.5

78.5

102.5

100

100

150

г

д

0.1-15

127.5

152.5

150

200

24

а

б

в

0.1-20

20

10

62.5

78.5

102.5

100

100

150

г

д

0.1-15

127.5

152.5

150

200

25

а

б

в

г

Д

20-40

40

20

62.5

78.5

102.5

127.5

152.5

100

150

250

250

250

26

а

б

в

г

д

20-40

30

15

62.5

78.5

102.5

127.5

152.5

ИХ)

ИХ)

200

200

250

Примечания:

1.    Слитки с указанной базовой длиной должны составлять не менее 75 % общего объема данной марки кремния.

2.    Минимальная длина слитков монокристаллического кремния не должна быть менее диаметра слитка.

1.2.    Кристаллографическая ориентация плоскости торцевого среза монокристаллического слитка кремния - (111) или (ИЮ) индекс «м* и (013) индекс о* для слитков кремния, легированных бором и фосфором, с удельным электрическим сопротивлением 1 — 15 Ом • см.

1.3.    Угол отклонения плоскости торцевого среза монокристаллических слитков кремния от заданной кристаллографической плоскости (Л к /) не должен превышать 3 \

1.4.    Слитки должны быть мопокристаллическими и не должны иметь внешних дефектов (сколов, раковин) размером более 3 мм. а также трешин. На торцевых срезах слитков допускаются фаски с линейными размерами не более 3 мм.

1.5.    Концентрация атомов оптически активного кислорода должна быть (2—9) • 10” см 5 в слитках кремния диаметром менее 150 мм и (2- 10) • 10‘7см } в слитках кремния диаметром 150 и 152,5 мм при градуировочном коэффициенте, равном 2.45 • 10” см % вместо 3,3 • Ю’? см-1, указанном в приложении 7.

1.1.—1.5. (Измененная редакция. Изм. № 1).


10

Страница 6

ГОСТ 19658-81 С. 4

1.5а. Концентрация атомов оптически активного углерода должна быть не более 1 • 10,; см-’ в слитках кремния диаметром 78.5 мм и более, и не более 3 • 10” см*5 в слитках кремния диаметром 62,5 мм.

1.56. Концентрация атомов каждой из микропримесей железа, золота и меди в слитках монокри-сталлического кремния должна быть не более 1 • 10“ см

1.5а, 1.56. (Введены дополнительно, Изм. № 1).

1.6.    Слитки кремния с удельным электрическим сопротивлением более 3,0 Ом • см должны иметь время жизни неосновных носителей заряда: для электронной электропроводности не менее 7,5 мкс, для дырочной электропроводности не менее 2,5 мкс.

По требованию потребителя изготовляют слитки кремния, легированные бором или фосфором, с временем жизни неравновесных носителей заряда (н. и. з.), не менее:

-т>н (2—30 мкс) - для слитков с удельным электрическим сопротивлением 1-15 Ом*см (индекс «e*j;

ыыы1 (16—60 мкс) — для слитков диаметром не менее 100 мм с удельным электрическим сопротивлением 4-15 Ом • см (индекс «р*):

2р___„ (30-160 мкс) — дня слитков диаметром не менее 100 мм с удельным электрическим

сопротивлением 15—80 Ом • см (индекс «е*).

(Измененная редакция, Изм. JV« 1).

1.7.    Допускаемое предельное отклонение диаметра слитков кремния от номинального не должно превышать плюс 3 - минус 2 мм.

1.8.    Допускается обработка боковой поверхности слитков монокристаллического кремния при их доведении до заданного диаметра. Допускаются слитки кремния с протравленными торцами.

(Измененная редакция, Изм. № 2).

1.9.    По требованию потребителя слитки кремния могут быть изготовлены с номинальными диаметрами 60, 76, 100, 125, 150 мм с допускаемыми отклонениями ±0,5 мм (индекс «к,»).

По согласованию изготовителя с потребителем слитки кремния могут быть изготовлены с номинальными диаметрами 60, 76. 100. 125. 150 мм с допускаемыми отклонениями ±0.1 мм (индекс «к:»).

