Товары в корзине: 0 шт Оформить заказ
Стр. 1
 

35 страниц

Устанавливает классификацию чистоты воздуха в чистых помещениях по концентрации аэрозольных частиц в чистых помещениях и чистых зонах, а также в изолирующих устройствах по ИСО 14644-7. Стандарт не устанавливает классификацию для частиц с пороговыми размерами, выходящими за пределы значений от 0,1 до 5 мкм. Стандарт не может использоваться для описания физических, химических, радиационных, биологических и других свойств аэрозольных частиц.

 Скачать PDF

Идентичен ISO 14644-1:2015

Оглавление

1 Область применения

2 Нормативные ссылки

3 Термины и определения

4 Классификация

5 Подтверждение соответствия

Приложение A (обязательное) Стандартный метод классификации чистоты воздуха по концентрации частиц

Приложение B (справочное) Примеры определения класса чистоты

Приложение C (справочное) Счет макрочастиц по размерам

Приложение D (справочное) Метод последовательного отбора проб

Приложение E (справочное) Задание промежуточных десятичных классов чистоты и пороговых размеров частиц

Приложение F (справочное) Контрольные приборы

Приложение ДА (справочное) Сведения о соответствии ссылочных международных стандартов национальным стандартам

Библиография

 

35 страниц

Дата введения01.12.2018
Добавлен в базу01.01.2019
Актуализация01.01.2019

Этот ГОСТ находится в:

Организации:

18.10.2017УтвержденФедеральное агентство по техническому регулированию и метрологии1442-ст
ИзданСтандартинформ2017 г.
РазработанАСИНКОМ
РазработанАО НИЦ КД

Cleanrooms and associated controlled environments. Part 1. Classification of air cleanliness by particle concentration

Стр. 1
стр. 1
Стр. 2
стр. 2
Стр. 3
стр. 3
Стр. 4
стр. 4
Стр. 5
стр. 5
Стр. 6
стр. 6
Стр. 7
стр. 7
Стр. 8
стр. 8
Стр. 9
стр. 9
Стр. 10
стр. 10
Стр. 11
стр. 11
Стр. 12
стр. 12
Стр. 13
стр. 13
Стр. 14
стр. 14
Стр. 15
стр. 15
Стр. 16
стр. 16
Стр. 17
стр. 17
Стр. 18
стр. 18
Стр. 19
стр. 19
Стр. 20
стр. 20
Стр. 21
стр. 21
Стр. 22
стр. 22
Стр. 23
стр. 23
Стр. 24
стр. 24
Стр. 25
стр. 25
Стр. 26
стр. 26
Стр. 27
стр. 27
Стр. 28
стр. 28
Стр. 29
стр. 29
Стр. 30
стр. 30

ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ

НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИ ЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ


ГОСТР

ИСО 14644-1-

2017


ЧИСТЫЕ ПОМЕЩЕНИЯ И СВЯЗАННЫЕ С НИМИ КОНТРОЛИРУЕМЫЕ СРЕДЫ

Часть 1

Классификация чистоты воздуха по концентрации частиц

(ISO 14644-1:2015, ЮТ)

Издание официальное

Москва

2017


Стандартинформ

Предисловие

1    ПОДГОТОВЛЕН Общероссийской общественной организацией «Ассоциация инженеров по контролю микрозагрязнений» (АСИНКОМ) и Открытым акционерным обществом «Научно-исследовательский центр контроля и диагностики технических систем» (АО «НИЦ КД») на основе собственного перевода на русский язык англоязычной версии стандарта, указанного в пункте 4

2    ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК 184 «Обеспечение промышленной чистоты»

3    УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 18 октября 2017 г. № 1442-ст

4    Настоящий стандарт идентичен международному стандарту ИСО 14644-1:2015 «Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха по концентрации частиц» (ISO 14644-1:2015 «Cleanrooms and associated controlled environments — Part 1: Classification of air cleanliness by particle concentration», IDT).

Международный стандарт подготовлен Техническим комитетом ИСО/ТК 209 «Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды».

При применении настоящего стандарта рекомендуется использовать вместо ссылочных международных стандартов соответствующие им национальные и межгосударственные стандарты, сведения о которых приведены в дополнительном приложении ДА

5    ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

Правила применения настоящего стандарта установлены в статье 26 Федерального закона от 29 июня 2015 г. № 162-ФЗ «О стандартизации в Российской Федерации». Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодном (по состоянию на 1 января текущего года) информационном указателе «Национальные стандарты», а официальный текст изменений и поправок—в ежемесячном информационном указателе «Национальные стандарты». В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ближайшем выпуске ежемесячного информационного указателя «Национальные стандарты». Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет (www.gost.ru)

© Стандартинформ, 2017

Настоящий стандарт не может быть полностью или частично воспроизведен, тиражирован и распространен в качестве официального издания без разрешения Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии

Приложение А (обязательное)

Стандартный метод классификации чистоты воздуха по концентрации частиц

А.1 Общие положения

Для определения концентрации аэрозольных частиц с размерами равными и большими заданных значений в заданных точках отбора проб следует применять дискретный счетчик частиц.

А.2 Требования к приборам

А.2.1 Счетчики частиц

Счетчик должен иметь экран или регистрирующее устройство счета дискретных аэрозольных частиц с возможностью распознавания размеров частиц, позволяющей определять концентрацию частиц в заданных диапазонах размеров для данного класса.

Примечание — Для классификации чистоты воздуха обычно используются дискретные счетчики аэрозольных частиц, работающие по принципу рассеяния света.

А.2.2 Калибровка счетчика

Счетчик частиц должен иметь действующий сертификат калибровки. Периодичность и метод калибровки следует определять в соответствии с принятой практикой по ИСО 21501-4 [1].

Примечание —Некоторые счетчики частиц не могут быть калиброваны по всем требованиям ИСО 21501-4 [1]. В этом случае в протоколе испытаний следует указать на решение об использовании счетчика.

А.З Подготовка к счету частиц

Перед проведением испытаний следует убедиться, что все требования к чистому помещению или чистой зоне, влияющие на ее работу, выполнены и что она функционирует в соответствии со своим назначением.

Следует обратить внимание на последовательность проверки вспомогательных параметров. Контрольный лист приведен в приложении А к ИСО 14644-3.

А.4 Определение точек отбора проб

А.4.1 Число точек отбора проб

Число точек отбора проб NL для заданной площади классифицируемого чистого помещения или чистой зоны следует определять по таблице А.1, согласно которой с доверительной вероятностью не менее 95 % не менее 90 % площади чистого помещения или чистой зоны не выходят за допустимые пределы.

