ГОСТ Р 8.659-2009
Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

Распространяется на средства измерений (СИ) характеристик ультрафиолетового (УФ) излучения, используемые при технологическом контроле в нанофотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок.