Товары в корзине: 0 шт Оформить заказ
Стр. 1 

15 страниц

304.00 ₽

Купить ГОСТ Р 8.659-2009 — бумажный документ с голограммой и синими печатями. подробнее

Распространяем нормативную документацию с 1999 года. Пробиваем чеки, платим налоги, принимаем к оплате все законные формы платежей без дополнительных процентов. Наши клиенты защищены Законом. ООО "ЦНТИ Нормоконтроль"

Наши цены ниже, чем в других местах, потому что мы работаем напрямую с поставщиками документов.

Способы доставки

  • Срочная курьерская доставка (1-3 дня)
  • Курьерская доставка (7 дней)
  • Самовывоз из московского офиса
  • Почта РФ

Распространяется на средства измерений (СИ) характеристик ультрафиолетового (УФ) излучения, используемые при технологическом контроле в нанофотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок.

 Скачать PDF

Рекомендуется использовать вместо Р 50.2.014-2001 (ИУС 5-2010)

Оглавление

1 Область применения

2 Нормативные ссылки

3 Операции поверки

4 Средства поверки

5 Требования к квалификации поверителей

6 Требования безопасности

7 Условия поверки

8 Подготовка и проведение поверки

9 Обработка результатов измерений

10 Оформление результатов поверки

Библиография

 
Дата введения01.01.2011
Добавлен в базу01.02.2017
Актуализация01.01.2019

Этот ГОСТ находится в:

Организации:

15.12.2009УтвержденФедеральное агентство по техническому регулированию и метрологии972-ст
ИзданСтандартинформ2010 г.
РазработанФГУП ВНИИОФИ

State system for ensuring the uniformity of measurements Instruments measuring the characteristics of ultraviolet radiation of technological testing of nanophotolitography.Verification procedure

Стр. 1
стр. 1
Стр. 2
стр. 2
Стр. 3
стр. 3
Стр. 4
стр. 4
Стр. 5
стр. 5
Стр. 6
стр. 6
Стр. 7
стр. 7
Стр. 8
стр. 8
Стр. 9
стр. 9
Стр. 10
стр. 10
Стр. 11
стр. 11
Стр. 12
стр. 12
Стр. 13
стр. 13
Стр. 14
стр. 14
Стр. 15
стр. 15

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ



НАЦИОНАЛЬНЫЙ

СТАНДАРТ

РОССИЙСКОЙ

ФЕДЕРАЦИИ


ГОСТ Р

8.659-

2009


Государственная система обеспечения единства измерений

СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ ХАРАКТЕРИСТИК УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ ПРИ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОМ КОНТРОЛЕ В НАНОФОТОЛИТОГРАФИИ

Методика поверки


Издание официальное



г


Москва

Стандартинформ

2010


Предисловие

Цели и принципы стандартизации в Российской Федерации установлены Федеральным законом от 27 декабря 2002 г. № 184-ФЗ «О техническом регулировании», а правила применения национальных стандартов Российской Федерации — ГОСТ Р 1.0-2004 «Стандартизация в Российской Федерации. Основные положения»

Сведения о стандарте

1    РАЗРАБОТАН Федеральным Государственным унитарным предприятием «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП ВНИИОФИ)

2    ВНЕСЕН Научно-техническим управлением Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии

3    УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 15 декабря 2009 г. № 972-ст

4    ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодно издаваемом информационном указателе «Национальные стандарты». а текст изменений и поправок — в ежемесячно издаваемых информационных указателях «Национальные стандарты». В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ежемесячно издаваемом информационном указателе «Национальные стандарты». Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет

© Стандартинформ. 2010

Настоящий стандарт не может быть полностью или частично воспроизведен, тиражирован и распространен в качестве официального издания без разрешения Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии

ний, указанной в паспорте поверяемого СИ и составляющей не менее 108 Вт/(м2 • ср) для энергетической яркости и 102 Вт/ср для силы излучения. По результатам измерений определяют границы диапазона измерений энергетической яркости и силы излучения поверяемого СИ. в пределах которого значение погрешности 03 не превышает 3 %.

