ГОСТ Р 8.640-2008
Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки

Распространяется на средства измерений (СИ) характеристик ультрафиолетового (УФ) излучения — радиометры УФ-излучения, используемые в фотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок.