ГОСТ Р 52250-2004
Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия
Распространяется на резисты для литографических процессов производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем.
Стандарт применяют при разработке ТУ на резисты конкретных марок, а также совместно с ТУ при их приемке и поставке.