МИ 501-84
Методические указания. Государственная система обеспечения единства измерений. Интерферометры ИТ-200, ТИ-200А, ТИ-200Б. Методы и средства поверки

Методические указания Интерферометры ИТ-200, ИТ-200А, ИТ-200Б Методы и средства поверки МИ 501-84

Г0СУДАРСТВЕН/1Ш КОМИТЕНТ СТАНДАРТОВ СОВЕТА МИНИСТРОВ СССР

МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ

ИНГЕРФЕРОЖТРЫ ИТ-200, ИТ-200А, ИТ-200Б Методы и средства поверки Ш 501-84

Ленинград

1989

10

3.1.    При проверке внешнего вида и технического состояния должно быть установлено соответствие интерферометра следующим требованиям:

3.1.1.    Комплектность интерферометра должна соответствовать указанной в паспорте.

3.1.2.    Маркировка интерферометра и всех его комплектующих частей должна соответствовать требованиям технических условий.

3.1.3.    На наружных поверхностях вновь изготовленных интерферометров и всех его частей не должно быть дефектов, ухудшающих внешний вид. Интерферометры, находящиеся в эксплуатации, не должны иметь дефектов, влияющих на их работоспособность.

3.1.4.    Оптические поверхности интерферометра должны быть вычищены. На оптических поверхностях интерферометра не должно быть заколов, царапин и явных дефектов.

3.2. При опробовании должно быть установлено соответствие интерферометра следующим требованиям:

3.2.1.    Крепление съемных, сменных и подвижных частей интерферометра должно быть надежным.

3.2.2.    Движение всех подвижных частей и механизмов интерферометра должно быть плавным и производиться без значительных усилий.

3.3. Определение увеличения интерферометра при фотографировании производите при помощи плоской стеклянной пластины с кольцевой диафрагмой диаметром 90 мм (погрешность аттестации +0,Ь*м) следующим образом:

3.3.1. Установите на предметном столе пластину с диафрагмой, наклоняя предметный стол, совместите автоколлимационные

II

изображения, полученные от пластины и меры интерферометра; получите в поле изображения окуляра интерференционную картину; включите фотоканал и сфотографируйте наблюдаемую картину.

3.3.2. Измерьте диаметр изображения диафрагмы на пленке и разделите это значение на действительный размер диаметра диафрагмы.

Увеличение интерферометра при фотографировании должно соответствовать значению 0,11+0,I*

3.4.    Определение увеличения интерферометра при визуальном наблюдении с окулярным микрометром производите с помощью плоской стеклянной пластины по диафрагме диаметром 30 мм (погрешность аттестации +0,1 мм) следующим образом:

3.4.1.    Установите пластину на предметный стол, настройте интерференционную картину и измерьте диаметр изображения диафрагмы с помощью окулярного микрометра.

3.4.2.    Результат измерения разделите на действительный размер диаметра диафрагмы и умножьте на увеличение окуляра, равное 8,3.

Увеличение интерферометра при визуальном наблюдении должно быть ?,0+0,1.

Проверку можно производить по пластине ПИ диаметром не менее 100 мм с механической диафрагмой диаметром 90 мм.

3.5.    Определение диаметра линейного поля при визуальном наблюдении с окулярным микрометром производите при помощи плоской стеклянной пластины с кольцевой диафрагмой диаметром 200 мм следующим образом:

3.5.1. Установите на предметный стол пластину, настройте

интерференционную картину; при необходимости отцентрируйте диафрагму.

12

Убедитесь, что диафрагма диаметром 200 мм видна без срезания.

3.5.2. Включите фотоканал и сфотографируйте наблюдаемую картину.

Убедитесь, что диаметр изображения линейного поля диаметром 200 мм на пленке не более 24 мм.

Проверку можно производить по образцовой пластине с механической диафрагмой диаметром 200 мм.

З.б. Определение систематической погрешности, случайной составляющей погрешности при 10 измерениях с P=0,S6 и предела допускаемой погрешности интерферометра производите по интерференционной картине от образцовой пластины, аттестованной с погрешностью не более 0,02 интерференционной полосы, следующим образом:

3.6.1.    Введите в ход лучей меру интерферометра; установите на предметный стол кольцо, а на кольцо - образцовую пластину и получите интерференционную картину с 5-6 полосами в поле изображения окуляра. Выставьте интерференционные полосы перпендикулярно к выбранному диаметральному направлению I-I (см.рисунок). Установите штрихи сетки окулярного микрометра параллельно интерференционным полосам. Наведите один из штрихов сетки на центральную интерференционную полосу, затем снимите дга отсчета в точках максимального искажения полосы.

Вычислите разность отсчетов, которая определит искажение ^и/|" полосы.

3.6.2.    Для измерения интервала (ширины) между полосами иа-и'дитс один из штрихов сетки окулярного микрометра последовательно на середины соседних интерференционных полос, каждый раз снимай отсчет. Полуразность отсчетов даст ширину "в" полосы.

