ГОСТ Р ИСО 14644-12-2020
Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 12. Требования к текущему контролю чистоты воздуха по концентрации частиц с размерами в нанодиапазоне

Устанавливает требования к текущему контролю чистоты вощуха по концентрации аэрозольных частиц в нанодиапазоне.

Для целей стандарта используются только частицы с пороговым размером 0,1 мкм (100 нм) и ниже — "нанодиапазон".

Текущий контроль, представленный в стандарте, применим, в основном, для эксплуатируемого состояния.