ГОСТ Р 72477-2025
Оборудование специальное технологическое, применяемое в микроэлектронном производстве. Общие технические условия

Распространяется на оборудование специальное технологическое, предназначенное для производства микросборок, а также других специализированных микроэлектронных изделий, использующих общие технологические методы