Товары в корзине: 0 шт Оформить заказ
Стр. 1
 

16 страниц

191.00 ₽

Купить официальный бумажный документ с голограммой и синими печатями. подробнее

Официально распространяем нормативную документацию с 1999 года. Пробиваем чеки, платим налоги, принимаем к оплате все законные формы платежей без дополнительных процентов. Наши клиенты защищены Законом. ООО "ЦНТИ Нормоконтроль".

Наши цены ниже, чем в других местах, потому что мы работаем напрямую с поставщиками документов.

Способы доставки

  • Срочная курьерская доставка (1-3 дня)
  • Курьерская доставка (7 дней)
  • Самовывоз из московского офиса
  • Почта РФ

Рекомендаци устанавливают методику поверки радиометров (спектрорадиометров) используемых для измерения характеристик УФ излучения технологических источников.

Рекомендуется использовать ГОСТ Р 8.659-2009 (ИУС 5-2010)

Действие завершено 01.01.2011

Оглавление

1 Область применения

2 Нормативные ссылки

3 Операции поверки радиометров (спектрорадиометров) УФ излучения технологических источников

4 Средства поверки радиометров (спектрорадиометров) УФ излучения технологических источников

5 Требования к квалификации поверителей

6 Требования безопасности

7 Условия поверки

8 Подготовка и проведение поверки

9 Оформление результатов поверки

Приложение А (обязательное) Характеристики средств измерений

Приложение Б (справочное) Библиография

Показать даты введения Admin

Страница 1

РЕКОМЕНДАЦИИ ПО МЕТРОЛОГИИ

Государственная система обеспечения единства измерений

СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ ХАРАКТЕРИСТИК УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ ПРИ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОМ КОНТРОЛЕ В ДЕФЕКТОСКОПИИ, ПОЛИГРАФИИ И ФОТОЛИТОГРАФИИ

Методика поверки

Издание официальное

ГОССТАНДАРТ РОССИИ Москва

Страница 2

Предисловие

I РАЗРАБОТАНЫ Федеральным государственным унитарным предприятием «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП ВНИИОФИ) Госстандарта России, Техническим комитетом по стандартизации ТК 386 «Основные нормы и правила по обеспечению единства измерений в области ультрафиолетовой спектрорадиометрии*

2. ПРИНЯТЫ И ВВЕДЕНЫ В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Госстандарта России от 30 ноября 2001 г. № 508-ст

3    Настоящие рекомендации в части методов оценки погрешностей радиометров (спектрора-диометров) УФ излучения технологических источников соответствуют рекомендациям Международной комиссии по освещению (МКО) № 53 «Методы определения характеристик радиометров и фотометров*

4    ВВЕДЕНЫ ВПЕРВЫЕ

© ИПК Издательство стандартов, 2002

Настоящие рекомендации не могут быть полностью или частично воспроизведены, тиражированы и распространены в качестве официального издания без разрешения Госстандарта России

Страница 3

РЕКОМЕНДАЦИИ

П О

Р 50.2.014-2001

МЕТРОЛОГИИ

Государственная система обеспечения единства измерений

СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ ХАРАКТЕРИСТИК УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ ПРИ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОМ КОНТРОЛЕ В ДЕФЕКТОСКОПИИ, ПОЛИГРАФИИ

И ФОТОЛИТОГРАФИИ

Методика поверки

Дата ааедения 2002—10—01

1    Область применения

Настоящие рекомендации распространяются на средства измерений (СИ) характеристик ультрафиолетового (УФ) излучения технологических источников — радиометры (спектрорадиомет-ры) УФ излучения, основанные на использовании фотодиодов, вакуумных фотоэлементов, других фотопреобразователей, область спектральной чувствительности которых ограничена диапазоном длин волн от 0,2 до 1,1 мкм. Технологические УФ излучатели применяются в дефектоскопии, полиграфии, фотолитографии для создания высоких уровней УФ освещенности. Контроль характеристик УФ излучения технологических источников проводится в соответствии с требованиями ГОСТ 28369ГОСТ 18442 и (1). Средства измерений характеристик УФ излучения технологических источников обеспечивают измерения энергетической освещенности в диапазоне длин волн УФ-А (0,315+0,400 мкм), в динамическом диапазоне, нижняя граница которого составляет не более

1,0 Вт/м2, верхняя — нс менее 1000 Вт/м2.

