МИ 1903-97
Рекомендация. Государственная система обеспечения единства измерений. Эталоны толщины покрытий. Методика поверки

Рекомендация распространяется на эталоны толщины покрытий ступенчатые в диапазоне толщины 0,1-3000,0 мкм и устанавливает методику их первичной и периодической поверок.