Изменение Л* 1 ГОСТ 24392-80 Кремний и германий монекристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления четырехзондовым методом
Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 17.05.85 Л* 1393 срок введения установлен
с 01.01.86
Под обозначением стандарта проставить код: ОКСТУ 1770.
Вводная часть. Заменить значение: 2-10* Ом-см на МО4 Ом-см.
Пункт 1. Первый абзац после слов «монокристалла — от 0,55 до 2.0 Н» дополнить словами: «(допускается использовать измерительный четырехзондовый преобразователь с номинальным межзондовым расстоянием 1,59 и 0,75 мм)»; таблицу дополнить значением:
|
Верхний предел измеряемого удельного электрического сопротивления р, Ом-см |
Верхний предел тока /, А |
Верхний предел измеряемого напряже пня U. В |
Входное сопротивление измерительного прибора RbX, Ом, не менее |
|
104 |
8-10-* |
1.0-10-* |
1-10* |
Пункт 2.1. Первый абзац. Исключить слова: «соблюдая условия»; второй абзац изложить в новой редакции: «Измерение образцов кремния P-типа электропроводности с удельным электрическим сопротивлением болое 10* Ом-см проводят на плоских поверхностях с параметром шероховатости 20 мкм«^/?г<40 мкм по ГОСТ 2789-73.
При проведении измерений расстояние между краем (границей плоскости) и ближайшим к нему зондом должно быть не менее 4/0.
При измерении удельного электрического сопротивления по образующей монокристалла ширина измерительной дорожки должна быть не менее 6f0, где — номинальное межзондовос расстояние*.
(ПроВолжсние см. с. 56)
55
(Продолжение изменения к ГОСТ 24392—80}
Пункт 3.3 изложить в новой редакции: «3.3. Случайная составляющая погрешности измерения удельного электрического сопротивления, характеризующая сходимость результатов измерений, не должна превышать ±2 % при доверительной вероятности Р = 0,95.
Суммарная погрешность измерения не должна превышать ±5 % при доверительной вероятности Р = 0.95 для образцов с удельным электрическим со-противлением не более I03 Ом-см. не должна превышать ±8 % при доверительной вероятности Р = 0.95 для образцов с удельным электрическим сопротивлением более 103 Ом-см*.
Пункт 3.4 после слов «Результат измерения» дополнить словами: «для образцов с удельным электрическим сопротивлением не более 103 Ом-см».
Пункт 3.5 перед словами «При различии в результатах измерений* дополнить словами: «Для образцов с удельным электрическим сопро делением не более 103 Ом-см»; формулу (3) изложить в новой редакции:
Приложение. Таблица i. Графа «Интервал удельного электрического сопротивления, Ом-см». Заменить значение: 10.0—1000 на Ю.С 10000.
(ИУС Л« 8 1985 г.)
56
