Изменение

35

ВЫПУСК 20,

утвержденный постановлением Госкомтруда СССР и Секретариата ВЦСПС от 23 января 1985 г. № 23/3-3

К разделу "Общие профессии электронной техники"

По профессиям "Наладчик-монтажник испытательного оборудования", "Наладчик технологического оборудования”,

’’Юстировщик деталей и приборов”*

'Утверждены постановлением Минтруда России от 29 декабря 1993г.№184.

1. Внести изменения и дополнения в тарифно-квалификационную характеристику профессии "Наладчик-монтажник испытательного оборудования" 6 разряда (§39), изложив ее в следующей редакции:

§ 39. НАЛАДЧИК - МОНТАЖНИК ИСПЫТАТЕЛЬНОГО

ОБОРУДОВАНИЯ

6-й разряд

Характеристика работ. Монтаж, наладка и регулировка сложных радиоэлектронных блоков испытательного оборудования, вычислительной техники, испытательного оборудования для цветных кинескопов. Монтаж, наладка и эксплуатация датчиков испытательных сигналов (моноскопные установки, диапроекторы, кинопроекторы, монопроекторы, генераторы цветных полос). Выявление и устранение неисправностей с помощью контрольных тестов в программируемых генераторах импульсов, в прогрум-миру емых источниках напряжения, счетчиках, регистрах на дискретной элементной базе и с применением интегральных микросхем. Комплексная наладка и запуск отдельных сложных блоков в измерительных системах. Полная проверка и сдача приемщику электроизмерительной аппаратуры любой сложности. Расчет электрических цепей для определения параметров радиокомпонентов монтируемых схем. Контрольные испытания смонтированных блоков и радиоустановок при запуске в эксплуатацию.

Должен знать: методы выявления неисправностей в радиоэлектронных блоках сложного испытательного оборудования и вычислительной техники; методы монтажа сложных радиоэлектронных блоков, сложных, образцов аппаратов и приборов по эскизам и принципиальным схемам; расчет схем и источников питания; законы построения всевозможных монтажных и принципиальных схем; назначение и практическое применение измерительных средств и приборов; принцип обнаружения неисправностей электрических параметров и форм сигналов; формы и параметры сигналов в радиоэлектронном оборудовании; воздействие помех на форму и параметры сигналов; технические условия и требования, предъявляемые к монтажу аппаратуры и приборов.

Требуется среднее профессиональное образование.

Примеры работ.

1.    Анализаторы, информационно-измерительные системы - монтаж, настройка.

2.    Блоки измерения мощности на УКВ- диапазоне, функциональные блоки вычислительной техники - ремонт, наладка.

3.    Блоки счетчиков пробоя - монтаж, настройка.

4.    Выпрямители высокочастотные, высоковольтные стабилизированные с напряжением 60000 в - наладка.

5.    Генераторы квантовые оптические типа СВЧ - наладка, ремонт.

6.    Комплексы и линии измерительные (типа "Интеграл", "Эликон", "Виадук" и т.п.) - настройка, градуировка, проверка, ремонт.

7.    Модуляторы всех типов - наладка, ремонт.

8.    Модель электрическая сеточная типа МСМ - настройка.

9.    Посты откачные с программным управлением - наладка.

10.    Приборы для измерения электрических характеристик газоразрядных ламп накачки лазеров - монтаж, настройка.

11.    Приборы электростатической системы (С), цифровые типа Щ-1413, свечемеры, фотометры - ремонт, калибровка, регулировка.

12.    Стенд динамических испытаний импульсных ЛБВ большой мощности - монтаж, наладка, ремонт.

13.    Схемы для измерения импульсных параметров, для проверки работы установок - наладка.

14.    Схемы сложные и стенды для замеров электрических и световых характеристик источников ВИС - монтаж, наладка.

15.    Схемы сложные и стенды для групповых испытаний и замеров электрических параметров ОС, ТВС и микромодулей всех типономиналов, в том числе и специального назначения - настройка, контроль за их работой, ремонт.

16.    Схемы для проверки электрических параметров и испытаний при различных условиях окружающей среды - монтаж, регулировка, настройка.

17.    Усилители высокой и низкой частоты, промежуточной частоты многокаскадные), усилители постоянного тока (многокаскадные) - монтаж, наладка, регулировка.

18.    Установки измерения шумов высокочастотных диодов - монтаж, наладка.

19.    Усилители, генераторы, высокостабильные источники питания, схемы автоматические - монтаж, регулировка, настройка.

20.    Усилительные устройства с выходной мощностью 3 кВт и более -наладка, ремонт.

21.    Установки для автоматической записи петли гистерезиса, топографии магнитного поля сложных магнитных систем - монтаж, наладка.

22.    Установки динамических и климатических испытаний генераторных импульсных и стробоскопических ламп - ремонт, наладка.

23.    Установки сложные для измерения статических и динамических параметров электровакуумных приборов, для измерения импульсных параметров полупроводниковых приборов и микросхем - настройка, градуировка, проверка, ремонт.

24.    Установки термокомпрессионной сварки ЭМ-424А, МС-41П2, аргонно-дуговой сварки типа УРС-3 - ремонт, настройка.

25.    Установки потенциометрические типа У-302, У-309; потенциометры Р-307, Р2/1; гальванометры; импульсные многоканальные генераторы; скоростные осциллографы с полосой выше 25 мгц; запоминающие осциллографы; приборы для измерения времени и частоты - ремонт, юстировка, монтаж, настройка.

26.    Установки автоматические и полуавтоматические для измерения статических и динамических параметров герконов, интегральных микросхем, полупроводниковых гибридных схем СВЧ - ремонт, наладка.

27.    Установки динамических и климатических испытаний герконов -ремонт, наладка.

28.    Установки измерения шумов герконов - монтаж, наладка.

29.    Установки очистки аргона электроннолучевые - наладка.

30.    Фотометры цифровые, радиометры, спектрорадиометры - монтаж, настройка.

31.    Центрифуга - ремонт, настройка схем управления.

32.    Электроводородные печи типа И 0570020, А 36023 - наладка.

2. Дополнить профессию "Наладчик-монтажник испытательного оборудования" тарифно-квалификационными характеристиками 7 и 8 разрядов (§ 39а, 396), изложив их в следующей редакции:

§ 39а. НАЛАДЧИК - МОНТАЖНИК ИСПЫТАТЕЛЬНОГО

ОБОРУДОВАНИЯ

7-й разряд

Характеристика работ. Монтаж, наладка и регулировка радиоэлектронных блоков испытательного оборудования и вычислительной техники повышенной сложности и устройств автоматики на радиоэлектронной базе с последующим ремонтом и регулировкой. Монтаж, наладка, проверка, ремонт и сдача в эксплуатацию сложных схем промышленной автоматики, телемеханики, связи, схем управления контактного, релейного, электромагнитного, ионного и полупроводникового электропривода. Диагностирование управляющих систем оборудования с помощью специальных тестовых программ и стендов с применением средств вычислительной техники. Составление тестовых и корректировка технологических программ контрольно-измерительного и специального технологического оборудования. Анализ и систематизация отказов в работе технологического оборудования.

Должен знать: методы выявления неисправностей в радиоэлектронных блоках особо сложного испытательного оборудования и вычислительной техники; методы монтажа экспериментальных образцов аппаратов и приборов по эскизам и принципиальным схемам; законы построения и расчет особо сложных монтажных и принципиальных схем; расчет электрических цепей для определения параметров радиокомпонентов монтируемых схем; способы составления и корректировки технологических и тестовых программ; организацию комплекса работ по наладке и поиску неисправностей устройств и систем вычислительной техники; устройство и диагностику уникальных измерительных и управляющих систем и комплексов.

Требуется среднее профессиональное образование.

Примеры работ.

1.    Блоки аппаратуры для измерения неэлектрических величин электрическими методами (измерители давления, ускорения, температуры, геометрических размеров, дефектоскопы и т.д.) - монтаж, наладка, ремонт.

2.    Блоки промышленной автоматики, телемеханики и связи (на радиоэлектронной базе) - ремонт, наладка.

3.    Блоки развертывающих устройств (нестандартные) - ремонт, наладка .

4.    Генераторы высокой частоты (синусоидальные, импульсные), квантовые оптические с блоками автоматического управления режимами -ремонт, наладка, подгонка частот.

5.    Комплексы сложного автоматического и полуавтоматического оборудования различных систем - выявление неисправностей, ремонт, наладка.

6.    Субблоки алгоритмов автоматов тепловой защиты рентгеновской трубки, субблоки обработки телевизионного сигнала (СОТС) - ремонт, наладка.

7.    Схемы для испытания электровакуумных изделий и контроля электрических параметров, в том числе с климатическими камерами - монтаж, ремонт, наладка.

8.    Схемы и стенды для замеров электрических параметров и характеристик электронно-оптических приборов - настройка, контроль за их работой, ремонт.

9.    Установки автоматизированные нанесение люминофора на экраны ЭОП - наладка, ремонт.

§ 396. НАЛАДЧИК - МОНТАЖНИК ИСПЫТАТЕЛЬНОГО

ОБОРУДОВАНИЯ

8-й разряд

Характеристика работ. Монтаж, наладка, регулировка и сдача в эксплуатацию особо сложных систем управления, оборудования на базе микропроцессорной техники с выполнением всех видов восстановительноремонтных работ элементов этих систем, программируемых контроллеров,

микро- и мини - ЭВМ и другого оборудования средств вычислительной техники. Монтаж и наладка оборудования для испытания цветных кинескопов с использованием импульсных стабилизаторов и специальных развертывающих устройств. Монтаж, наладка и эксплуатация образцов уникального отечественного и зарубежного оборудования с автоматическим управлением технологическими процессами и особо сложными радиоэлектронными схемами. Участие в разработке нестандартного испытательного оборудования, монтаж блоков и проверка их на работоспособность.

Должен знать: методы выявления неисправностей в радиоэлектронном уникальном отечественном и зарубежном оборудовании; способы построения систем управления на базе микропроцессорной техники; функциональные и структурные схемы микро- и мини-ЭВМ; методику настройки систем с целью получения заданных характеристик устройств и приборов преобразовательной техники; программирование и методы ремонта особо сложного оборудования на базе ЭВМ.