1.10.    По требованию потребителя слитки кремния, легированного фосфором или бором, с удельным электрическим сопротивлением 0,3 Ом *см и более должны быть изготовлены без свирлевых дефектов (индекс «с,») — для слитков с ориентацией (100) и (013) и (индекс »сг*) - для слитков с ориентацией (111).

Плотность микродефектов, выявляемых травлением, не должна быть более 2-10' см- - для слитков с ориентацией (100) и (013) индекс *с,» и не более 3’ 10s см 1 — для слитков с ориентацией (111) (индекс «с,*).

1.11.    Кристаллографическая ориентация плоскости торцевого среза, угол отклонения плоскости торцевого среза от заданной кристаллографической плоскости, отсутствие внешних дефектов, концентрация оптически активных атомов кислорода и углерода, концентрация атомов микропримесей железа, золота и меди, плотность дислокаций, время жизни неравновесных носителей заряда (для слитков без индексов «е* и «р») и отсутствие свирлевых дефектов для слитков с индексами «с, и с,» обеспечивается технологией изготовления.

Условное обозначение слитков монокристаллического кремния должно содержать: марку кремния. номинальное значение удельного электрического сопротивления, группу, подгруппу по диаметру слитка, кристаллографическую оржмгтапию плоскости торцевого среза монокристаллического слитка, индексы и обозначение настоящего стандарта. Отсутствие индекса «м* или «э* означает кристаллографическую ориентацию плоскости торцевого среза слитка (111).

Примеры у с л о в н о г о обозначения:

Кремний марки ЭКДБ с номинальных» значением удельного электрического сопротивления

2 Ом*см, группы I, подгруппы а. калиброванные с допуском 0,5 мм, с кристаллографической ориентацией апоскости торцевого среза монокристаллического слитка (111)

ЭКДЬ-2-l ак, ГОСТ 19658-81

Кремний марки ЭКЭФ с номинальным значением удельного электрического сопротивления

10 Ом*см, группы 6, подгруппы б, калиброванный с допуском 0.1 мм с кристаллографической ориентацией плоскости торцевого среза монокристаллического слитка (100). без свирлевых дефектов

i-j*    II

Страница 7

С. 5 ГОСТ 19658-81

ЭКЭФ-20— 6 бк, мс, ГОСТ 19658-81.

1.8.- 1.11. (Измененная релакния, Изм. № 1).

1.12. Колы ОКИ приведены в приложении 1а.

(Введен дополнительно, Изм. .Ve 1).

2.    ПРАВИЛА ПРИЕМКИ

2.1.    Каждый слиток кремния подвергают контролю, определяя тип электропроводности, удельное электрическое сопротивление, диаметр, длину и массу.

Контроль обеспечиваемых технологией изготовления параметров должен проводиться периодически. не реже одного раза в шесть месяцев на одном слитке кремния.

2.2.    Каждый слиток монокрнсталлического кремния сопровождают документом о качестве, в котором указывают:

товарный знак или наименование и товарный знак предприятия-изготовителя;

наименование продукции и ее марку;

номер слитка;

тип электропроводности;

среднее значение удельного электрического сопротивления на каждом торце; величину относительного отклонения средних значений удельного электрического сопротивления торцов слитка от номинального значения;

величину радиального относительного отклонения удельного электрического сопротивления от среднего значения по торцу слитка;

время жизни неравновесных носителей заряда (для слитков с индексами «е* и «р»);

длину и диаметр слитка, мм;

массу нетто, г;

дату изготовления:

штамп технического контроля;

обозначение настоящего стандарта.

Разд. 2. (Измененная редакция. Изм. № 1).

3.    МЕТОДЫ КОНТРОЛЯ

3.1.    Проверку слитков кремния на монокристалличность и отсутствие внешних дефектов на поверхности проводят по методике, приведенной в приложении 1.

3.2.    Тип электропроводности определяют по методике, приведенной в приложении 2. Тип электропроводности слитков диаметром 152,5 мм определяют аналогично на прилегающих к каждому из торцов слитка отожженных шайбах (толщиной 4—30 мм).

3.3.    Удельное электрическое сопротивление измеряют на обоих торцах слитков монокрнсталлического кремния либо на прилегающих к каждому из торцов в отожженных шайбах в шести фиксированных точках в двух взаимно перпендикулярных направлениях по диаметру слитка по методике, приведенной в приложении 3.