-— отклонение от плоскостности £ -го измерения;

¹ ft - количество измерений;

CLy- изгиб интерференционной полосы при L -м измерении;

$* - ширина интерференционной полосы при i -м измерении.

3.0.4. Аналогично определите отклонение от плоскостности по птором диаметральном напранхекии П-П (см.рисунок), установив интерференционные полосы перпендикулярно атому направлению.

3.6.5.    Определите знак отклонения от плоскостности в центральной зоне согласно ГХТ 8.215-76. Выпуклую поверхность обозначьте знаком "плюс", вогнутую - знаком "минус".

Отклонение от плоскостности определите как наибольшее отклонение в двух диаметральных направлениях.

3.6.6.    Вычислите систематическую погрешность в долях ширины п а осы по формуле

^ с³ ^ИЭМ "

атт “ отклонение от плоскостности образцовой пластины, взятое из свидетельства о ее поверке; атт “ Дл^ина волны излучения при аттестации;

J[ = 0,546 - длина волны зеленой линии ртути.

Убедитесь, что систематическая погрешность не превышает •0,1 интерференционной полосы для интерферометра И'Г-200,

14

jO,2 интерференционной полосы для интерферометра ИТ-200А,

+0,4 интерференционной полосы для интерферометра ИТ-200Б.

3,6.7. Вычислите оценку среднего квадратического отклонения случайной составляющей погрешности по формуле

ги-1.

Оценку случайной составляющей погрешности при 10 измерениях с Р=0,96 определите по формуле

(4)

(5)

Убедитесь, что предел допускаемой погрешности не превышает +0,2 интерференционной полосы для интерферометра ИТ-200;

+0,3 интерференционной полосы для интерферометра ИТ-200А;

+0,5 интерференционной полосы для интерферометра ИТ-200Б.

3.6.9. Дополнительно можно определить значения параметров, указанных п п.3.6, путем обработки интерферограмм на фотопленке по аналогичной методике.

3.7. Определение диапазона диоптрийной наводки окуляра производите при помощи диоптрийной трубки ПК-375 следующим образом:

3.7.1.    Установите диоптрийную трубку на окуляр интерферометра, ссвместите неподвижный индекс оправы окуляра с отметкой ”0" на диоптрийном кольце окуляра.

3.7.2.    Наведите диоптрийную трубку на резкое изображе»то сетки окуляра, снимите отсчет по шкале диоптрийной трубки, убеди.

15

тесь, что полученное значение соответствует установленному, отклонение составляет не более +0,5 диоптрии.

3.7.3. Произведите аналогичную проверку, установив последовательно диоптрийное кольцо окуляра в крайние положения.

Убедитесь, что диапазон диоптрийной наводки окуляра +3 диоптрии.

3.8.    Определение диапазона поворота предметного стола относительно двух взаимно перпендикулярных горизонтальных осей производите при помощи квадранта KG-I0 ГОСТ 14967-80 следующим образом:

3.0. 1. вставьте стол интерфером тро п положение, при кото-ром совмещены зрачки от рабочей поверхности пластины и рабочей поверхности образцовой меры интв^ерометра.

3.0. 2. Установите на квадранте отсчет плюс 3°, поставьте ого на стол интегферометра и, вращая маховики поворота стола, выставьте уровень квадранта в нулевое положение.

3.0. 3. Повторите указанные в п.3.8.2 операции при установке нс квадранте отсчета минус 3°.

Убедитесь, что диапазон поворота стола не менее +3°.

3.9.    Определение смещения интерференционной картины производите при помощи секундомера и образцовой пластины следующим образом:

3.9.1.    Получите в поле изображения интерференционную картину с 5-6 полосами; совместите штрих сетки окуляра с серединой

темной полосы; включите секундомер; снимите отсчет по шкало пиптоиого югулярного микрометра.

3.9.2.    Через две минуты произведите переустановку штриха на середину той же полосы. Определите ширину полосы и величину ___-

трижд» ордена Ленина Ленинградским оптико-механическим объединением имени В.И.Ленина

начальник лаборатории КИП С.Д.Голод, инженер А.А.Осипова

предприятием п/я Г-4023

3

Настоящие методические указания распространяются на интерферометры ИТ-200, ИТ-200А₉ ИГ-200Б, изготавливаемые по 173-3.1384-34, и устанавливают методы и средства их первичной и периодической поверки.

Интерферометры И'Г-200, И Т-200А, ИТ-20СБ предназначены для измерения отклонений от плоскостности полированных поверхностей диаметром до 200 мм.

I. ОПЕРАЦИИ И СРЕДСТВА ПОВЕРКИ

I.I. При проведении поверки необходимо выполнять операции и применять средства поверки, указанные в приведенной ниже таблице.