Таблица А.1 — Число точек отбора проб в зависимости от площади чистого помещения

Площадь чистого помещения, меньшая или равная, м2

Минимальное число точек отбора проб (NL)

2

1

4

2

6

3

8

4

10

5

24

6

28

7

32

8

36

9

52

10

56

11

64

12

68

13

ГОСТ Р ИСО 14644-1-2017

Окончание таблицы А. 1

Площадь чистого помещения, меньшая или равная, м2

Минимальное число точек отбора проб (Л/Д

72

14

76

15

104

16

108

17

116

18

148

19

156

20

192

21

232

22

276

23

352

24

436

25

636

26

1 ООО

27

>1 ООО

См. формулу А.1

Примечания

1    Если площадь помещения попадает между двумя значениями в таблице, то выбирается большее из двух значений.

2    Для однонаправленного потока площадь может рассматриваться как поперечное сечение потока воздуха перпендикулярно направлению движения потока. Во всех других случаях площадь может рассматриваться как площадь горизонтальной плоскости чистого помещения или чистой зоны.

А.4.2 Расположение точек отбора проб

Для расположения точек отбора проб следует:

a)    определить минимальное число точек отбора проб NL по таблице А.1;

b)    разбить все чистое помещение или чистую зону на равное число секций NL с одинаковыми площадями;

c)    указать внутри каждой секции точку отбора проб, которая принимается представительной для всей секции;

d)    поместить в эти точки пробоотборник счетчика частиц в плоскости рабочих операций или в другой заданной точке.

Могут быть выбраны дополнительные точки отбора проб в местах, которые признаны критическими.

Дополнительные секции и соответствующие точки отбора проб могут быть получены путем разделения секций на одинаковые подсекции.

В чистых помещениях и чистых зонах с неоднонаправленным потоком точки отбора проб могут не отвечать условию представительности, если они расположены непосредственно под отверстиями приточного воздуха, не имеющими диффузоров.

А.4.3 Точки отбора проб в больших чистых помещениях или чистых зонах

При площади чистого помещения более 1 ООО м2 минимальное число точек отбора проб определяется по формуле (А.1)

^=27{ш}    <А1>

где Nl — минимальное число точек отбора проб, округленное до ближайшего целого числа;

А — площадь чистого помещения, м2.

А.4.4 Объем одной пробы и время отбора проб в данной точке

В каждой точке следует отобрать пробу объемом, позволяющим обнаружить не менее 20 частиц при концентрации частиц для наибольшего заданного порогового размера и данного класса ИСО.

7

Объем пробы Vs в точке отбора проб определяется по формуле (А.2)


20


•1000,

(А.2)


где Vs— минимальный объем одной пробы в точке, л (за исключением случая, рассмотренного в приложении D);

Спт— предельно допустимая концентрация частиц в 1 м3 (предел класса) для наибольшего заданного порогового размера и данного класса ИСО;

20 — число частиц, которое может быть обнаружено, если концентрация частиц равна пределу класса.

В каждой точке следует отобрать пробу объемом не менее 2 л.

Время отбора одной пробы в каждой точке должно быть не мене 1 мин.

В каждой точке следует отбирать пробу с одним и тем же объемом.

Если величина \/s очень велика и требуется длительное время для отбора пробы, то может использоваться метод последовательного отбора проб по приложению D, позволяющий сократить как объем проб, так и время их отбора.

А.5 Порядок отбора проб

А.5.1 Счетчик частиц следует установить в соответствии с инструкцией изготовителя (А.2), включая проверку нулевого счета.

А.5.2 Пробоотборник должен быть установлен навстречу потоку воздуха. Если направление потока воздуха неизвестно или не контролируется (например, для неоднонаправленного потока), то пробоотборник должен быть установлен вертикально вверх.

А.5.3 Перед началом отбора проб следует убедиться, что состояние чистого помещения соответствует заданному.

А.5.4 Следует отобрать пробу (пробы) воздуха в каждой точке по А.4.

А.5.5 Если концентрация частиц в какой-либо точке не соответствует требованиям и причина этого установлена и вызвана отклонениями от нормы, то этот результат может быть изъят с указанием в протоколе и отбором новой пробы.

А.5.6 Если концентрация частиц в какой-либо точке не соответствует требованиям из-за технической неисправности в чистом помещении или в оборудовании, то следует установить причину неисправности, устранить ее, отобрать пробу повторно в данной точке, в точках, непосредственно ее окружающих и других точках, на которые неисправность могла оказать влияние. Эти действия должны быть обоснованы и оформлены документально.

А.6 Обработка результатов

А.6.1 Запись результатов

Для каждой пробы и каждого заданного порогового размера частиц рассматриваемого класса ИСО следует записать число частиц.

Примечания — Если счетчик частиц вычисляет концентрацию частиц, то расчет концентрации частиц не выполняется.

А.6.1.1 Средняя концентрация частиц в каждой точке отбора проб

Если в точке отбираются две или более пробы, то следует определить и записать среднее число частиц в точке для каждого заданного порогового размера частиц по концентрациям частиц в каждой пробе по формуле (А.З)


*/


*/1 + Х/2


п


(А.З)


где х(- — среднее число частиц в /-и точке; х(1 до xjn — число частиц в отдельных пробах; п — число проб в /-й точке.

А.6.1.2 Концентрация частиц в одном кубическом метре воздуха

_ х,- • 1000

где С(-— концентрация частиц в кубическом метре в /-й точке, х,-— среднее число частиц в /-й точке.

V— объем одной пробы, л.


(А. 4)


ГОСТ Р ИСО 14644-1-2017

А.6.2 Оценка результатов

А.6.2.1 Требования классификации

Чистое помещение или чистая зона соответствуют заданному классу чистоты воздуха, если средняя концентрация частиц (число частиц в одном кубическом метре воздуха) в каждой точке отбора проб не превышает предельно допустимое значение для данного класса (таблица 1).

Если заданы промежуточные классы чистоты или промежуточные размеры частиц по приложению Е, то следует использовать таблицу Е.1 или формулу (Е.1).

А.6.2.2 Результаты, выходящие за предельно допустимые значения

В случае получения результатов, выходящих за предельно допустимые значения, следует установить и устранить причину с внесением записи в протокол испытаний.

9

Приложение В (справочное)

Примеры определения класса чистоты

В.1 Пример 1

В. 1.1 Чистое помещение с площадью пола 18 м2, класс 5 ИСО, эксплуатируемое состояние. Для классификации используется дискретный счетчик частиц со скоростью отбора проб 28,3 л/мин. Заданы два пороговых размера: 3 мкм и 5 мкм.

Число точек отбора проб NL по таблице А.1 равно 6.

В. 1.2 Предельно допустимые концентрации частиц для класса 5 ИСО по таблице 1 равны:

Сп{> 0,3 мкм) = 10200 частиц/м3,

С„(> 0,5 мкм) = 3520 частиц/м3.

20

В. 1.3 Объем одной пробы определяется по формуле (А.2) как:

•1000,

•1000,

20

3520

\/s = (0,00568) ■ 1000,

\/s = 5,68 л.

