ГОСТ 26239.1-84
Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Метод определения примесей

Устанавливает химико-атомно-эмиссионный метод определения примесей в интервалах значений массовых долей в полупроводниковом кремнии, двуокиси кремния, кварце, четуреххлористом кремнии и трихлорсилане