Изменение № I ГОСТ F 8.631—2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверкн
Утверждено и введено в действие Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 12.11.2010 № 470-ст
Дата введения 2011-04-01
Наименование стандарта. Исключить слово: «измерительные*;
наименование стандарта на английском языке. Исключить слово: «measuring*.
Предисловие. Сведения о стандарте. Пункт 1 лополшпь словами: «Федеральное государственное учреждение Российский научный центр «Курчатовский институт*. Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Московский физико-технический институт (государственный университет)*;
последний абзац. После слов «на официальном сайте* исключить слово: «национального*.
Раздел 1. Первый абзац. Исключить слово: «измерительные*;
второй абзац исключить.
Раздел 2. В наименовании стандарта ГОСТ Р ИСО 14644-2-200! ссылку на ГОСТ Р ИСО 14644-1 дополнить знаком сноски — •;
дополнить сноской: «* ГОСТ Р ИСО 14644-1-2000 отменен: с 01.04.2004 действует ГОСТ ИСО 14644-1-2002*.
Пункт 3.2. Термин изложить в новой редакции: «рельеф поверхности (твердого тела)*.
Пункт 3.3. Термин изложить в новой редакции: «элемент рельефа (поверхности)».
Пункт 3.4 исключить.
Пункт 3.10. Определение. Заменить слово: «микроскопа* на «РЭМ*.
Пункт 3.12. Термин изложить и новой редакции: «масштабный коэффициент (видеоизображения РЭМ)*.
Пункт 3.17. Термин изложить я новой редакции: «электронный зонд (РЭМ)*.
Пункт 3.20. Термин изложить в новой редакции: «сканирование (РЭМ элемента исследуемого объекта)».
Пункт 3.21. Заменить значение: 5 эВ на 50 зВ.
Пункт 3.22. Определение. Заменить слово: «характеризующей» на «характеризующее*.
Пункт 4.1. Таблица I. Исключить графу: «Обязательность проведения операции при поверке»:
примечание к таблице I исключить.
Раздел 5 изложить в новой редакции:
ю
•5 Требования к квалификации поверителей
Поверку РЭМ должны проводить штатные сотрудники метрологической службы предприятия, аккредитованной в установленном порядке на право поверки средств намерений.
Сотрудники должны иметь высшее образование, профессиональную подготовку, опыт работы с РЭМ и знать требования настоящего стан-да рта*.
Раздет 6 дополнить абзацем:
• Рабочие места поверителей должны быть аттестованы по условиям труда в соответствии с требованиями трудового законодательства».
Пункт 7.1. Заменить значения: 220!j| В на (220 ± 22) В. 50*10 Ги на (50.0 ± 0,4) Гц.
Пункт 7.3. Первый абзац. Заменить слова: «включает в себя выполнение следующих работ* на «проводят следующим образом»:
второй абзац посте слов «боковой грани» дополнить словом: «выступа»;
последний абзац. Заменить слова: *и осушенного» на «сухого».
Пункт 8.1. После слон «При внешнем осмотре* дополнить словом: «РЭМ».
Пункт 8.2.4. Заменить слова: «РЭМ и при этом на каждом этапе производят» на «РЭМ. при этом на каждом этапе проводит», «монитора микроскопа» на «РЭМ», «Схема наблюдаемых в режиме регистрации МВЭ видеонрофилей» на «Схематическое изображение наблюласмого в режиме регистрации МВЭ видеопрофиля»:
примечание лопатить словами: «При этом значения проекций наклонных стенок выступа AL. и .-1Я. измеренных по видсопрофилю, должны быть не менее 200 пикселей».
Раздел 8 допилишь пунктом — 8.2.4а (после пункта 8.2.4):
•8.2.4а После завершения операции настройки по 8.2.4 определяют значение в пикселях обшей длины вилсопрофнля в направлении сканирования. Эго значение обшей длины вилсопрофкли, а также устанонлсн-ное при этом значение электронно-оптического увеличения РЭМ указывают в протоколе поверки».
Пункт 8.4 дополнить словами и абзацем:
• В протокал также записывают значения обшей длины вилсопрофнля и электронно-оптического увеличения РЭМ. определенных по 8.2.4а.
Протокол с результатами измерений должен храниться как минимум до следующей поверки РЭМ».
Раздел 9 дополнить пунктом — 9.5:
•9.5 Погрешность измерений
Погрешности измерений метрологических характеристик микроскопа. вычисленных по 9.3 и 9.4. составляют:
- для масштабного коэффициента видеоизображения РЭМ т относительная погрешность измерения — нс балсс ± 1,0 %.
11