Объем одной пробы по расчету равен 5,68 л. Поскольку используется дискретный счетчик частиц со скоростью отбора проб 28,3 л/мин, то время отбора одной пробы составляет 1 мин (А.4.4) и объем одной пробы при испытаниях равен 28,3 л.

Примечание — Согласно А.4.4 для определения минимального объема пробы следует найти минимальный объем по расчету (см. выше), а затем сравнить его со скоростью отбора проб счетчика частиц (л/мин.). Время отбора пробы в каждой точке должно составлять не менее 1 мин. Если полученный расчетом минимальный объем пробы удовлетворяет этому условию, то отбор пробы может завершиться через 1 мин. Если полученный расчетом минимальный объем пробы не может быть отобран в течение 1 мин при скорости отбора проб используемого счетчика, то отбор проб должен продолжаться в течение времени не меньшего, чем требуется для отбора нужного объема пробы. Поскольку существуют счетчики частиц с различными скоростями отбора проб, пользователь должен знать скорость отбора проб применяемого счетчика, оценивая время отбора пробы, которое удовлетворяет как условию 1 мин, так и требованию отбора минимального объема пробы по расчету.

В. 1.4 В каждой точке отбора проб отбирается только одна проба (в данном примере). Концентрация частиц в 1 м3 воздуха, х(-, для каждой точки и каждого порогового размера частиц указана в таблицах В.1 и В.2.

Таблица В.1 —Данные отбора пробы по частицам > 0,3 мкм

Номер

точки

отбора

проб

Проба для частиц > 0,3 мкм (объем пробы 28,3 л)

Среднее значение в точке (объем пробы 28,3 л)

Средняя концентрация (частиц/м3 = среднее значение в точке * 35,3)

Предел класса 5 ИСО по частицам > 0,3 мкм

Соответствует/ не соответствует (да/нет)

1

245

245

8 649

10 200

Да

2

185

185

6 531

10 200

Да

3

59

59

2 083

10 200

Да

4

106

106

3 742

10 200

Да

5

164

164

5 789

10 200

Да

6

196

196

6 919

10 200

Да

ГОСТ Р ИСО 14644-1-2017

Таблица В.2 — Данные отбора пробы по частицам >0,5 мкм

Номер

точки

отбора

проб

Проба для частиц > 0,5 мкм (объем пробы 28,3 л)

Среднее значение в точке (объем пробы 28,3 л)

Средняя концентрация (частиц/м3 = среднее значение в точке * 35,3)

Предел класса 5 ИСО по частицам > 0,5 мкм

Соответствует/ не соответствует (да/нет)

1

21

21

741

3 520

Да

2

24

24

847

3 520

Да

3

0

0

0

3 520

Да

4

7

7

247

3 520

Да

5

22

22

777

3 520

Да

6

25

25

883

3 520

Да

В. 1.5 Каждое значение концентрации частиц с размерами > 0,3 мкм меньше предела класса 10 200 частиц/м3 и частиц с размерами > 0,5 мкм меньше предела класса 3 520 частиц/м3 (В. 1.2), следовательно, чистое помещение соответствует требуемому классу ИСО по концентрации частиц.

В.2 Пример 2

В.2.1 Чистое помещение с площадью пола 9 м2, класс 3 ИСО, эксплуатируемое состояние. Для классификации используется дискретный счетчик частиц со скоростью отбора проб 50,0 л/мин. Задан один пороговый размер частиц: 0,1 мкм.

Число точек отбора проб NL по таблице А.1 равно 5.

В.2.2 Предельно допустимая концентрация частиц для класса 3 ИСО с размерами > 0,1 мкм по таблице А.1

равна:

20

\Cn,mJ


•1000,


Сп{> 0,1 мкм) = 1000 частиц/м3 В.2.3 Объем одной пробы определяется по формуле (А.2) как

•1000,

20

1000

\/s = (0,02) ■ 1000,

\/s = 20,0 л.

Объем одной пробы по расчету равен 20,0 л. Поскольку используется дискретный счетчик частиц со скоростью отбора проб 50,0 л/мин, то время отбора одной пробы составляет 1 мин (А.4.4) и объем одной пробы при испытаниях равен 50 л.

В.2.4 В каждой точке отбора проб отбирается только одна проба (в данном примере). Концентрация частиц в 1 м3 воздуха, х(-, для каждой точки указана в таблице В.З.

Таблица В.З — Данные отбора пробы по частицам > 0,1 мкм

Номер

точки

отбора

проб

Проба для частиц > 0,1 мкм (объем пробы 50,0 л)

Среднее значение в точке (объем пробы 50,0 л)

Средняя концентрация (частиц/м3 = среднее значение в точке * 20)

Предел класса 3 ИСО по частицам > 0,1 мкм

Соответствует/ не соответствует (да/нет)

1

46

46

920

1 000

Да

2

47

47

940

1 000

Да

3

46

46

920

1 000

Да

4

44

44

880

1 000

Да

5

9

9

180

1 000

Да

11

В.2.5 Каждое значение концентрации частиц с размерами > 0,1 мкм меньше предела класса 1 ООО частиц/ м3 (таблица 1), следовательно, чистое помещение соответствует требуемому классу ИСО по концентрации частиц.

В.З Пример 3

В.3.1 Чистое помещение с площадью пола 64 м2, класс 5 ИСО, эксплуатируемое состояние. Для классификации используется дискретный счетчик частиц со скоростью отбора проб 28,3 л/мин. Задан один пороговый размер частиц: 0,5 мкм.

Число точек отбора проб NL по таблице А.1 равно 12.

В.3.2 Предельно допустимая концентрация частиц с размерами > 0,5 мкм для класса 5 ИСО по таблице 1

равна:

С„(> 0,5 мкм) = 3520 частиц/м3.

20

В.3.3 Объем одной пробы определяется по формуле (А.2) как

•1000,

п,т )

•1000,

20

3520

Vs = (0,00568) ■ 1000,

Vs = 5,68 л.

Объем одной пробы по расчету равен 5,68 л. Поскольку используется дискретный счетчик частиц со скоростью отбора проб 28,3 л/мин, то время отбора одной пробы составляет 1 мин (А.4.4) и объем одной пробы при испытаниях равен 28,3 л.

В.3.4 В каждой точке отбора проб отбирается только одна проба (в данном примере). Концентрация частиц в 1 м3 воздуха, Xj, для каждой точки указана в таблице В.4.

Таблица В.4 — Данные отбора пробы по частицам > 0,5 мкм

Номер

точки

отбора

проб

Проба для частиц > 0,5 мкм (объем пробы 28,3 л)

Среднее значение в точке (объем пробы 28,3 л)

Средняя концентрация (частиц/м3 = среднее значение в точке * 35,3)

Предел класса 5 ИСО по частицам > 0,5 мкм

Соответствует/ не соответствует (да/нет)

1

35

35

1 236

3 520

Да

2

22

22

777

3 520

Да

3

89

89

3 142

3 520

Да

4

49

49

1 730

3 520

Да

5

10

10

353

3 520

Да

6

60

60

2 118

3 520

Да

7

18

18

635

3 520

Да

8

44

44

1 553

3 520

Да

9

59

59

2 083

3 520

Да

10

51

51

1 800

3 520

Да

11

6

6

212

3 520

Да

12

31

31

1 094

3 520

Да

В.3.5 Каждое значение концентрации частиц с размерами D > 0,5 мкм меньше предела класса 3 520 частиц/м3 (таблица 1), следовательно, чистое помещение соответствует требуемому классу ИСО по концентрации частиц.

В.4 Пример 4

В.4.1 Чистое помещение с площадью пола 25 м2, класс 5 ИСО, эксплуатируемое состояние. Для классификации используется дискретный счетчик частиц со скоростью отбора проб 28,3 л/мин. Задан один пороговый размер частиц: 0,5 мкм.

ГОСТ Р ИСО 14644-1-2017

Число точек отбора проб NL по таблице А.1 равно 7.

В.4.2 Предельно допустимая концентрация частиц для класса 5 ИСО с размерами > 0,5 мкм по таблице А.1

равна:

20

Сп( > 0,5 мкм) = 3520 частиц/м3. В.4.3 Объем одной пробы определяется по формуле (А.2) как

•1000,

п,т )

•1000,

20

3520

Vs = (0,00568) ■ 1000,

Vs = 5,68 л.

Объем одной пробы по расчету равен 5,68 л. Поскольку используется дискретный счетчик частиц со скоростью отбора проб 28,3 л/мин, то время отбора одной пробы составляет 1 мин (А.4.4) и объем одной пробы при испытаниях равен 28,3 л.

В.4.4 Число точек отбора по таблице А.1 равно 7. Однако в данном примере исполнитель и заказчик договорились добавить еще 3 точки, т. е. общее число точек отбора проб равно 10. В разных точках число проб изменяется от 1 до 3.

В.4.5 Концентрация частиц в 1 м3 воздуха, х(-, для каждой точки для скорости отбора проб 28,3 л/мин получена по среднему числу частиц в каждой точке (28,3 л) и указана в таблице В.5.

Таблица В.5 — Данные отбора пробы по частицам >0,5 мкм

Номер

точки

отбора

проб

Проба 1 для частиц > 0,5 мкм (объем пробы 28,3 л)

Проба 2 для частиц > 0,5 мкм (объем пробы 28,3 л)

Проба 3 для частиц > 0,5 мкм (объем пробы 28,3 л)

Среднее значение в точке (объем пробы 28,3 л)

Средняя концентрация (частиц/м3 = среднее значение в точке х 35,3)

Предел класса 5 ИСО по частицам > 0,5 мкм

Соответствует/ не соответствует (Да/Нет)

1

47

57

52

1 836

3 520

Да

2

12

12

424

3 520

Да

3

162

78

32

91

3 201

3 520

Да

4

148

74

132

118

4 165

3 520

Нет

5

1

0

0,5

18

3 520

Да

6

19

22

17

19

682

3 520

Да

7

5

15

3

8

271

3 520

Да

8

38

21

30

1 041

3 520

Да

9

54

159

78

97

3 424

3 520

Да

10

48

62

53

54

1 918

3 520

Да

В.4.6 В точке 4 средняя концентрация частиц в объеме пробы 4 165 частиц/м3 не соответствует требованию класса 5 ИСО (3 520 частиц/м3). В точках 3 и 9 по одному из значений концентрации частиц в объеме пробы не соответствуют требованиям таблицы 1, но средняя концентрация частиц в точке 3 и средняя концентрация частиц в точке 9 соответствуют пределу класса по таблице 1. Чистое помещение не соответствует заданному классу ИСО, поскольку в точке 4 концентрация частиц превышает допустимое значение.

В.5 Пример 5

В.5.1 Чистое помещение с площадью пола 10,7 м2, класс 7,5 ИСО, эксплуатируемое состояние. Для классификации используется дискретный счетчик частиц со скоростью отбора проб 28,3 л/мин. Задан один пороговый размер частиц: 0,5 мкм.

Число точек отбора проб NL по таблице А.1 равно 6.

13

В.5.2 Предельно допустимая концентрация частиц для класса 7,5 ИСО с размерами > 0,5 мкм по таблице Е.1 равна:

Сп

IV

О

СЛ

II

О

г

-0,lj2'08

С„

(> 0,5 мкм) = 107,5

W"

п

V 0,5 J

Сп (> 0,5 мкм) = 31622777 ■ 0,03516757

Сп(> 0,5 мкм) = 1112096, с округлением до 3 значащих цифр 1110000 частиц/м3 В.5.3 Объем одной пробы определяется по формуле А.2 как

20

1110000

•1000,

•1000 = 0,01799 л.

Объем одной пробы по расчету равен 0,01799 л. Поскольку используется дискретный счетчик частиц со скоростью отбора проб 28,3 л/мин, то время отбора одной пробы составляет 1 мин (А.4.4) и объем одной пробы при испытаниях равен 28,3 л.

В.5.4 В разных точках отбора проб число проб составляет от 1 до 3. Концентрация частиц в 1 м3 воздуха, х(-, рассчитана для каждой точки и указана в таблице В.6.

Таблица В.6 — Данные отбора пробы по частицам > 0,5 мкм

Номер

точки

отбора

проб

Проба 1 для частиц > 0,5 мкм (объем пробы 28,3 л)

Проба 2 для частиц > 0,5 мкм (объем пробы 28,3 л)

Проба 3 для частиц > 0,5 мкм (объем пробы 28,3 л)

Среднее значение в точке (объем пробы 28,3 л)

Средняя концентрация (частиц/м3 = среднее значение в точке х 35,3)

Предел класса 7,5 ИСО по частицам > 0,5 мкм

Соответствует/ не соответствует (Да/Нет)

1

11 679

11 679

412 269

1 110 000

Да

2

9 045

9 045

319 289

1 110 000

Да

3

12 699

12 699

448 275

1 110 000

Да

4

26 232

27 555

34 632

29 473

1 040 397

1 110 000

Да

5

7 839

7 839

276 717

1 110 000

Да

6

13 669

13 669

482 516

1 110 000

Да

В.5.5 В точке 4 в третьей пробе средняя концентрация частиц в объеме пробы составляет 1 222 507 (34 632 х 35,3), что не соответствует требованию класса 7,5 ИСО (предельно допустимое значение 1 110 000 частиц/м3). Концентрации частиц в каждой отдельной пробе не соответствуют таблице Е.1, однако средние концентрации частиц в каждой точке удовлетворяют требованиям таблицы Е.1. Поэтому чистое помещение удовлетворяет требованиям к концентрации частиц для заданного класса ИСО.