8.3.4 Определение погрешности средства измерений, возникающей из-за неидеальной коррекции угловой зависимости чувствительности

Поверяемое СИ устанавливают на поворотном столике гониометра с использованием в качестве излучателя источника синхротронного излучения. Регистрируют показания / (<р) поверяемого СИ в зависимости от угла падения потока излучения ф в пределах от 0° до 30° с шагом Iе. Показания СИ / (ф) для угла ф нормируют на показание СИ / при нормальном угле падения потока излучения. Рассчитывают угловую зависимость f (ф) отклонения относительной чувствительности СИ от функции cos ф по формуле

f (ф) = ЮО {/(c<*)/I/(4b)cos ф] - 1}.    (8)

Косинусную погрешность СИ 04 рассчитывают по формуле:

30'

04 = J |/(«p)|sin 2ф<Лр.    (9)

O’

Значение 04 должно быть не более 3 %.

При превышении указанного значения косинусной погрешности допускается ограничивать угол зрения СИ.

9 Обработка результатов измерений


Обработку результатов измерений характеристик СИ и определение основной относительной погрешности проводят в соответствии с ГОСТ 8.207.

Относительное CKO S0 результатов измерений для п независимых измерений оценивают по формуле (2).

CKO S0 определяют по результатам измерений в соответствии с 8.3.3 в динамическом диапазоне 103— 10® Вт/(м2ср) для энергетической яркости, в динамическом диапазоне 10'3 — 102 Вт/ср для силы излучения.

Границу относительной неисключенной систематической погрешности 0О определяют по формуле


Z«*J


(Ю)


-1.1


«о


W-1


где 0у — составляющие неисключенной систематической погрешности:

0, — погрешность спектральной коррекции (0, s 6 % — по 8.3.1);

02 — погрешность определения абсолютной чувствительности (0j <, 6 % — по 8.3.2);

Bj — погрешность линейности (03 < 3 % — по 8.3.3);

04 — погрешность угловой коррекции (04 <. 3 % — по 8.3.4).

Предел допускаемой основной относительной погрешности СИ ^ рассчитывают по формуле


V2


2>?/з+sl


&o = KSr=K


(11)


У-1


где S^— суммарное относительное СКО:

К— коэффициент, определяемый соотношением случайной и несключенной систематической погрешностей.

При 0О > 8S0 случайной погрешностью по сравнению с систематической пренебрегают и принимают До = %

8


ГОСТ Р 8.659-2009

Результаты поверки СИ энергетической яркости и силы излучения считают положительными, если предел допускаемой основной относительной погрешности не превышает 10 %.

10 Оформление результатов поверки

10.1    При положительных результатах поверки оформляют свидетельство о поверке и СИ допускают к применению.

10.2    При отрицательных результатах поверки свидетельство аннулируют и выдают извещение о непригодности СИ.

9

ГОСТ Р 8.659-2009

Библиография

[1] CIE N53 Methods of characterizing the performance of radiometers and photometers. — 1982. — 24 p.

10

УДК 543.52:535.214.535.241:535.8:006.354    ОКС    17.020    Т84.10    ОКСТУ    0008

Ключевые слова: энергетическая яркость, сила излучения, спектральная чувствительность, средства измерений, ультрафиолетовое излучение, нанофотолитография, синхротронное излучение

11

Редактор Л В Афанасенко Технический редактор В Н. Прусакова Корректор Г И. Кононенко Компьютерная верстка В И. Грищенко

Сдано в набор 02 04 2010 Подписано в почать 11 05 2010 Формат 60x84’/*. Бумага офсетная Гарнитура Ариал Печать офсетная Уел. печ. л. 1,86 Уч.-изд. л. 1,20. Тираж 114 экз Зак 392.

ФГУП «СТАНДАРТИНФОРМ», 123995 Москва, Гранатный пер . 4 www gostinfo ru info@gostinfo ru Набрано во ФГУП «СТАНДАРТИНФОРМ» на ПЭВМ Отпечатано в филиале ФГУП «СТАНДАРТИНФОРМ» — тип. «Московский печатник», 105062 Москва. Лялин пер . 6


Содержание

1    Область применения............................................1

(ОООЫЫГОГОГОГО

2    Нормативные ссылки............................................1

3    Операции поверки.............

4    Средства поверки..............

5    Требования к квалификации поверителей

6    Требования безопасности.........

7    Условия поверки..............

8    Подготовка и проведение поверки ....

9    Обработка результатов измерений ....

10    Оформление результатов поверки . . .

Библиография................................................10

ill

НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

Государственная система обеспечения единства измерений

СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ ХАРАКТЕРИСТИК УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ ПРИ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОМ КОНТРОЛЕ В НАНОФОТОЛИТОГРАФИИ

Методика поверки

State system (or ensuring the uniformity of measurements. Instruments measuring the characteristics of ultraviolet radiation of technological testing of nanophotolitography. Verification procedure

Дата введения — 2011—01—01

1    Область применения

Настоящий стандарт распространяется на средства измерений (СИ) характеристик ультрафиолетового (УФ) излучения, используемые при технологическом контроле в нанофотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок.

Средства измерений характеристик УФ излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии обеспечивают измерения в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм следующих характеристик УФ излучателей:

-    энергетической яркости в динамическом диапазоне, нижняя граница которого составляет не более 103 Вт/(м2 ср). верхняя — не менее 10® Bt/Jm2 ср);

-    силы излучения в динамическом диапазоне, нижняя граница которого составляет не более 10-3 Вт/ср. верхняя — не менее 102 Вт/ср.

Методы оценки погрешностей СИ характеристик УФ излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии, представленные в настоящем стандарте, соответствуют рекомендациям № 53 Международной комиссии по освещению (1).

Межповерочный интервал — не более одного года.

2    Нормативные ссылки

В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:

ГОСТ 8.197-2005 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений спектральной плотности энергетической яркости в диапазоне длин волн от 0.04 до 0.25 мкм

ГОСТ 8.207-76 Государственная система обеспечения единства измерений. Прямые измерения с многократными наблюдениями. Методы обработки результатов наблюдений. Основные положения

ГОСТ 8.552-2001 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений потока излучения и энергетической освещенности в диапазоне длин волн от 0.03 до 0.40 мкм

Примечание — При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылочных стандартов о информационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодно издаваемому информационному указателю «Национальные стандарты», который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и по соответствующим ежемесячно издаваемым информационным указателям, опубликованным в текущем году. Если ссылочный стандарт заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руководствоваться заменяющим (измененным) стандартом. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то положение, в котором дана ссылка на него, применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.

Издание официальное

3 Операции поверки

При проведении поверки выполняют операции, указанные в таблице 1.

Таблица 1

Наименование операции

Номер раздела, подраздела,

Обязательность проведения операций при поверке

пункта настоящего стандарта

первичной

периодической

Внешний осмотр

8.1

+

+

Опробование

8.2

+

Определение метрологических характеристик

8.3

Определение погрешности спектральной коррекции чувствительности

8.3.1

+

-

Определение погрешности абсолютной чувствительности в диапазоне длин воли от 10 до 30 нм

8.3.2

Определение погрешности, возникающей из-за отклонения коэффициента линейности от единицы. Определение границ диапазонов измерений энергетической яркости и силы излучения

8.3.3

-

Определение погрешности, возникающей из-за неидеальной коррекции угловой зависимости чувствительности

8.3.4

-

Обработка результатов измерений

9

4    Средства поверки

При проведении поверки применяют следующие средства поверки:

-    установку для измерений энергетической яркости и силы излучения в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм в составе вторичного эталона спектральной плотности энергетической яркости (далее — ВЭТ СПЭЯ) по ГОСТ 8.197. Относительное суммарное среднее квадратическое отклонение (далее — СКО) — не более 3 %;

-    установку для измерений спектральной чувствительности приемников излучения в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм в составе рабочего эталона потока излучения и энергетической освещенности (далее — РЭ ПИ и ЭО) по ГОСТ 8.552. Относительное суммарное СКО — не более 3 %;

-    установку для измерений коэффициента линейности чувствительности радиометров УФ излучения в составе РЭ ПИ и ЭО по ГОСТ 8.552. Относительное суммарное СКО — не более 4 %;

-    установку для измерений угловой зависимости чувствительности фотопреобразователей УФ излучения в составе РЭ ПИ и ЭО по ГОСТ 8.552. включающую в себя гониометр. Относительное суммарное СКО — не более 5 %.

5    Требования к квалификации поверителей

Поверку должны проводить лица, аттестованные в качестве поверителей, освоившие работу с используемыми средствами поверки, изучившие настоящий стандарт и эксплуатационную документацию на средства поверки и средства измерений.

6    Требования безопасности

При поверке СИ характеристик УФ излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии должны быть соблюдены правила электробезопасности. Измерения должны проводить два оператора. аттестованных по группе электробезопасности не ниже III, прошедших инструктаж на рабочем месте по безопасности труда при эксплуатации электрических установок.

2

ГОСТ Р 8.659-2009

7    Условия поверки

При проведении поверки должны быть соблюдены следующие условия:

-    температура окружающего воздуха — 20 °С ± 5 °С:

-    относительная влажность воздуха — 65 % ± 15 %;

-    атмосферное давление — от 84 до 104 кПа;

-    напряжение питающей сети — (220 г 4) В;

-    частота питающей сети — (50 : 1) Гц.

8    Подготовка и проведение поверки

Методика поверки СИ характеристик УФ излучения в нанофотолитографии включает в себя подготовку к поверке, внешний осмотр, опробование и определение метрологических характеристик. При подготовке к поверке СИ необходимо включить все приборы в соответствии с их инструкциями по эксплуатации.

8.1    Внешний осмотр

При внешнем осмотре должны быть установлены:

-    соответствие комплектности СИ паспортным данным;

-    отсутствие механических повреждений блоков СИ. сохранность соединительных кабелей и сетевых разъемов;

-    четкость надписей на панели СИ:

-    наличие маркировки (тип и заводской номер СИ);

-    отсутствие сколов, царапин и загрязнений на оптических деталях СИ.

8.2    Опробование

При опробовании должны быть установлены:

-    наличие показаний радиометра при освещении УФ излучением;

-    правильное функционирование переключателей пределов измерений, режимов работы СИ.

8.3    Определение метрологических характеристик

8.3.1 Определение погрешности спектральной коррекции чувствительности

Погрешность СИ. вызванную неидеальной спектральной коррекцией чувствительности, определяют по результатам измерений отклонений относительной спектральной чувствительности (далее — ОСЧ) поверяемого СИ от стандартной, равной единице в пределах рабочего спектрального диапазона 10 — 30 нм и нулю вне рабочего диапазона. ОСЧ поверяемого СИ сравнивают с известной спектральной чувствительностью эталонного фотопреобразователя УФ излучения, поверенного в ранге РЭ по ГОСТ 8.552 в диапазоне длин волн от 7 до 1100 нм. Измерения относительной спектральной чувствительности поверяемого СИ УФ излучения проводят с использованием источника синхро-тронного излучения, монохроматоров типов МДР-23, ВМР-2. ДФС-29, комплекта светофильтров из кварца и фтористого магния, фотоприемников типов AXUV, поверенных в ранге РЭ ПИ и ЭО ГОСТ 8.552. При определении погрешности измерений относительной спектральной чувствительности в диапазоне длин волн от 7 до 1100 нм эталонное и поверяемое СИ поочередно устанавливают за выходной щелью монохроматора таким образом, чтобы поток монохроматического излучения проходил в апертурную диафрагму. Показания эталонного радиометра Г(/.) и поверяемого СИ / (/.) регистрируют поочередно пять раз на каждой длине волны с шагом 1 нм в диапазоне 7 — 30 нм, с шагом 5 нм в диапазоне 30 — 60 нм. с шагом 10 нм в диапазоне 60 — 1100 нм. Затем за выходной щелью монохроматора устанавливают светофильтр и регистрируют показания эталонного J” (>.) и поверяемого СИ */(>.), соответствующие рассеянному излучению в монохроматоре. Результат /-го измерения ОСЧ поверяемого СИ S, (л) рассчитывают по известным значениям ОСЧ S° (/.) эталонного СИ и отношению значений измеренных сигналов по формуле

S, (л) = S°(а) [//>.) - J, (Х)ИЛ (>•) - S, (>.)).    (1)

Для каждой длины волны определяют среднее значение ОСЧ S(/.). Оценку относительного CKO S0 результатов измерений для п независимых измерений определяют по формуле

3

S(>.)[n(n-1)lv2


(2)


So


Граница относительной неисключенной систематической погрешности результата измерений ОСЧ 0О определяется погрешностью РЭ ПИ и ЭО по ГОСТ 8.552 (из свидетельства о поверке). Относительное суммарное СКО результатов измерения ОСЧ определяют по формуле

Sv= (s£ + eJ/3)1'2.    (3)

Значение относительного суммарного СКО результатов измерений ОСЧ в диапазоне длин волн от 7 до 1100 нм не должно превышать 5 %.

