ГОСТ Р ИСО 13067-2016
Государственная система обеспечения единства измерений. Микроанализ электронно-зондовый. Дифракция обратнорассеянных электронов. Измерение среднего размера зерна

Устанавливает процедуры для измерения среднего размера кристаллических зерен в поликристаллических материалах с помощью дифракции обратнорассеянных электронов (ДОЭ) на двумерном, хорошо полированном поперечном срезе образца. Для этого необходимы измерения ориентации, разориентации и фактора качества дифракционной картины в различных точках кристаллического образца.

Стандарт может быть применен при исследовании широкого круга поликристаллических материалов.