Требуется среднее профессиональное образование.

Примеры работ.

1.    Блоки развертки устройств отображения информации, мониторов мини- и микро - ЭВМ и других управляющих систем - наладка, монтаж, регулировка.

2.    Блоки сложные на основе БИС - ремонт, наладка.

3.    Комплексы измерительные с управляющими ЭВМ (типа "Икомат-110^й, Икомат-115", "Викинг" и т.п.) - настройка, ремонт, диагностика

4.    Контрольно-измерительные системы и устройства с микропроцессорным управлением - монтаж, настройка, регулировка.

5.    Конвейерные линии и установки для изготовления изделий электровакуумного и полупроводникового производства, снабженные программным управлением и автоматическими системами поддержания заданных параметров - ремонт, наладка.

6.    Схемы экспериментальные измерительных устройств и комплексов- монтаж, наладка, ремонт.

7.    Установки нанесения тонких пленок типа "Лейбольд", вакуумной обработки и изготовления фотокатода ЭОП, магнитного напыления контактных слоев - ремонт, наладка.

3. Внести изменения и дополнения в тариф но-квалификационную характеристику профессии "Наладчик технологического оборудования" 6 разряда (§ 44), изложив ее в следующей редакции:

§ 44. НАЛАДЧИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ

6-й разряд

Характеристика работ. Наладка и регулировка особо сложного оборудования с автоматическим, программным и механическим управлением со сложными кинематическими, электрическими, вакуумными, газовыми и радиоэлектронными схемами для выпуска особо сложных приборов. Ремонт и наладка сложных установок электронно-лучевой, аргонно-дуговой и термодиффузионной сварки. Ремонт и наладка сложных масляных и безмасляных вакуумных систем. Расчет и установка оптимально допустимых режимов работы сложного оборудования. Определение износа, подгонка и замена механических, вакуумных и электронных узлов. Расчет и изготовление индукторов. Выполнение всех видов ремонта обслуживаемого оборудования. Составление эскизов на сложные детали, узлы и необходимую оснастку. Модернизация обслуживаемого оборудования при изменении технологического процесса. Проверка отремонтированного оборудования, проведение климатических испытаний специального технологического оборудования в термокамерах в условиях пониженной и повышенной температуры.

Должен знать: кинематические, электронные, оптические и электрические схемы; вакуумные и газовые системы сложного оборудования; конструктивные особенности и принцип работы установок с программным управлением; назначение, правила настройки и регулировки контрольноизмерительных приборов всех систем; причины возникновения и меры предупреждения неисправностей в работе обслуживаемого оборудования; методику проведения всех видов ремонта; расчеты, связанные с выбором режима работы оборудования, заменой элементов схем и механизмов.

Требуется среднее профессиональное образование.

Примеры работ.

1.    Автоматы сортировки кристаллов и пластин, автоматы шрифтовки

- наладка, ремонт.

2.    Автоматы пайки и откачки титанокерамических ламп - наладка.

3.    Автоматы и полуавтоматы со специальными узлами для навивки сеток без витков на проскоке, механизированные линии, автоматы разделки сеточных полос - наладка, текущий ремонт.

4.    Автоматы для вырубки сердечников с ППГ типа Ф2-2, Ф2-4, автоматы инфракрасной заварки герконов - наладка, ремонт.

5.    Автоматы У-705М, У-706М, КФА-1 со сложными электронными и механическими схемами - наладка, ремонт.

6.    Автоматы намоточные многошпульные с программным управлением марки АМ-99Р (изготовитель ФРГ) - наладка, ремонт.

7.    Автоматы и полуавтоматы откачки металлокерамических ламп -наладка.

8.    Выпрямители, усилители мощности, блоки стабилизации мощности прецизионные, регуляторы температуры - наладка, ремонт.

9.    Генераторы высокочастотные с автоматической регулировкой температуры нагрева обрабатываемых приборов и генераторы ламповые -наладка, ремонт.

10.    Комплексы измерительные параметров микросхем типа "Элекон"

- наладка, ремонт.

И. Кулачки на временный шаг - установка на автоматы с учетом расчета сеток по чертежу.

12.    Линии автоматические по сборке радиодеталей - наладка.

13.    Линии вакуумной обработки ЦЭЛТ - наладка, ремонт.

14.    Линии механизированные изготовления траверсных сеток - наладка, ремонт.

15.    Масс-спектрометры квадрупольные типа КМ - наладка, ремонт.

16.    Монохроматоры вакуумные - наладка измерительно-регистрирующей системы, юстировка, ремонт кинематической и оптической схем.

17.    Насосы магнито-разрядные типа "Трион-150" - наладка, ремонт.

18.    Оборудование агрегатное специальное для металлического формообразования - наладка.

19.    Оборудование автоматической линии изготовления герконов -наладка, ремонт.

20.    Оборудование для навивки спиралей и подогревателей - наладка, ремонт с самостоятельным изготовлением отдельных узлов и деталей.