Погрешность спектральной коррекции поверяемого СИ 0, в процентах, вызванную отклонением относительной спектральной чувствительности S(>.) от стандартной S^X), определяют по формуле

1100    1100

J L(X)S(>.)tf/. J*."(>.)$а(к)0.

-1|10Q

(4)

= 1^_2-

11100    1100

\ Цк) Sc,().)cP. jLCT().)S(>.yf/.

7    7

где Цк) — относительная спектральная плотность энергетической яркости контрольных источников УФ излучения:

LCT(/.) — относительная спектральная плотность энергетической яркости стандартного источника УФ излучения.

Для определения возможности применения поверяемого СИ при технологическом контроле в нанофотолитографии установлен перечень контрольных и стандартных источников излучения. Табулированные значения Цк) и LCT(>.) приведены в таблицах 2 — 7. Значение погрешности спектральной коррекции чувствительности 0, СИ характеристик УФ излучения для каждого контрольного источника должно быть не более 6 %.

Таблица 2 — Значения Lc'(k) для стандартного источника синхротронного излучения при энертии 450 МэВ и

радиусе орбиты 1,0 мм

Длина волны, нм

Длина волны, нм

*•*'(>•)

Длина волны, нм

<Л>->

9.8

231

70

601

250

36.9

10

279

80

471

275

29.1

13

680

90

375

300

23,5

15

975

100

302

350

15.9

18.5

1385

110

249

400

11.1

20

1504

120

206

500

6.38

25

1663

130

173

600

3.33

30

1622

140

146

700

2.67

35

1493

150

124

800

1.89

40

1326

160

106

900

1.38

45

1172

180

81,4

1000

1,04

50

1020

200

63,6

1100

0.82

60

7791

225

47.8

Таблица 3—

Значения Цк) для контрольного источника — ртутной лампы среднего давления

Длина волны, нм

Ц>->

Длина волны, нм

Ц>)

Длина волны, нм

Цк)

200

5.55 -W*

215

1,04.10й

230

1,18 10"’

205

8.19 W-2

220

1.23 10-’

235

1.02 10-'

210

1.04 10*'

225

1,29 10"’

240

8.64 10'

4

Окончание таблицы 3

Длина волны, нм

ЦУ)

Длина волны, нм

ЦУ)

Длина волны, нм

ЦУ)

245

4.87-10'*

535

9.77 10'3

825

5.18 10-3

250

9.05 10“*

540

6.49 10"3

830

5.19 Ю*3

255

4.42-10-’

545

7.18 10-’

835

5.22 10’3

260

1.75 10-'

550

5.61 «Г3

840

5.25 Iff3

265

2.93 10-'

555

5.50 10-3

845

5.28 10'3

270

1.01 10“’

560

5.40 10-3

850

5.31 10-3

275

6.52-1 O'*

565

5.51 КГ3

855

5.33 10-3

280

1.78 10-'

570

6.27 10‘3

860

5.36 Iff3

285

2.15 Iff2

575

9.48 10‘3

865

5.38 10’3

290

8.08 10"*

580

7.04 10-1

870

5.41 10‘3

295

1.21 10-’

585

5.47 Ю"3

875

5.43 Iff3

300

1.48 10'1

590

5.07 10"3

880

5.45 Iff3

305

3.67 10"'

595

5.05 10-3

885

5.48 10'3

310

1.20-10-’

600

5.02 10"3

890

5.52 10"3

315

6.09 10’1

605

4.98 1 (Г3

895

5.55 10*3

320

1.50 10'2

610

4.99 10-3

900

5.58 Iff3

325

1.19 10"*

615

4.92 Iff3

905

5.62 Iff3

330

1.13 10"*

620

4.97 Iff3

910

5.65 10’3

335

1.03-10-’

