ГОСТ Р 71898-2024
Микросхемы интегральные и приборы полупроводниковые. Межоперационное хранение пластин кристаллов

Распространяется на интегральные микросхемы и полупроводниковые приборы и может быть использован на предприятиях отрасли при разработке документов, регламентирующих сроки и условия хранения пластин (от начала изготовления до вскрытия контактных окон в защитном диэлектрике)