ГОСТ Р 71422-2024
Структуры эпитаксиальные и пленки диэлектрические. Метод измерения толщины эпитаксиальных слоев арсенида галлия на основе сферического шлифа

Распространяется на эпитаксиальные структуры арсенида галлия и устанавливает метод измерения толщины активного, контактного п+ и буферного п+ эпитаксиальных слоев в структурах галлия