ГОСТ 26239.0-84
Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Общие требования к методам анализа

Устанавливает общие требования к методам анализа полупроводникового кремния, исходных продуктов для его получения ( технический кремний, четыреххлористый кремний, хлорсиланы, двуокись кремния) и кварца