3.4.    Плотность дислокаций определяют на нижнем торце слитка или на прилегающей к нему шайбе по методике, приведенной в приложении 4; для слитков диаметром 150 мм и более используется только неотожженная шайба.

3.2.—3.4. (Измененная редакция, Изм. № 1).

3.5.    Диаметр слитков измеряют в произвольно выбранных по окружности точках в любом месте подлине слитка с погрешностью не более 0.1 мм. а длину - с погрешностью не более 1 мм. Измерения проводят стандартным мерительным инструментом, обеспечивающим заданную точность измерения.

3.6.    Массу слитка определяют взвешиванием:

до 2 кг — на весах, имеющих погрешность не более ± 2 г; до 10 кг - на весах, имеющих погрешность не более ± 5 г; до 30 кг - на весах, имеющих погрешность не более ± 50 г.

12

Страница 8

ГОСТ 19658-81 С. 6

Допускается определение массы слитка расчетным путем, исходя из его объема и плотности кремния, равной 2,33 г • см- \ При возникновении разногласий в определении массы слитка ее определяют взвешиванием.

3.7.    Угол отклонения плоскости торцевого среза монокристаллического слитка кремния измеряют по методикам, приведенным в приложениях 5 и 6.

Идентификацию кристаллографической ориентации плоскости торцевого среза монокристаллического слитка кремния с заданной кристаллографической плоскостью проводят по методике, приведенной в приложении 5.

3.8.    Концентрацию атомов оптически активного кислорода в слитках монокристаллического кремния определяют по методике, приведенной в приложении 7. При расчете концентрации атомов оптически активного кислорода допускается использовать градуировочный коэффициент, равный 2.45 * 101' см1.

3.6.—3.8. (Измененная редакция, Изм. № 1).

3.8а. Концентрацию атомов оптически активного углерода в слитках монокристаллического кремния определяют на нижнем торце слитка по методике, приведенной в приложении 8а.

3.86. Концентрацию атомов микропримесей железа, золота и меди определяют на нижнем торце слитка по ГОСТ 26239.1.

3.8а, 3.86. (Введены дополнительно, Изм. № 1).

3.9.    Время жизни неравновесных носителей заряда в слитках кремния измеряют на обоих торцах слитка в трех точках, одна из которых расположена в центре, а две другие — по диаметру на расстоянии 0,7 радиуса от центра, по методике, приведенной в приложении 8.

3.10.    Отсутствие свирлевых дефектов определяют по плотности микродефектов непосредственно на верхнем и нижнем торцах слитка или на прилегающих к каждому из торцов контрольных шайбах по методике, приведенной в приложении 9; для слитков диаметром 150 мм и более используются только неотожжеиные шайбы.

3.9, 3.10. (Измененная редакция, Изм. № 1).

3.11.    Допускается контролировать электрофизические параметры слитков монокристаллического кремния диаметром 100; 102,5; 125; 127,5; 150 и 152,5 мм на шайбах, прилегающих к верхнему и нижнему торцам слитков. Для измерения удельного электрического сопротивления и типа проводимости шайбу предварительно подвергают термообработке.

3.12.    Отжиг шайб проводится при /= 600- 700 ’С в течение 20—60 мин с последующим охлаждением на воздухе.

3.13.    По требованию потребителя шайбы, на которых проводились измерения, поставляются вместе со слитком. Масса шайб входит в массу товарной продукиии.

3.11.—3.13. (Введены дополнительно, Изм. № 1).

4. УПАКОВКА, МАРКИРОВКА, ТРАНСПОРТИРОВАНИЕ И ХРАНЕНИЕ

4.1.    Каждый слиток кремния помешают в пакет из полиэтиленовой пленки по ГОСТ 10354.

Допускается в пакет со слитком вкладывать документ о качестве.

4.2.    Полиэтиленовый пакет заваривают или заклеивают лентой с липким слоем по ГОСТ 20477 или лептой аналогичного типа и упаковывают в картонную или пластмассовую коробку с мягкой прокладкой.

Допускается вкладывать документ о качестве в коробку со слитком.