В.6 Пример 6

В.6.1 Чистое помещение с площадью пола 2 100 м2, класс 7 ИСО, эксплуатируемое состояние. Для классификации используется дискретный счетчик частиц со скоростью отбора проб 28,3 л/мин. Задан один пороговый размер частиц: 0,5 мкм.

Таблица А.1 устанавливает число точек отбора проб NL для чистых помещений с площадями до 1 000 м2. Для чистого помещения с площадью 2 100 м2 число точек отбора проб NL определяется по формуле (А.1)

( 27

2100 • I I = 56,7, с округлением до 57.

В.6.2 Предельно допустимая концентрация частиц для класса 7 ИСО с размерами > 0,5 мкм по таблице 1

равна:

Сп(> 0,5 мкм) = 352 000 частиц/м3.

ГОСТ Р ИСО 14644-1-2017

В.6.3 Объем одной пробы определяется по формуле (А.2) как

О

см

II

5?

с

20

ь' 1352000

Vs = (0,0000568) ■ 1000,

Vs = 0,0568 л.

Объем одной пробы по расчету равен 0,0568 л. Поскольку используется дискретный счетчик частиц со скоростью отбора проб 28,3 л/мин, то время отбора одной пробы составляет 1 мин (А.4.4) и объем одной пробы при испытаниях равен 28,3 л.

В.6.4 В каждой точке отбора проб отбирается одна проба. Концентрация частиц в 1 м3 воздуха, х(-, для каждой точки указана в таблице В.7.

Таблица В.7 — Данные отбора пробы по частицам >0,5 мкм

Номер

точки

отбора

проб

Проба для частиц > 0,5 мкм (объем пробы 28,3 л)

Среднее значение в точке (объем пробы 28,3 л)

Средняя концентрация (частиц/м3 = среднее значение в точке * 35,3)

Предел класса 5 ИСО по частицам > 0,5 мкм

Соответствует/ не соответствует (да/нет)

1

5 678

5 678

200 434

352 000

Да

2

7 654

7 654

270 187

352 000

Да

3

2 398

2 398

84 650

352 000

Да

4

4 578

4 578

161 604

352 000

Да

5

8 765

8 765

309 405

352 000

Да

6

4 877

4 877

172 159

352 000

Да

7

8 723

8 723

307 922

352 000

Да

8

7 632

7 632

269 410

352 000

Да

9

7 643

7 643

269 798

352 000

Да

10

6 756

6 756

238 487

352 000

Да

11

5 678

5 678

200 434

352 000

Да

12

5 476

5 476

193 303

352 000

Да

13

8 576

8 576

302 733

352 000

Да

14

7 765

7 765

274 105

352 000

Да

15

3 456

3 456

121 997

352 000

Да

16

5 888

5 888

207 847

352 000

Да

17

3 459

3 459

122 103

352 000

Да

18

7 666

7 666

270 610

352 000

Да

19

8 567

8 567

302 416

352 000

Да

20

8 345

8 345

294 579

352 000

Да

21

7 998

7 998

232 330

352 000

Да

22

7 665

7 665

270 575

352 000

Да

23

7 789

7 789

274 952

352 000

Да

15

ГОСТ Р ИСО 14644-1-2017

Содержание

1    Область применения..................................................................1

2    Нормативные ссылки..................................................................1

3    Термины и определения................................................................1

4    Классификация.......................................................................3

5    Подтверждение соответствия...........................................................5

Приложение А (обязательное) Стандартный метод классификации чистоты воздуха

по концентрации частиц...................................................6

Приложение В (справочное) Примеры определения класса чистоты...........................10

Приложение С (справочное) Счет макрочастиц по размерам.................................17

Приложение D (справочное)    Метод последовательного отбора проб...........................21

Приложение Е (справочное) Задание промежуточных десятичных классов чистоты и пороговых

размеров частиц.........................................................27

Приложение F (справочное)    Контрольные приборы.........................................28

Приложение ДА (справочное) Сведения о соответствии ссылочных международных стандартов

национальным стандартам ..............................................29

Библиография........................................................................30

Окончание таблицы В. 7

Номер

точки

отбора

проб

Проба для частиц > 0,5 мкм (объем пробы 28,3 л)

Среднее значение в точке (объем пробы 28,3 л)

Средняя концентрация (частиц/м3 = среднее значение в точке * 35,3)

Предел класса 5 ИСО по частицам > 0,5 мкм

Соответствует/ не соответствует (да/нет)

24

8 446

8 446

298 144

352 000

Да

25

8 335

8 335

294 226

352 000

Да

26

7 988

7 988

281 977

352 000

Да

27

7 823

7 823

276 152

352 000

Да

28

7 911

7 911

279 259

352 000

Да

29

7 683

7 683

271 210

352 000

Да

30

7 935

7 935

280 106

352 000

Да

31

6 534

6 534

230 651

352 000

Да

32

4 667

4 667

164 746

352 000

Да

33

6 565

6 565

231 745

352 000

Да

34

8 771

8 771

309 617

352 000

Да

35

5 076

5 076

179 183

352 000

Да

36

6 678

6 678

235 734

352 000

Да

37

7 100

7 100

250 630

352 000

Да

38

8 603

8 603

303 686

352 000

Да

39

7 609

7 609

268 598

352 000

Да

40

7 956

7 956

280 847

352 000

Да

41

7 477

7 477

263 939

352 000

Да

42

7 145

7 145

252 219

352 000

Да

43

6 998

6 998

247 030

352 000

Да

44

7 653

7 653

270 151

352 000

Да

45

6 538

6 538

230 792

352 000

Да

46

3 679

3 679

129 869

352 000

Да

47

4 887

4 887

172 512

352 000

Да

48

7 648

7 648

269 975

352 000

Да

49

8 748

8 748

308 805

352 000

Да

50

7 689

7 689

271 422

352 000

Да

51

7 345

7 345

259 279

352 000

Да

52

7 888

7 888

278 447

352 000

Да

53

7 765

7 765

274 105

352 000

Да

54

6 997

6 997

246 995

352 000

Да

55

6 913

6 913

244 029

352 000

Да

56

7 474

7 474

263 833

352 000

Да

57

8 776

8 776

309 793

352 000

Да

В.6.5 Каждое значение концентрации частиц с размерами > 0,5 мкм меньше предела класса 352 ООО частиц/м3 (таблица 1), следовательно, чистое помещение соответствует требуемому классу ИСО по концентрации частиц.

Введение

Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды обеспечивают контроль загрязнения воздуха и, если необходимо, поверхностей, в целях поддержания допустимого уровня загрязнений в чувствительных к ним процессах. Продукты и процессы, требующие защиты от загрязнений, применяются в электронной, фармацевтической, медицинской, пищевой промышленности и здравоохранении.

Настоящий стандарт входит в комплекс стандартов ИСО 14644 и устанавливает классы чистоты воздуха по счетной концентрации частиц в единице объема воздуха. Он также устанавливает стандартный метод испытаний для определения класса чистоты, включая выбор точек отбора проб.