I

	Номера пунк-	Средство поверки и их	Обязательность проведения
Наименование	тов настоящих	нормативно-технические	операций
операций	методических указаний	характеристики	при выпуске из производства	при выпуске из ремонта	при эксплуатации и поверке
Проверка внесшего вида и
технического состояния	3.1		Да	Да	Да
Опробование	3.2		Да	Да	Да
Определение увеличения интерферометра при фотографировании	3.3	Пластина плоская стеклянная с кольцевой диафрагмой диаметром 90 мм (погрешность аттестации +0,1 мм), нанесенной ф:отопутом, или пластина ПИ диаметром не менее 100 мм ГОСТ 2923-75 с механической диафрагмой диаметром 90 мм	Да	Нет	Нет
Определение увеличения	3.4	То хе	Да	Нет	Нет л

Продолжение

lias минование Номера пунктов настоящих Средства поверки и их норматиЕН>-технические Обязательность проведения операций *.гег.«иий методических указаний характеристики при выпуске из производства при выпуске из ремонта при эксплуатации и поверке унт*;:.1е:.сметра при визуаль-kw наблюдении с окулярным ми кречет: ом Споеделение диаметра ли- 3.5 Пластина плоская Да Нет Нет кейнсгэ поля при визуальном наблюдении с окулярным микрометром Определение диаметра 3.5 стеклянная с кольцевой диафрагм?4 диаметром 200 му (псггеаность аттестации 0,2 мм), на-несенксй фэтопутем, или образцовая, пластина с механической диафрагмой, диаметром 200 мм То же Да Нет Нет изображения линейного поля пти фотографировании на пленку СЛ

				Продолжение
	Номера пунк-	Средства псперки и их	Обязательность проведения
Наименование	tod настоящих	нормативно-технические	опеваций
операций	методических указаний	характеристики	При ВЫ- пуске из произ- водстпа	при выпуске из ремонта	при эксплуатации и поверке
Определение систематической погрешности интерферометра Определение случайной состанлятей погрешности интерферометра при Р - 0,90 j Определение предела j допускаемой погрешности 1 интерферометра при 10 изменениях	3.6	Пластина образцовая, аттестованная с погрепн нсстьс до 0,02 интерференционной полосы	Дд	Дд	Да
Определение диапазона диоптрийной наполни окуляра » -	3.7	Нгубха диоптрийная о	Да	Да	Нет с»

Продолжение

Наимннонгише Номера пунктов настогаих Средства поверки и их нормативно-технические Обязательность проведения операций ипсриций методических указаний характеристики при выпуске из производства при выпуске из ремонта при эксплуатации и поверке Определение диапазона попорота предметного стола относительно дпух вззимно-перпендикулярннх горизонтальных осей 3.8 Квадрант KD-10 ГОСТ 14967-00 Да Да Нет Определение смешения интерференционной картины в поле изображения в течь-ние 2 минут 3.9 Секундомер ГХТ 5072-79; пластина образцовая, аттестованная с погрешностью до 0,02 интерференционной полосы Да Нет Нет Определение расходимости коллиматоркого пучка 3.10 Пентапризма с входной гранью не менее 20x20 мм; автоколлиматор ЛК ГХТ II899L.77 Да Да Да >э

^г

Продолжение

Наименование Номера пунк-тов ностолших Средства пене; ки и их нормативно-технические Обязательность проведения операций операций методических указаний характеристики при вк-пуске из производства при выпуске из ремонта при эксплуатации и поверке Определение отклонения от перпекдикулясности кол-лиматорного пучка к рабочей поверхности меры интерферометра З.И Трипельпризма Да Да Да со

9

2. УСЛОВИЯ ПОВЕРКИ И ШДГОДША к пьа

2.1.    При проведении поверки необходимо соблюдать следующие условия:

2.1.1.    Помещение, где производится поверка, должно быть чистым и сухим. Относительная влажность окружяшего воздуха не должна превышать 80* при температуре (20+5)°С. Допускаемый перепад те^ературы в течение суток - не более 1,&-2°С. В помещении не должно быть сквозняков.

2.1.2.    Частота возмущающих гармонических вибраций, действующих на интерферометр, не должна быть более 30 Гц, амплитуда скорости колебаний не должна превышать 0,00 мм/с. Если показатели вибрации в помещении превышают указанные значения, интерферометр должен быть установлен на Биброизолирующем фундаменте.

2.2.    Перед нечалом поверки выполните следующие операции:

2.2.1.    Расположите интерферометр так, чтобы доступ к нему был обеспечен со всех сторон, вдали от окон, отопительных устройств и осветительной аппаратуры, свет от которой не должен мешать измерениям.

2.2.2.    До начала поверки выдержите поверяемый интерферометр и меры интерферометра, по которым производится поверка, на рабочем месте не менее суток; после установки меры в интерферо-мето - не менее I часа.

2.2.3.    Включите интерферометр за I час до начала работы.