Коробку с крышкой перевязывают внахлестку полиэтиленовой лентой с липким слоем по ГОСТ 20477 или лентой аналогичного типа.

(Измененная редакция, Изм. № 1).

4.3.    Допускается другой вид упаковки, слиток кремния в заваренном полиэтиленовом пакете заворачивают в эластичный пенополиуретан или в другую мягкую упаковку и перевязывают внахлестку полиэтиленовой лентой с липким споем по ГОСТ 20477 или другой лентой аналогичного типа. Упакованный таким образом слиток помешают в полиэтиленовый пакет, в который вкладывают с одной стороны этикетку, с другой — документ о качестве, после чего пакет заваривают.

(Измененная редакция, Изм. № 1, 2).

4.4.    На коробку наклеивают этикетку с указанием:

наименования или товарного знака предприятия-изготовителя;

наименования продукции;

13

Страница 9

С. 7 ГОСТ 19658-81

марки;

номера документа о качестве; номера слитка;

длины и диаметра слитка, мм; массы нетто, г; даты изготовления; фамилии и номера упаковщика; обозначения настоящего стандарта.

(Измененная редакция, Изм. № 2).

4.5.    Слитки кремния, упакованные в соответствии с требованиями пп. 4.1 —4.3, укладывают в дошатые или фанерные ящики по ГОСТ 5959.

И каждый ящик должен быть вложен упаковочный лист с указанием:

наименования и товарного знака предприятия-изготовителя;

массы нетто в килограммах;

наименования продукиии;

количества слитков в ящике;

даты упаковки;

фамилии и номера упаковщика.

Допускается указание в упаковочном листе дополнительных данных.

Допускается упаковка слитков в многооборотную тару, изготовчяемую по нормативно-технической документации.

(Измененная релакния, Изм. № 1, 2).

4.6.    Маркировка яшиков - по ГОСТ 14192 с нанесением предупредительных знаков:

«Хрупкое. Осторожно»;

* Беречь от влаги»;

«Верх».

4.7.    Транспортирование слитков кремния проводят всеми видами транспорта в крытых транспортных средствах в соответствии с правилами перевозок грузов, действующими на данном виде транспорта.

Допускается транспортировать слитки кремния почтовыми посылками. При транспортировании почтовыми посылками предупредительные знаки не наносят.

(Измененная редакция, Изм. № 1).

4.8.    Слитки кремния должны храниться в упаковке изготовителя в закрытых складских помещениях.

5. ГАРАНТИИ ИЗГОТОВИТЕЛЯ

5.1.    Изготовитель гарантирует соответствие слитков кремния требованиям настоящего стандарта при собтюдении усювий их хранения в упаковке изготовителя.

5.2.    Гарантийный срок продукиии - 1 год со дня изготовления.

(Измененная редакция, Изм. № I).

