МИ 1950-88
Рекомендация. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений толщины особо тонких покрытий в диапазоне 2 - 1000 нм

Рекомендация распространяется на государственную поверочную схему для средств измерений толщины особо тонких покрытий в диапазоне 2 - 1000 нм и устанавливает назначение установки высшей точности для воспроизведения единицы длины - метра в области измерений толщины особо тонких покрытий в диапазоне 2 - 1000 мм.