ГОСТ Р 8.635-2007
Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика калибровки

Распространяется на сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров и устанавливает методику их калибровки с использованием рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629.