StandartGOST.ru

ГОСТ 26239.2-84
Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения бора

Устанавливает химико-атомно-эмиссионный метод определения бора в полупроводниковом кремнии, в двуокиси кремния и кварце, в четыреххлористом кремнии и трихлорсилане и атомно-эмиссионный метод определения бора в техническом кремнии