14

Страница 10

ГОСТ 19658-81 С. 8

ПРИЛОЖЕНИЕ 1а Обязательное

Марка

Коя окп

Мирка

Код ОКГ1

Марка

Код OKI1

ЭКДБ 1а

17 7213 0111 06

ЭКДБ 6а

17 72130161 07

ЭКЭФ 226

17 7213 0322 08

ЭКДБ 16

177213011205

ЭКДБ 66

17 7213 0162 06

ЭКЭФ 22а

17 7213 0323 07

ЭКДБ1в

177213011304

ЭКДБ 6в

17 72130163 05

ЭКЭФ 22г

17 7213032406

ЭКДБ1г

177213011403

ЭКДБ 6г

177213016404

ЭКЭФ 22д

17 7213 0325 05

ЭКДБ 1 д

177213011502

ЭКДБ 6.1

17 72130165 03

ЭКЭФ 23а

17 7213033107

ЭКДБ 2а

17 7213 0121 04

ЭКДБ 7а

17 7213 0171 05

ЭКЭФ 236

17 7213 0332 06

ЭКДБ 26

177213012203

ЭКДБ 76

17 7213 0172 04

ЭКЭФ 23в

17 7213033305

ЭКДБ 2в

17 7213012302

ЭКДБ 7в

177213017303

ЭКЭФ 23г

17 7213 033404

ЭКДБ 2г

177213012401

ЭКДБ 7 г

17 7213017402

ЭКЭФ 23д

17 72130335 03

ЭКДБ 2д

17 72130125 00

ЭКДБ 8а

1772130181 03

ЭКЭФ 24а

17 7213 034 1 05

ЭКДБ За

17 7213013102

ЭКДБ 86

17 72130182 02

ЭКЭФ 246

17 7213 0342 04

ЭКДБ 36

17 7213 0132 01

ЭКДБ 8в

177213018301

ЭКЭФ 24в

17 7213 0343 03

ЭКДБ Зв

177213013300

ЭКДБ 8т

177213018400

ЭКЭФ 24г

1772130344 02

ЭКДБ Зг

1772130134 10

ЭКЭС 11а

17 7213 0211 03

ЭКЭФ 24д

17 7213 0345 01

ЭКДБ Зд

17 7213013509

ЭКЭС 116

17 7213 0212 02

ЭКЭФ 25а

17 7213035103

ЭКДБ 4а

17 7213 0141 (К)

ЭКЭСПв

177213021301

ЭКЭФ 256

17 7213035202

ЭКДБ 46

17 7213 0142 10

ЭКЭС 12а

17 7213 0221 01

ЭКЭФ 25в

17 72130353 01

ЭКДБ4в

17 7213 014309

ЭКЭС 126

17 7213 0222 00

ЭКЭФ 25г

17 7213035400

ЭКДБ 4т

17 721301440S

ЭКЭФ 21а

17 7213 0311 00

ЭКЭФ 25д

17 72130355 10

ЭКДБ 4д

17 7213 0145 07

ЭКЭФ 216

17 7213 0312 10

ЭКЭФ 26а

17 7213 036101

ЭКДБ 5а

17 72130151 09

ЭКЭФ21в

177213031309

ЭКЭФ 266

17 7213 0362 00

ЭКДБ 56

17 72130152 08

ЭКЭФ 21т

17 7213031408

ЭКЭФ 26в

17 7213 0363 10

ЭКДБ 5в

17 7213 0153 07

ЭКЭФ 21д

17 7213 0315 07

ЭКЭФ 26г

17 7213 0364 09

ЭКДБ 5г

17 72130154 06

ЭКЭФ 22а

17 7213 0321 09

ЭКЭФ 26д

17 72130365 08

ЭКДБ 5д

17 7213015505

ПРИЛОЖЕНИЕ 1а. (Введено дополнительно. Изм. № 1).

ПРИЛОЖЕНИЕ 1 Обязательное

ОПРЕДЕЛЕНИЕ МОНОКРИСТАЛЛИЧНОСТИ И ОТСУТСТВИЯ ВНЕШНИХ ДЕФЕКТОВ НА ПОВЕРХНОСТИ СЛИТКОВ КРЕМНИЯ

Методика предназначена для качественного контроля визуальным осмотром всей поверхности слитков кремния электронного и дырочною типов электропроводности с различным удельным электрическим сопротивлением с кристаллографической ориентацией (111). (100) и (013).

Методика позволяет контрол и ровать наличие макроскопических дефектов структуры, нарушающих моно-крисгалличность слитка (Гранин зерен и двойникованин. двойниковых ламелей), а также внешних дефектов (макроскопических раковин, сколов и трещин).

Методика основана на визуальном осмотре всей поверхности слитка, в результате которого выявляют наличие макроскопических дефектов структуры и внешних дефектов.

Контроль перечисленных дефектов осуществляют при стандартном несфокусированном освещении.

Всю естественную или механически обработанную поверхность слитков обследуют визуально непосредственно после их выращивания или после химического травления. Травление проводят в смеси фтористоводородной кислоты (HF) и водного раствора хромового ангидрида (СЮ1 250—500 г/дм5), взятых в отношении 1:(2—4) обьемных частей.

Для контроля наличия раковин, сколов и трещин специального травления не проводят.

1. .Аппаратура и материалы

Стол с лампой накаливания мощностью не менее 40 Вт.

Линейка металлическая но ГОСТ 427.

Кислота фтористоводородная ос. ч. по ТУ 6—09—4015. х. ч.: ч; ч. д, а. по ГОСТ 10484.

15

Заменяет ГОСТ 19658-74