ГОСТ 26239.5-84
Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей

Устанавливает нейтронно-активационный метод определения примесей в нелегированном полупроводниковом кремнии и кварце.

Метод не распространяется для анализа кремния марок КЭС-0,01 и КЭМ-0,01