ГОСТ Р ИСО 27911-2015
Государственная система обеспечения единства измерений. Химический анализ поверхности. Сканирующая зондовая микроскопия. Определение и калибровка латерального разрешения ближнепольного оптического микроскопа

Данный международный стандарт описывает метод определения пространственного (латерального) разрешения апертурного ближнепольного сканирующего оптического микроскопа посредством формирования изображения объекта размером много меньше, чем ожидаемое разрешение. Документ применим для апертурных ближнепольных сканирующих оптических микроскопов, работающих в проходящем, отраженном, собирающем режиме(ах) излучение/сбор.