21.    Оборудование автоматических линий получения микросхем, оборудование напылительное для прецизионной фотолитографии и эпитаксиального наращивания - наладка, ремонт.

22.    Печи водородные и электрические (высокотемпературные), печи диффузионные с программным управлением - наладка, ремонт.

23.    Полуавтоматы и автоматы классификации приборов и разбраковки приборов по группам - наладка, ремонт.

24.    Полуавтоматы проверки и классификации статических параметров интегральных микросхем ИИС-IM, ИИС-10, типа "Интеграл" - наладка, ремонт.

25.    Полуавтоматы контроля структур на пластине типа "Зонд", "Рассвет", "АУТ-100" - ремонт, наладка механической и электрической частей.

26.    Посты откачные с автоматическим и программным управлением, со сложной металлической вакуумной системой, с автоматическим индукционным нагревателем арматуры приборов - наладка, ремонт.

27.    Посты откачные для откачки видиконов и суперортиконов, посты откачные типа СБМ-2-300100 - наладка, ремонт.

28.    Прессы автоматические Ф2-3 - наладка.

29.    Приспособления для шлифовки и полировки пластин кремния и германия - установка со сложной выверкой (точность до 0,001 мм).

30.    Полуавтоматы откачки МГЛ типа "Железная дорога" - ремонт, монтаж, настройка.

31.    Станки многопозиционные, многошпиндельные агрегатные типа "АА" - наладка, составление сложных расчетов для наладки.

32.    Станки с электронными схемами для алмазной резки полупроводниковых материалов - наладка, ремонт.

33.    Течеискатели высокочувствительные CBT-I - ремонт, наладка.

34.    Установки электроннолучевые, термодиффузионные и электрон-нопроекционные - ремонт, наладка.

35.    Установки фотопечати экранов - наладка, юстировка, ремонт.

36.    Установки получения монокристаллов методами Варнейля, Чох-ральского из растворов в расплаве солей, зонной плавки - наладка, запуск.

37.    Установки получения арсенида галлия из расплава и газовой фазы, установки УВН-2М-2 - наладка, ремонт.

38.    Установки (автоматы) контактирования и скрайбирования пластин 304ДА-4, А-1, "Алмаз" - наладка, ремонт.

39.    Установки вакуумные, вакуумно-плазменные полуавтоматические - наладка систем автоматического управления циклом, систем регулирования мощности испарителей, систем автоматической откачки.

40.    Установки вакуумного напыления с автоматическим управлением процесса нанесения металлов, диэлектриков, полупроводников, а также с управлением от ЭВМ - наладка, ремонт.

41.    Установки контроля технологических средств типа КТС, проверки статических параметров на пластине типа ^иЭМ-640" и "Зонд-А-4М", контроля электрических параметров БИС - наладка, калибровка, ремонт.

42.    Установки резки пластин - наладка, ремонт.

43.    Установки вакуумные (ионно-плазменные) - полный и профилактический ремонт, наладка.

44.    Установки лазерные типа "Кизил" - полный и профилактический ремонт оптической системы и электросхемы.

45.    Установки совмещения и экспонирования всех систем - ремонт, наладка, юстировка оптической системы.

46.    Установки высокочастотные, высоковольтные, плазменные типа УРМ, УВН и ПУФ-80 - наладка, ремонт.

47.    Установки АДС в атмосфере аргона типа УЭС-2 - наладка, ремонт.

48.    Устройства газораспределения и программаторы диффузионных печей - наладка, запуск.

49.    Устройства печатающие, быстродействующие - наладка, ремонт.

4. Дополнить профессию "Наладчик технологического оборудования" тарифно-квалификационными характеристиками 7 и 8 разрядов (§ 44а, 446), изложив их в следующей редакции:

§ 44а. НАЛАДЧИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ

7-й разряд

Характеристика работ. Наладка и регулировка особо сложного оборудований с программным управлением и сложными кинематическими, электрическими, радиоэлектронными, пневматическими, гидравлическими, вакуумными схемами для выпуска особо сложных приборов. Техническое обслуживание и выполнение комплекса ремонтновосстановительных работ элементов механических, оптических, вакуумных, пневматических, электронных и электрических систем технологического оборудования для производства изделия СВИС с минимальными размерами элементов до 2 мкм. Монтаж всех типов технологического оборудования. Расчет и установка оптимальных режимов работы оборудования повышенной сложности.

Должен знать: кинематические, электрические, радиоэлектронные, пневматические, гидравлические и вакуумные схемы особо сложного оборудования; конструктивные особенности и принцип работы установок с программным управлением; назначение, методику настройки и регулировки контрольно-измерительных приборов всех систем и стендов для диагностирования; характерные неисправности обслуживаемого оборудования и меры их устранения; методику проведения всех видов ремонтных работ.

Требуется среднее профессиональное образование.

Примеры работ.

1.    Автоматические диффузионные системы с дистанционным программным управлением технологического процесса типа АПЛ и АПЛД -наладка, ремонт.

2.    Автоматические и полуавтоматические линии откачки с программным управлением - комплексная наладка.

3.    Оборудование эпитаксиального наращивания слоев, магнитронно-го напыления металлических диэлектрических слоев, плазмохимического травления с автоматическим программным управлением - наладка, ремонт.

4.    Универсальная система управления производственными механизмами УСУПМ-01, устройства электронного управления технологическими процессами ПВК-15x20 - наладка, ремонт, обслуживание.

5.    Установки плазменной очистки и микроплазменной сварки - наладка, ремонт.

6.    Установки контроля экранов на ТМН с автоматической системой управления - наладка, ремонт.

§ 446. НАЛАДЧИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ

8-й разряд

Характеристика работ. Комплексная наладка, регулировка и сдача в эксплуатацию уникального и экспериментального оборудования, оснащенного микропроцессорной техникой, функциональными электронными блоками со сложными гидравлическими, кинематическими, газовыми, вакуумными, электрическими и радиоэлектронными схемами. Наладка и ремонт компьютерных систем, входящих в комплект обслуживаемого технологического оборудования. Ремонт датчиков универсальных систем управления различных технологических установок. Диагностика и профилактика неисправностей всех систем и узлов оборудования. Составление и корректировка технологических программ. Анализ и систематизация отказов работы обслуживаемого оборудования и разработка рекомендаций по повышению их надежности.

Должен знать: кинематические, гидравлические, пневматические и электрические схемы, вакуумные и газовые системы уникального и экспериментального оборудования; конструктивные особенности и принцип работы технологических установок со сложной системой автоматического регулирования технологическими процессами с помощью ЭВМ и микропроцессорной техники; способы построения систем управления на базе микропроцессорной техники, микро- и мини-ЭВМ; способы корректировки технологических и тестовых программ; основные языки программирования; расчеты, связанные с выбором режима работы оборудования, заменой элементов схем и механизмов; теоретические основы механики, элек-тро-, радио- и теплотехники.

Требуется среднее профессиональное образование.

Примеры работ.

1.    Автоматические комплексы для производства СБИС типа "Основа" - наладка, ремонт.

2.    Компьютерные системы типа "Орион*', "ДВК" - наладка, ремонт,

3.    Оборудование на базе микропроцессорной техники с внутренней самодиагностикой типа "Лада-36" - наладка, ремонт.

4.    Роботизированные комплексы сборки микросхем типа "УВ-ПА","АЗС.А" - наладка, ремонт.

5.    Установки автоматизированной разварки микросхем типа ОЗУН-10000, ЭМ-4020, ЭМ-490А - наладка, ремонт.

6.    Установки вакуумной обработки и изготовления фотокатодов ЭОП - наладка, ремонт.

7.    Установки совмещения и мультипликации типа ЭМ-584 (А и Б), АЮР - наладка, ремонт.

8.    Установки эпитаксиального наращивания структур АЗВ-5 типа "Эмос-300", "Эпитрон" - наладка, ремонт.

5. Внести изменения и дополнения в тарифно-квалификационную характеристику профессии "Юстировщик деталей и приборов" 6 разряда (§ 115), изложив ее в следующей редакции:

§ 115. ЮСТИРОВЩИК ДЕТАЛЕЙ И ПРИБОРОВ

6-й разряд

Характеристика работ. Юстировка и настройка особо сложных масс-спектрометров, а также электронно-вычислительных приставок и масс-спектрометрических информационно-управляемых систем в соответствии с техническими инструкциями, программами лабораторий госнадзо-ра, специальными инструкциями. Настройка и юстировка различных типов электронных микроскопов и электронографов отечественного и зарубежного производства. Юстировка и настройка опытных образцов электронных микроскопов, электронографов, масс-спектрометров и участие в их испытаниях. Разработка методик абсолютных и относительных измерений на масс-спектральных приборах. Работа по стыковке масс-спектральных приборов с комплексами электронно-вычислительных машин (ЭВМ), ввод программы и обеспечение режимов управления ЭВМ масс-спектрометрическими приборами.

Должен знать: конструкцию, способы и правила проверки на точность особо сложных масс-спектрометров и различных типов микроскопов; их электронные и электрические схемы; все виды аберраций и их устранение; способы, правила и последовательность юстировки серийных масс-спектрометров; принципы установления режимов работы систем ионообразования, развертки спектромасс, детектирования заряженных частиц; источники питания линз и пушки; их параметры и настройку; критерии предельной разрешающей способности электронного микроскопа; методы выявления неисправностей в настраиваемых приборах и способы их устранения.

Требуется среднее профессиональное образование.

Примеры работ.

1.    Масс-спектрометры вторичной ионной эмиссии, квадрупольные, лазерные, одинарной и двойной фокусировки - настройка, юстировка.

2.    Микроанализаторы ХА-ЗА (Япония) - настройка, юстировка.

3.    Микроскопы электронные просвечивающие и растровые типа РЭМП-2, РЭМП-4 - настройка, проверка, юстировка, устранение всех видов аберраций, перестройка ЭОС в различные виды работ (отражение, дифракция, микро дифракция и т.д.).

4.    Микроскопы электронные - замена электронных ламп и опорных батарей в блоке стабилизатора высокого напряжения, последующая юстировка.

5.    Микроскопы РЭМП-4, МТР-6 - настройка источников питания и высоковольтных источников.

6.    Микроскопы растровые Минисэм (Япония), Квикскан (Япония) -настройка, юстировка.

6. Дополнить профессию "Юстировщик деталей и приборов" тарифно-квалификационной характеристикой 7 разряда (§ 115а), изложив ее в следующей редакции:

§ 115а. ЮСТИРОВЩИК ДЕТАЛЕЙ И ПРИБОРОВ

7-й разряд

Характеристика работ. Юстировка и настройка цветных дисплейных комплексов с подбором, корректировкой и измерением параметров отклоняющей системы, изменение распределения магнитного поля в кинескопе на основе анализа деформации электронных триад. Измерение и вычисление по формулам параметров ''геометрические искажения растра", координат цветности свечения экрана, яркостных характеристик комплекса. Работа со сложным испытательным оборудованием, калориметром, яр-комером, контр астомером.

Должен знать: конструкцию, способы проверки на точность опытных образцов электронных приборов, их электронные и электрические схемы; методы определения последовательности процессов испытания дисплейных комплексов; правила вычисления электрических параметров и светотехнических характеристик при помощи формул, таблиц, графиков, монограмм.

Требуется среднее профессиональное образование.

По профессиям "Оператор прецизионной резки", "Оператор прецизионной фотолитографии", "Травильщик прецизионного

травления"*

'Утверждены постановлением Минтруда России от 5 декабря 1994 г. № 75.

1.    Дополнить профессию "Оператор прецизионной резки" тарифно-квалификационной характеристикой 6 разряда (§ 54а), изложив ее в сле-дующе й редакции:

§ 54а. ОПЕРАТОР ПРЕЦИЗИОННОЙ РЕЗКИ

6-й    разряд

Характеристика работ. Ориентированная прецизионная резка заготовок и слитков полупроводниковых материалов диаметром свыше 100 мм на пластины на автоматизированном агрегате резки с программным управлением с разбросом по толщине +10 мкм. Установка и настройка режущего инструмента, контроль за его исправностью. Регулировка агрегата и подналадка режущего инструмента в процессе работы. Составление и корректировка программ автоматической работы агрегата. Определение направления и величины ухода режущей кромки, правка режущего инструмента, снижение величины ухода режущей кромки.

Должен знать: конструкцию и основы работы оборудования с программным управлением; способы проверки и регулировки параметров работы обслуживаемого оборудования; методы контроля качества резки.

2.    Дополнить профессию ’’Оператор прецизионной фотолитографии" тарифно-квалификационной характеристикой 7 разряда (§ 59а), изложив ее в следующей редакции:

§ 59а. ОПЕРАТОР ПРЕЦИЗИОННОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ

7-й    разряд

Характеристика работ. Проведение полного цикла фолитографи-ческого процесса по изготовлению сверхбольших интегральных схем (СБИС) с размерами элементов 2 мкм, точностью совмещения +0,15 мкм и размером рабочего модуля 10/10 мм. Обслуживание установок совмещения и мультипликации всех типов, установок нанесения и сушки, установок проявления и задубливания фоторезиста на линии типа Лада-150 с программным управлением. Ввод коррекции на совмещение слоев, оценка значения масштаба и разворота на проекционной печати, качества совмещения внутри модуля и по полю пластины. Ввод рабочих программ для обеспечения автоматического режима работы оборудования. Определение дефектности фоторезиста и локализация узла оборудования, генерирующего дефекты. Измерение линейных размеров на автоматическом измерителе типа Zeitz. Входной контроль металлизированного промежуточного оригинала (МПО), подготовка его к работе, сборка и выдача в работу с двухсторонней защитой пелликлом.

Должен знать: конструкцию и принцип работы фотолитографического оборудования с программным управлением, правила пользования автоматической системой управления движением пластин; методы корректировки технологических режимов формирования фоторезистивных покрытий по результатам контроля основных характеристик фоторезиста и лака.

Требуется среднее профессиональное образование.

Примеры работ.

1.    Металлизированные промежуточные оригиналы (МПО) - изготовление пробных отсъемов, контроль совмещаемости слоев.

2.    Пластины СБИС с размером элементов 2 мкм - проведение полного технологического цикла фотолитографических операций и контроль качества выполнения их перед проведением плазмо-химических процессов.

3.    Рамка контактная - проведение полного цикла фотолитографических операций.

4.    Шаблоны пленочные с допуском несовмещения 15 мкм - проведение полного технологического цикла фотолитографических операций.

3. Дополнить профессию "Травильщик прецизионного травления" тарифно-квалификационной характеристикой 6 разряда (§ 97а), изложив ее в следующей редакции:

§ 97а. ТРАВИЛЬЩИК ПРЕЦИЗИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ

6-й разряд

Характеристика работ. Ведение процессов объемной химической обработки пластин, химического травления диэлектрических пленок (двуокиси кремния, нитрида кремния, фосфоросиликатного стекла) на автоматизированных комплексах, состоящих из шести и более установок. Самостоятельный выбор и задание на ЭВМ программы на приготовление технологических растворов с требуемой концентрацией компонентов. Ввод в ЭВМ технологических параметров химической обработки, отмывки и сушки. Контроль по дисплею и регулирование технологических параметров (время обработки, температура, удельное сопротивление воды). Определение и задание на ЭВМ маршрута движения робота с партиями пластин. Контроль дефектности процесса, оценка уровня дефектности на автоматизированных анализаторах поверхности типа “Surfskan 4500”. Обслуживание автоматизированных комплексов химической обработки в ре* жиме "отладка". Ведение учета отказов автоматизированного комплекса, анализа диагностики, выдаваемой ЭВМ, проведение простых наладочных работ. Обслуживание и подналадка автоматических перегрузчиков пла-

стин. Химическая обработка стеклопластин на автоматических ультразвуковых линиях. Определение и задание параметров обработки стеклопластин путем программирования режимов отмывки на компьютере, контроль параметров технологического процесса с последующей корректировкой задаваемых режимов с применением контрольных графиков.

Должен знать: устройство, принцип работы, конструктивные особенности и правила эксплуатации автоматизированных комплексов химической обработки и автоматических перегрузчиков пластин; основные принципы работы на персональном компьютере и способы задания параметров химической обработки при работе на автоматизированных комплексах, состоящих из шести и более установок; устройство и правила эксплуатации ЭВМ типа IBMP, принцип сборки и обработки данных на ПЭВМ, порядок доставки химреагентов, правила эксплуатации систем автоматизированной подачи химреактивов; требования к качеству обработанных изделий; основные виды брака и способы их устранения.

Примеры работ.

1.    Пластаны СБИС - обработка в перекисно-аммиачных растворах и растворах серной кислоты с перекисью водорода на линии "Кубок"; травление SiO, SiN, ФСС на линии "Кубок Т».

2.    Пластины стеклянные - многостадийная химическая обработка на автоматических ультразвуковых линиях.

К разделу "Полупроводниковое производство".

Подраздел "Производство квантовых приборов"

По профессии "Оптик элементов квантовых приборов"*

Дополнить профессию "Оптик элементов квантовых приборов" та-рифно-квалификационной характеристикой 7 разряда (§ 5а), изложив ее в следующей редакции:

§ 5а. ОПТИК ЭЛЕМЕНТОВ КВАНТОВЫХ ПРИБОРОВ

7-й разряд

Характеристика работ. Полное изготовление деталей различных конфигураций (линзы с цилиндрическими поверхностями, асферические зеркала, призмы полного внутреннего отражения, шаровая микрооптика диаметром от 0,5 до 1,5 мм» пластины и двухсторонние клинья с фокусно-стью свыше 40 км) с качеством поверхности по общим ошибкам менее

0,25 кольца, с допусками на линейные размеры 0,001 мм и менее, на кли-

-1—^--_Tn-T.-UT.M    -L    _Г    J.T.-    -    -    .    -    ___

'Утверждена постановлением Минтруда России от 29 декабря 1993г. №184.

новидность для пластин, углы для призм и клиньев менее 2 сек, отклонение диаметра шаровой микрооптики менее 0,001 мм. Изготовление составных оптических изделий методом глубокого оптического контакта. Изготовление накладных контрольно-измерительных средств в соответствии с ГОСТом по 1-й группе сопряжения. Полное изготовление деталей из кристаллов каменной соли и непрочных химико-механических оптических стекол. Полное изготовление пластин особой сложности из кристаллических материалов с ориентацией оптической оси до 1 мин. Ориентация кристаллов оптическим, рентгенометрическим и рентгеновским методами. Контрольные измерения изделий с применением сложных оптических приборов с использованием лазерного излучения. Расчет конструктивных параметров технологической оснастки, используемой при изготовлении высокоточных изделий. Экспериментальные работы по полировке и доводке оптических деталей с подбором абразивных порошков и полировочных паст. Обслуживание, наладка и выявление неисправностей оборудования, применяемого при изготовлении изделий и контрольных измерениях.

Должен знать: технологический процесс изготовления сферических, асферических, конических и других форм оптических деталей; технологические процессы изготовления высокоточных изделий из стекла и кристаллов с применением лазерных контрольно-измерительных средств; свойства и способы изготовления оптических деталей из кристаллов различной твердости и химически непрочных стекол; виды деформаций в кристаллах и стеклах; расчет конструктивных параметров технологической оснастки, необходимой для изготовления изделий квантовой электроники; правила эксплуатации оборудования и приспособлений, применяемых при изготовлении и контроле высокоточных изделий; методы выявления их неисправностей.

Примеры работ.

1.    Триппель-призмы диаметром от 5 до 100 мм - полная обработка с допусками на качество поверхности по общим ошибкам 0,25 кольца, местным - 0,1 кольца, на углы ±2 сек, на разрешающую силу - 2 сек.

2.    Линзы шаровые из кристаллических материалов диаметром до

0,5 мм - полная обработка с допуском по диаметру, не превышающим

0,001 мм.

3.    Призмы сложной конфигурации, лазерные элементы размером менее 3 мм - полная обработка с допусками на качество поверхности по общим ошибкам 0,25 кольца, местным - 0,1 кольца, на углы +2 сек, на пи-рамидальность менее 5 сек.

4.    Призмы полного внутреннего отражения (ПВО) - полная обработка с требованиями к оптической чистоте рабочих поверхностей, превышающих требования ГОСТа по РО-Ю.

5. Стекла пробные с цилиндрическими поверхностями - полная обработка с допусками на качество поверхности по общим ошибкам менее

0,5 кольца, местным - 0,2 кольца.

Подраздел "Производство полупроводниковых приборов, интегральных и твердых схем"

По профессиям "Оператор вакуумно-напылительных процессов", "Оператор диффузионных процессов", "Оператор

плазмохимических процессов"¹

1. Дополнить профессию "Оператор вакуумно-напылительных процессов" тарифно-квалификационной характеристикой 7 разряда (§ 20а), изложив ее в следующей редакции:

§ 20а. ОПЕРАТОР ВАКУУМНО-НАПЫЛИТЕЛЬНЫХ

ПРОЦЕССОВ

7-й разряд

Характеристика работ. Напыление металлических и окисных покрытий с заданной оптической плотностью и дефектностью. Напыление тугоплавких металлов с образованием силицидов. Составление программ проведения процесса напыления с использованием ЭВМ. Замер поверхностного сопротивления силицидов и пленок металла. Определение отражающей способности пленки и коэффициента запыления рельефа пленкой. Отработка режимов напыления пленки с получением указанных параметров (толщина, состав, коэффициенты запыления и отражения), настройка и калибровка по эталонам приборов для измерения заданных параметров. Сборка и разборка внутрикамерного устройства установок и их чистка. Отыскание течей вакуумных систем и принятие мер по их ликвидации. Оценка качества высокого вакуума.

Должен знать: устройство и принцип работы обслуживаемого оборудования; принцип работы откачных средств и способы измерения вакуума; наладку и настройку контрольно-измерительных приборов; способы получения проводящих, резистивных, барьерных, диэлектрических слоев и диодов Шотгки; влияние режимов напыления на электрофизические свойства пленок.

Требуется среднее профессиональное образование.

2. Дополнить профессию "Оператор диффузионных процессов" тарифно-квалификационной характеристикой 7 разряда (§ 25а), изложив ее в следующей редакции:

§ 25а. ОПЕРАТОР ДИФФУЗИОННЫХ ПРОЦЕССОВ

7-й разряд

Характеристика работ. Ведение особо сложных высокотемпературных процессов диффузии на опытном оборудовании и оборудовании с микропроцессорным программным управлением с применением различных типов диффузантов. Ведение процесса окисления кремниевых пластин пирогенным способом. Расчет необходимых пропорций кислорода и водорода в их смеси. Одновременное проведение трех процессов окисления или диффузии. Выбор способа формирования диэлектрика в зависимости от назначения и требований к нему. Получение р-n переходов и контроль их вольтамперных характеристик на измерителе Л2-56. Сбор и обработка информации с помощью компьютера. Анализ причин возникновения брака на операциях высокотемпературных обработок и принятие мер по их устранению.

Должен знать: устройство и принцип работы обслуживаемого оборудования, назначение и условия применения сложного контрольноизмерительного оборудования (спектрофотометры типа MPVSO, “Surfskan”, ЛЭФ-ЗМ); назначение окисных пленок и диффузионных слоев и требования к ним; факторы, определяющие скорость роста окислов; механизмы диффузии в полупроводниках; виды брака на термодиффузионных операциях, причины его возникновения и способы устранения; способы получения р-п переходов и методы определения их годности.

Требуется среднее профессиональное образование.

Примеры работ.

1.    Изолирующий окисел - пирогенное окисление.

2.    Диффузия фосфора в поликремний - легирование затвора.

3.    Дополнить профессию "Оператор плазмохимических процессов" тарифно-квалификационной характеристикой 7 разряда (§ 32а), изложив ее в следующей редакции:

§ 32а. ОПЕРАТОР ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ

7-й разряд

Характеристика работ. Проведение процессов плазмохимической очистки и травления полупроводниковых материалов на экспериментальном и опытном оборудовании. Проведение многостадийных процессов

травления. Плазмохимическое травление многослойных структур. Анизотропное травление поликремния* Сборка и разборка внутри камерно го устройства и его чистка. Отыскание течей вакуумных систем и принятие мер к их устранению.

Должен знать: конструкцию экспериментального и опытного оборудования для проведения плазмохимических процессов; правила ведения плазмохимического травления многослойных структур и ведения многостадийных процессов; методы отыскания течей в вакуумных системах и способы их устранения и предупреждения.

Требуется среднее профессиональное образование.

Примеры работ.

1.    Кремниевые пластины - плазмохимическое травление Al/Si; AlSi/TiW.

2.    Кремниевые пластины - плазмохимическое травление ФСС, БФСС, SiO селективно к Si, ПКК при формировании контактов.

1

Утверждены постановлением Минтруда России от 5 декабря 1994г. № 75.