625

4.94 10-3

915

5.70 Iff3

340

9.48 10'3

630

4.92 10-3

920

5.72 Iff3

345

7.87 10’3

635

4.95 10-3

925

5.76 Iff3

350

6.71 «-*

640

4.99 10"3

930

5.79 10’3

355

9.12 Iff3

645

5.02 Iff3

935

5.82 10'3

360

9.51 10-3

650

5.07 10’3

940

5.84 10-3

365

1.000

655

5.16 10"3

945

5.87 Iff3

370

2.68 10'2

660

5.25 10'3

950

5.89 Iff3

375

1.01 1 о-2

665

5.27 10"3

955

5.92 10’3

380

1.03 102

670

6.07 10-3

960

5.96 Iff3

385

7.87 10-3

675

5.22 Iff3

965

5.98 Iff3

390

2.27 10-2

680

5.21 Iff3

970

6.01 10‘3

395

5.82 10'3

685

5.23 Iff3

975

6.04 10-3

400

7.40 10"3

690

5.82 Iff3

980

6.05 10-3

405

3.30 10"’

695

5.27 1 (У3

985

6.05 Iff3

410

7.52 10’2

700

5.25 10'3

990

6.07 Iff3

415

8.64 10-3

705

5.34 10"3

995

6.08 10*3

420

8.36 10'3

710

7.11-10-3

1000

6.09 Iff3

425

9.92 10'5

715

5.05 10'3

1005

6.09 10-3

430

1.39 10’2

720

5.01 10-3

1010

6.23 10'3

435

6.38 Iff1

725

4.94 10-3

1015

7.66 10'2

440

2.37 10'2

730

4.89 10'3

1020

6.18 Iff3

445

1.20 102

735

4.90 10*3

1025

6.09 Iff3

450

7.58 10"3

740

4.93 10'3

1030

6.08 Iff3

455

6.42 10'3

745

4,92 10"3

1035

6.06 Iff3

460

5.43 10'3

750

4.94 10-3

1040

6.04 Iff3

465

5.19 Iff3

755

4.98 IQ*3

1045

6.01 Iff3

470

5.57 10-3

760

4.97 10‘3

1050

5.96 Iff3

475

5.65 10-3

765

4.99 Iff3

1055

5.93 Iff3

480

5.38 10'3

770

5.01 lOr3

1060

5.89 Iff3

485

6.13 ю-3

775

5.04 10*3

1065

5.86 Iff3

490

1.79 10'2

780

5,05 10"3

1070

5.82 Iff3

495

7.15 Iff3

785

5.11 Iff3

1075

5.79 Iff3

500

4.26 10'3

790

5.09 10'3

1080

5.75 Iff3

505

4.49 10"3

795

5.11 10-3

1085

5.72 Iff3

510

4.63 10'3

800

5.14 Iff3

1090

5.69 Iff3

515

4,70 10-3

805

5.16 Iff3

1095

5.66 Iff3

520

4.65 10'3

810

5.16 Iff3

1100

5.69 Iff3

525

4.69 10"3

815

5.16 IQ*3

530

4.74 1<Г*

820

5.18 IQ-3

Таблица 4 — Значения Ц\) для контрольного источника — лазерной плазмы, тип I

Длина волны, нм

ц»

Длина волны, нм

Ц>)

Длина волны, нм

Ц>.)

10.0

0.299

17.0

0.086

24.0

0.007

10.5

0.489

17.5

0.056

24.5

0.011

11,0

0.161

18.0

0.038

25.0

0.014

11.5

0,175

18.5

0.025

25.5

0.007

12.0

0.109

19.0

0.018

26.0

0.014

12.5

0.095

19.5

0.015

26.5

0.012

13.0

0.474

20.0

0.007

27.0

0.006

13.5

1.000

20.5

0.009

27.5

0.013

14.0

0.832

21.0

0.008

28.0

0.015

14.5

0.825

21.5

0.008

28.5

0.007

15.0

0.474

22.0

0.015

29.0

0.011

15.5

0.336

22.5

0.009

29.5

0.014

16.0

0.321

23.0

0.015

30.0

0.009

16.5

0.175

23.5

0.009

Таблица 5 — Значения ЦУ.) для контрольною источника — лазерной плазмы, тип II

Длина волны, им

т

Длина волны, им

Ц>)

