ГОСТ Р 8.631-2007
Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые. Методика поверки

Распространяется на растровые электронные микроскопы (РЭМ), применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст минус 6 м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с помощью рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629.