Настоящий стандарт является результатом систематического пересмотра согласно правилам ИСО и содержит изменения в соответствии с предложениями пользователей и экспертов на международный запрос. Наименование стандарта было изменено на «Классификация чистоты воздуха по концентрации частиц» с целью согласования с другими частями комплекса стандартов ИСО 14644. Сохранены девять классов чистоты ИСО с незначительными изменениями. Предельно допустимые концентрации частиц различных размеров для девяти классов (целые числа) установлены таблицей 1. Предельно допустимые концентрации частиц различных размеров для промежуточных классов даны в таблице Е.1. Эти таблицы позволяют лучше определить требуемые пороговые размеры частиц для разных классов. В стандарте сохранен принцип дескриптора для макрочастиц, но рассмотрение частиц в нанодиапазоне (ранее именовавшихся ультрамелкими частицами) вынесено в отдельный стандарт.

Наиболее существенным изменением в данном стандарте является использование более приемлемого статистического подхода к определению числа точек отбора проб и оценке полученных данных1). В качестве статистической модели применен метод работы с гипергеометрическим распределением, когда образцы отбираются из генеральной совокупности случайным образом без замены образцов. Новый подход позволяет независимо оценивать каждую точку отбора проб, т. е. позволяет утверждать по крайней мере с 95%-ной доверительной вероятностью, что 90 % площадей чистых помещений и чистых зон находятся в пределе допустимых концентраций частиц для данного класса чистоты воздуха. Никаких допущений не сделано относительно реального распределения числа частиц во всем чистом помещении или всей чистой зоне, в то время как в основу ИСО 14644-1:1999 положено допущение о нормальном распределении числа частиц, одном и том же для всего помещения; это допущение исключено из стандарта, что позволяет отбирать пробы в помещениях, где числа частиц различаются более сложным образом. В ходе пересмотра было установлено, что 95 %-ный верхний доверительный предел по ИСО 14644-1:1999 не соответствовал практике и не везде использовался. По сравнению с ИСО 14644-1:1999 уменьшилось минимальное число точек отбора проб. Минимальное число точек отбора проб согласно принятой статистической модели приведено в таблице А.1. Сделано допущение о равномерном распределении концентрации частиц в зоне, непосредственно окружающей точку отбора проб. Чистое помещение или чистая зона разделяются сеткой на почти одинаковые секции, число которых равно числу точек отбора проб по таблице А.1. Точка отбора проб располагается внутри каждой секции, так, чтобы быть представительной для нее.

Для практических целей сделано предположение, что точки отбора проб выбраны «представительным» образом. «Представительность» точек отбора проб означает, что при их выборе учтены такие особенности чистого помещения или чистой зоны, как планировочные решения, расположение оборудования и потоки воздуха (А.4.2). К минимальному числу точек отбора проб могут быть добавлены дополнительные точки.

Наконец, приложения приведены в логической последовательности и в некоторые из них включены требования, касающиеся испытаний и контрольных приборов, из ИСО 14644-3:2005.

Пределы для частиц с размерами равными и более 5 мкм для класса 5 ИСО в пересмотренном стандарте задаются с помощью макродескриптора для применения в приложениях по производству стерильной продукции в правилах GMP ЕС, PIC/S и ВОЗ.

В настоящее время пересмотренный стандарт ИСО 14644-1 включает в себя все вопросы, связанные с классификацией чистоты воздуха по концентрации частиц. Пересмотренный стандарт

11 Допущения о гипергеометрическом и равномерном распределениях не только не обоснованы, но и противоречат принципам работы чистых помещений. Международное обсуждение не было однозначным, Россия голосовала против такого подхода. Подробно этот вопрос рассмотрен в книге Федотова А. Е. «Чистые помещения», М.: АСИНКОМ, 2015 {прим. ТК184).

ГОСТ Р ИСО 14644-1-2017

ИСО 14644-2:2015 относится лишь к текущему контролю (мониторингу) чистоты воздуха по концентрации частиц.

Для чистых помещений могут быть установлены дополнительные требования, помимо классификации по концентрации частиц. Примерами могут служить требования к чистоте воздуха по химическим загрязнениям в соответствии с установленным классом чистоты. Эти дополнительные требования не могут быть единственными для классификации чистого помещения или чистой зоны.

Международный стандарт ИСО 14644-1 подготовлен Техническим комитетом ИСО/ТК209 «Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды».

Комплекс международных стандартов ИСО 14644 состоит из следующих частей:

-    часть 1. Классификация чистоты воздуха по концентрации частиц;

-    часть 2. Требования к текущему контролю (мониторингу) для подтверждения класса чистоты по концентрации частиц;

-    часть 3. Методы испытаний;

-    часть 4. Проектирование, строительство и ввод в эксплуатацию;

-    часть 5. Эксплуатация;

-    часть 7. Изолирующие устройства (укрытия с чистым воздухом, боксы перчаточные, изоляторы и мини-окружения);

-    часть 8. Классификация чистоты воздуха по химическим загрязнениям;

-    часть 9. Классификация чистоты поверхностей по концентрации частиц;

-    часть 10. Классификация чистоты поверхностей по химическим загрязнениям.

Требования к контролю биозагрязнений установлены комплексом стандартов ИСО 14698 «Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Контроль биозагрязнений», в состав которого входят:

-    часть 1. Общие принципы и методы;

-    часть 2. Анализ данных о биозагрязнениях.

V

НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

ЧИСТЫЕ ПОМЕЩЕНИЯ И СВЯЗАННЫЕ С НИМИ КОНТРОЛИРУЕМЫЕ СРЕДЫ

Часть 1

Классификация чистоты воздуха по концентрации частиц

Cleanrooms and associated controlled environments. Part 1. Classification of air cleanliness by particle concentration

Дата введения — 2018—12—01

1    Область применения

Настоящий стандарт устанавливает классификацию чистоты воздуха в чистых помещениях по концентрации аэрозольных частиц в чистых помещениях и чистых зонах, а также в изолирующих устройствах по ИСО 14644-7.

Для целей классификации применимо только кумулятивное распределение, основанное на пороговых размерах частиц (нижний предел) в диапазоне от 0,1 до 5 мкм.

Концентрацию аэрозольных частиц с размерами равными или большими заданного значения следует определять в требуемых точках отбора проб с помощью дискретных лазерных счетчиков частиц, работающих по принципу рассеяния света.

Настоящий стандарт не устанавливает классификацию для частиц с пороговыми размерами, выходящими за пределы значений от 0,1 до 5 мкм. Классификация для ультрамелких частиц (с размерами менее 0,1 мкм) устанавливается в отдельном стандарте по классификации чистоты воздуха для частиц с размерами в нанодиапазоне. Для количественного описания макрочастиц (с размерами более 5 мкм) может использоваться М дескриптор.

Классификация чистоты поверхностей по концентрации частиц (SCP) ограничена размерами частиц от 0,05 мкм до 500 мкм.

Настоящий стандарт не может использоваться для описания физических, химических, радиационных, биологических и других свойств аэрозольных частиц.

2    Нормативные ссылки

В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:

ISO 14644-2:2015, Cleanrooms and associated controlled environments. Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration (Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 2. Требования к текущему контролю (мониторингу) для подтверждения класса чистоты по концентрации частиц);

ISO 14644-7, Cleanrooms and associated controlled environments. Part 7: Separative devices (clean air hoods, gloveboxes, isolators and mini-environments) [Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 7. Изолирующие устройства (укрытия с чистым воздухом, боксы перчаточные, изоляторы и мини-окружения)].

3    Термины и определения

В настоящем стандарте применены следующие термины с соответствующими определениями:

3.1    Общие термины

3.1.1    чистое помещение (cleanroom): Помещение, в котором контролируется концентрация аэрозольных частиц и которое спроектировано, построено и эксплуатируется так, чтобы свести к минимуму поступление, выделение и удержание частиц в нем.

Издание официальное

Примечания

1    Следует задать класс чистоты по концентрации аэрозольных частиц.

2    Могут также задаваться и контролироваться другие параметры, например концентрации химических, биологических загрязнений и загрязнений с размерами в нанодиапазоне в воздухе, а также чистота поверхностей по частицам, химическим, биологическим загрязнениям и загрязнениям с размерами в нанодиапазоне.

3    При необходимости могут задаваться и другие физические параметры, например температура, влажность, давление, уровень вибрации и электростатические характеристики.

3.1.2    чистая зона (clean zone): Определенное пространство, в котором контролируется концентрация аэрозольных частиц и которое построено и эксплуатируется так, чтобы свести к минимуму поступление, выделение и удержание частиц в нем.

Примечания

1    Следует задать класс чистоты по концентрации аэрозольных частиц.

2    Могут также задаваться и контролироваться другие параметры, например концентрации химических, биологических загрязнений и загрязнений с размерами в нанодиапазоне в воздухе, а также чистота поверхностей по частицам, химическим, биологическим загрязнениям и загрязнениям с размерами в нанодиапазоне.

3    Чистая зона может находиться внутри чистого помещения или представлять собой изолирующее устройство. Такое устройство может быть установлено как в чистом помещении, так и вне его.

4    При необходимости могут задаваться и другие физические параметры, например, температура, влажность, давление, уровень вибрации и электростатические характеристики.

3.1.3    объект1) (installation): Чистое помещение или одна или более чистых зон совместно с сопутствующими системами и инженерными коммуникациями.

3.1.4    классификация (classification): Метод оценки уровня загрязнений, задаваемого для чистого помещения или чистой зоны.

3.2 Аэрозольные частицы

3.2.1    частица (particle): Мельчайшая часть вещества с определенными физическими границами.

3.2.2    размер частицы (particle size): Диаметр сферы, которая в контрольном приборе дает отклик, равный отклику от оцениваемой частицы.

Примечание — Для дискретных счетчиков частиц, работающих на принципе рассеяния света, используется эквивалентный оптический диаметр.

3.2.3    концентрация частиц (particle concentration): Число отдельных частиц в единице объема воздуха.

3.2.4    распределение частиц по размерам (particle size distribution): Кумулятивное распределение концентрации частиц в зависимости от их размеров.

3.2.5    макрочастица (macroparticle): Частица с эквивалентным диаметром более 5 мкм.

3.2.6    М дескриптор (М descriptor): обозначение для определения или задания концентрации макрочастиц в одном кубическом метре воздуха, выраженное через эквивалентный диаметр, который характеризует используемый метод контроля.

Примечание — М дескриптор может рассматриваться как верхний предел для средних значений в точках отбора проб. М дескриптор не может использоваться для определения класса ИСО, но он может указываться независимо или совместно с классом ИСО.

3.2.7    однонаправленный поток воздуха (unidirectional airflow): Контролируемый поток воздуха с постоянной скоростью и примерно параллельными линиями тока по всему поперечному сечению чистой зоны.

3.2.8    неоднонаправленный поток воздуха (non-unidirectional airflow): Распределение воздуха, при котором поступающий в чистую зону воздух смешивается с внутренним воздухом посредством подачи струи приточного воздуха.

11 Данный термин не несет смысловой нагрузки, поскольку чистых помещений без инженерных систем не бывает. Термин сохранен в русском тексте для обеспечения идентичности с английским оригиналом (прим. ТК184).

ГОСТ Р ИСО 14644-1-2017

3.3 Состояния чистого помещения

3.3.1    построенное (as-built): Состояние, в котором монтаж чистого помещения или чистой зоны завершен, все обслуживающие системы подключены, но отсутствуют оборудование, мебель, материалы или персонал.

3.3.2    оснащенное (at-rest): Состояние, в котором чистое помещение или чистая зона укомплектованы оборудованием и действуют по соглашению между заказчиком и исполнителем, но персонал отсутствует.

3.3.3    эксплуатируемое (operational): Состояние, в котором чистое помещение или чистая зона функционирует установленным образом с работающим оборудованием и заданным числом персонала.

3.4    Контрольные приборы (приложение F)

3.4.1    разрешающая способность (resolution): Наименьшее изменение измеряемой количественной характеристики, которое вызывает различимое изменение в показании прибора.

Примечания

1    Разрешающая способность может зависеть, например, от шумов (внутренних или внешних) или трения. Она также может зависеть от значения измеряемой величины.

2    См. Руководство ИСО/МЭК 99:20007, 4.14.

3.4.2    предельно допустимая ошибка измерения (maximum permissible measurement error): Экстремальное значение ошибки измерения с учетом известной количественной величины, допускаемой спецификациями или правилами для данного измерения, контрольно-измерительного прибора или системы.

Примечания

1    Обычно термин «предельно допустимая ошибка» или «предел ошибки» используется в случае двух экстремальных величин.

2    Не следует использовать термин «допустимое отклонение» для обозначения «предельно допустимой ошибки».

3    См. Руководство ИСО/МЭК 99:20007, 4.26.

3.5    Применяемые приборы

3.5.1    дискретный лазерный счетчик частиц, работающий по принципу рассеяния света; дискретный счетчик частиц (light scattering discrete airborne particle counter, LSAPS): Устройство для дискретного счета отдельных частиц в зависимости от их размера по эквивалентному оптическому диаметру.

Примечание — Требования к дискретным счетчикам частиц установлены ИСО 21501-4:2007.

3.5.2    дискретный счетчик макрочастиц (discrete-macroparticle counter): Устройство для дискретного счета макрочастиц в зависимости от их размера.

Примечание — См. Таблицу Е1 для задания требований.

3.5.3    устройство для определения размера частицы по времени пролета (time-of-flight particle sizing apparatus): Устройство для дискретного счета частиц в зависимости от их размера, которое определяет аэродинамический диаметр частицы путем измерения времени, необходимого для изменения ее скорости движения в воздухе.

