ГОСТ Р 54843-2011
Изделия микросистемной техники. Элементы чувствительные микроэлектромеханических преобразователей физических величин. Общие технические условия

Распространяется на чувствительные элементы, разрабатываемые и поставляемые в качестве компонентов микроэлектромеханических преобразователей физических величин производственно-технического назначения. Стандарт не распространяется на чувствительные элементы, предназначенные для применения в пьезоэлектрических приборах.