9

1.00

60

0.14

11

1.44

80

0.074

13

5.62

100

0.035

13.5

6.40

200

1.60 1C*

14

5.84

300

1.03 10-*

15

3.80

400

5.90 10“*

16

2.61

500

3.48 10*3

18

1.32

600

2.64 10-3

20

1.02

800

6.05 1C3

30

0.87

1000

2.02 1C*

40

0.59

1100

3,23 10“*

50

0.21

Таблица 6 — Значения Ц).) для контрольного источника — лазерной плазмы, тип III

Длина волны, нм

цц

Длина волны, нм

Ц>)

10.0

0.009

20.5

0.084

10.5

0.009

21.0

0.079

11.0

0.009

21.5

0.086

11.5

0.010

22.0

0.083

12.0

0.013

22.5

0.082

12.5

0.039

23.0

0.086

13.0

0.106

23,5

0.079

13.5

1.000

24.0

0.085

14.0

0.508

24.5

0.088

14.5

0.267

25.0

0.082

15.0

0.164

25,5

0.087

15.5

0.113

26.0

0.083

16.0

0.132

26.5

0.085

16.5

0.109

27.0

0.084

17.0

0.096

27,5

0.083

17.5

0.094

28.0

0.086

18.0

0.092

28.5

0.084

18.5

0.087

29.0

0.083

19.0

0.074

29.5

0.085

19.5

0.081

30,0

0.083

20.0

0.086

Таблица 7 — Значения Ц>.) для контрольного источника — лазерной плазмы, тип IV

Длина волны, нм

ц>)

Длина волны, нм

«*)

8.00

0.175

12.50

0.095

8.25

0.226

12.75

0.153

8.50

0.263

13.00

0.474

8.75

0.336

13.25

0.803

9.00

0.584

13.50

1.000

9.25

0.504

13.75

0.978

9.50

0.460

14.00

0.832

9.75

0.474

14.25

0.788

10.00

0.299

14.50

0.825

10.25

0.394

14.75

0.672

10.50

0.489

15.00

0.474

10.75

0.292

15.25

0.394

11.00

0.161

15.50

0.336

11.25

0.146

15.75

0.285

11.50

0.175

16.00

0.321

11.75

0.102

16.25

0.263

12.00

0.109

16.50

0.175

12.25

0.073

8.3.2 Определение погрешности абсолютной чувствительности средств измерений в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм

Определение погрешности абсолютной чувствительности средств измерений в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм проводят с использованием источника синхротронного излучения. Эталонное и поверяемое средство измерений энергетической яркости поочередно устанавливают на одинаковом расстоянии от излучателя и юстируют по углу для получения изображения излучающей области источника. Показания эталонного средства измерений Г и поверяемого средства измерений / регистрируют поочередно пять раз. Значение абсолютной чувствительности поверяемого средства измерений рассчитывают по формуле

S = STl/Г,    (5)

где S® — значение абсолютной чувствительности эталонного СИ.

Определяют среднеарифметическое значение абсолютной чувствительности поверяемого СИ. суммарное СКО результата измерений с учетом погрешности эталонного СИ по формулам (1) — (3). Предельная погрешность определения абсолютной чувствительности 0j не должна превышать 6 %.

8.3.3 Определение погрешности, возникающей из-за отклонения коэффициента линейности средства измерений от единицы. Определение границ диапазона измерений энергетической яркости и силы излучения

Коэффициент линейности определяют по отклонению значения чувствительности СИ от постоянного значения в рабочем диапазоне измеряемой величины. Фиксируют ток источника синхротронного излучения /,. соответствующий нижней границе диапазона измерений энергетической яркости, указанной в паспорте поверяемого СИ. и составляющий не более 103 Вт/(м2 ср). или силы излучения, составляющий не более 10-3 Вт/ср. Увеличивают ток источника вдвое и регистрируют показания поверяемого СИ /2. Измерения проводят пять раз. Определяют средние значения измеренных сигналов, CKO S0, суммарное СКО результатов измерений, рассчитывают коэффициент линейности

К=(/, + /2уЗ/,    (6)

и погрешность поверяемого СИ 03. вызванную нелинейностью чувствительности СИ.

Bj= 100|К-1|.    (7)

При определении границ диапазона измерений энергетической яркости и силы излучения поверяемого СИ ток излучателя увеличивают таким образом, чтобы значение энергетической яркости (силы излучения) увеличилось на порядок. Измеряют значения сигналов и рассчитывают соответствующее значение погрешности 03. Измерения повторяют до достижения верхней границы диапазона измере-

7