Примечания

1    Это обычно выполняется путем оптического измерения времени прохождения частицы после изменения скорости потока.

2    См. таблицу F.2 для задания требований.

4    Классификация

4.1 Состояние(я) чистого помещения

При определении класса чистоты воздуха по концентрации частиц в чистом помещении или чистой зоне указывается одно или более из трех состояний: построенное, оснащенное, эксплуатируемое (3.3).

3

4.2    Размер(ы) частиц

Следует указать один или более пороговых размеров (нижних пределов) в диапазоне значений от 0,1 до 5 мкм для задания чистоты воздуха по концентрации частиц для целей классификации.

4.3    Классификационное число ИСО

Класс чистоты воздуха по концентрации частиц обозначается классификационным числом N ИСО. Предельно допустимые концентрации частиц для каждого порогового размера приведены в таблице 1.

Счетные концентрации частиц для различных пороговых размеров по таблице 1 не отражают реального распределения частиц в воздухе по числу и размерам и служат лишь критериями для классификации. Примеры определения классов чистоты приведены в приложении В.

Таблица 1 — Классификация чистых помещений по ИСО 14644-1:2015

Класс N ИСО

Предельно допустимые концентрации частиц, частиц/м3, с размерами, равными или большими следующих значений3

0,1 мкм

0,2 мкм

0,3 мкм

0,5 мкм

1,0 мкм

5,0 мкм

1 ИСО

10ь

d

d

d

d

e

2 ИСО

100

24ь

10ь

d

d

e

3 ИСО

1 000

237

102

35b

d

e

4 ИСО

10 000

2 370

1 020

352

83b

e

5 ИСО

100 000

23 700

10 200

3 520

832

d, e, f

6 ИСО

1 000 000

237 000

102 000

35 200

8 320

293

7 ИСО

С

С

С

352 000

83 200

2 930

8 ИСО

С

с

С

3 520 000

832 000

29 300

9 ИСОЭ. "б

с

с

с

35 200 000

8 320 000

293 000

а Все концентрации в таблице являются кумулятивными, например, для класса 5 ИСО число 10 200 час-тиц/м3 для порогового размера 0,3 мкм включает все частицы, размеры которых равны или превышают это значение.

ь При этих концентрациях объем пробы, необходимый для классификации, становится слишком большим и может применяться последовательный отбор проб (приложение D).

с В этой части таблицы пределы концентраций частиц не устанавливаются ввиду их очень высоких значений.

d Классификация не предусматривается из-за ограничений, связанных с отбором проб и статистическим анализом при малых концентрациях частиц.

е Классификация не предусматривается из-за ограничений на время отбора проб как при низких концентрациях частиц, так и при размерах частиц более 1 мкм из-за возможной потери частиц в системе отбора проб.

f Для этих размеров частиц при классе 5 ИСО может использоваться дескриптор макрочастиц (М дескриптор) совместно по крайней мере с одним из других размеров частиц (см. п. С.7).

9 Этот класс может быть задан только для эксплуатируемого состояния.

4.4 Обозначение

Обозначение концентрации аэрозольных частиц для чистых помещений и чистых зон должно включать в себя:

a)    классификационное число ИСО, выражаемое как «класс N ИСО»;

b)    состояние чистого помещения, для которого применяется этот класс;

c)    пороговый(ые) размер(ы) частиц.

Если используются более чем два пороговых размера частиц, то каждый больший размер (D2) должен по крайней мере в 1,5 раза превышать ближайший меньший размер (D1), т. е. D2 > 1,5><D1.

^ Класс 9 ИСО соответствует обычным офисным, производственным и другим помещениям, не являющимся чистыми помещениями, и в Российской Федерации не применяется (прим. ТК184).

ГОСТ Р ИСО 14644-1-2017

Пример — Классификационное число ИСО; состояние чистого помещения; пороговый(ые) размер(ы) частиц. Класс 4 ИСО; оснащенное состояние; 0,2 мкм, 0,5 мкм.

4.5 Промежуточные десятичные классы чистоты и пороговые размеры частиц

Порядок работы для промежуточных классов и промежуточных пороговых размеров частиц для целых и промежуточных классов приведен в справочном приложении Е.

5 Подтверждение соответствия

5.1    Общие положения

Соответствие класса чистоты ИСО, заданного заказчиком, проверяется по методике испытаний с последующим оформлением результатов и условий испытаний.

Проверка соответствия в построенном или оснащенном состояниях выполняется периодически с учетом оценки рисков для данной области применения, как правило, один раз в год.

Требования к текущему контролю (мониторингу) чистых помещений, чистых зон и изолирующих устройств установлены ИСО 14644-2:2015.

5.2    Испытания

Стандартный метод испытаний для подтверждения соответствия приведен в приложении А (обязательном). Могут использоваться альтернативные методы или приборы (или и те, и другие одновременно), если они дают, по крайней мере, сравнимые результаты. Если не задан или не согласован альтернативный метод, то следует использовать стандартный метод.

При испытаниях, выполняемых для подтверждения соответствия, должны использоваться калиброванные приборы.

5.3    Оценка концентрации аэрозольных частиц

Концентрация частиц (число частиц в одном кубическом метре) в одной пробе в каждой точке отбора проб, полученная при испытаниях по приложению А, не должна превышать предельную концентрацию по таблице 1 или, для промежуточных десятичных классов — по таблице Е.1, для заданных пороговых размеров. Если в точке отбора проб отбирается несколько проб, то определяется среднее значение концентрации частиц, которое не должно превышать предельную концентрацию по таблице 1 или по таблице Е.1,

Значения концентрации частиц, используемые для проверки соответствия классу ИСО, должны определяться одним и тем же методом для всех заданных порогов частиц.

5.4    Протокол испытаний

Для каждого чистого помещения или чистой зоны должен быть оформлен протокол испытаний совместно с заключением о соответствии или несоответствии заданному классу чистоты воздуха по концентрации частиц.

В протоколе испытаний должны быть приведены:

a)    наименование и адрес организации, проводящей испытания, и дата испытаний;

b)    указание на данный стандарт с годом утверждения, например, ИСО 14644-1:2015;

c)    четкое обозначение физического расположения чистого помещения или чистой зоны (включая указание соседних зон, при необходимости) и обозначение расположения всех точек отбора проб (может быть полезным графическое представление);

d)    заданные критерии оценки чистого помещения или чистой зоны, включая классификационное число ИСО, состояние чистого помещения и пороговые размеры частиц;

e)    указание на методику испытаний, особые условия испытаний или отклонения от методики испытаний, тип контрольного прибора с действующим сертификатом калибровки;

f)    результаты испытаний, включая значения концентрации частиц во всех точках отбора проб.

Если задана количественная характеристика концентрации макрочастиц по приложению С, то в

протокол испытаний должны быть включены соответствующие данные.

5