Настоящие рекомендации устанавливают методику поверки радиометров (спектрорадиомет-ров), используемых для измерения характеристик УФ излучения технологических источников.

Межповерочный интервал для средств измерений характеристик ультрафиолетового излучения технологических источников — один год.

2    Нормативные ссылки

В настоящих рекомендациях использованы ссылки на следующие документы:

ГОСТ 8.195-89 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений спектральной плотности энергетической яркости, спектральной плотности силы излучения и спектральной плотности энергетической освещенности в диапазоне длин волн 0,25+25,00 мкм; силы излучения и энергетической освещенности в диапазоне длин волн 0,2+25,0 мкм

ГОСТ 8.207-76 Государственная система обеспечения единства измерений. Прямые измерения с многократными наблюдениями. Методы обработки результатов наблюдений. Основные положения

ГОСТ 8.552-86 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений потока излучения и энергетической освещенности в диапазоне длин волн 0,03+0,4 мкм

ГОСТ 18442-80 Контроль неразрушающий. Капиллярные методы. Общие требования

ГОСТ 28369-89 Контроль неразрушающий. Облучатели ультрафиолетовые. Общие технические требования и методы испытаний

Издание официальное

Страница 4

FTP 50.2.006—94 Государственная система обеспечения единства измерений. Порядок проведения поверки средств измерений

ПР 50.2.012—94 Государственная система обеспечения единства измерений. Порядок аттестации поверителей средств измерений

СанПиН 4557—88 Санитарные нормы ультрафиолетового излучения в производственных помещениях

3 Операции поверки радиометров (спектрорадиометров) УФ излучения технологических источников

Методика поверки радиометров (спектрорадиометров) УФ излучения технологических источников в соответствии с ПР 50.2.006 включает операции, указанные в таблице I.

Таблица I

Наименование операции

Номер пункта настоя-

Проведение операции при

ших рекомендаций

первичной поверке

периодической поверке

1 Подготовка к поверке

8.1

+

+

2 Внешний осмотр

8.2

+

+

3 Опробование

8.3

+

+

4 Определение метрологических характеристик радиометров (спектрорадиометров) УФ излучения технологических источников

8.4

+

+

4.1 Определение погрешности радиометров (спектрорадиометров) УФ излучения технологических источников, возникающей из-за неидеальной коррекции спектральной чувствительности, по результатам измерений относительной спектральной чувствительности

8.4.1

+

+

4.1.1 Измерение относительной спектральной чувствительности УФ излучения технологических источников в диапазоне длин волн от 0.28 до 0,40 мкм.

8.4.1.1

+

4.1.2 Измерение относительной спектральной чувствительности радиометра в дополнительном видимом и инфракрасном (И К) диапазонах длин волн от 0,4 до 1,1 мкм

8.4.1.2

+

4.2 Определение погрешности радиометров (спектрорадиометров) УФ излучения технологических источников, возникающей из-за нсидсальной коррекции спектральной чувствительности в УФ, видимом и ИК диапазонах длин волн от 0,2 до 1,1 мкм с использованием контрольных источников излучения

8.4.2

+

4.3 Определение погрешности абсолютной чувствительности радиометров (спектрорадиометров) УФ излучения технологических источников в диапазоне длин волн УФ-А

8.4.3

+

+

2

Страница 5

P 50.2.014-2001

Окончание таблицы J

Наименование операции

Номер пункта настоя-

Проведение операции при

щих рекомендаций

первичной поверке

периодической поверке

4.4 Определение погрешности радиометров (спектрорадиометров) УФ излучения технологических источников, возникающей из-за отклонения коэффициента линейности от единицы; определение границ диапазона измерений энергетической освещенности

8.4.4

+

+

4.5 Определение погрешности радиометров (спектрорадиометров) УФ излучения технологических источников. возникающей из-за нсидсаль-ной коррекции угловой зависимости чувствительности

8.4.5

+

+

4.6 Обработка результатов измерений радиометров (спектрорадиомст-ров) УФ излучения технологических источников

8.4.6

+

+

5 Оформление результатов поверки радиометров (спектрорадиометров) УФ излучения технологических источников

Раздел 9

+

+

4 Средства поверки радиометров (спектрорадиометров) УФ излучения технологических источников

При проведении поверки используются основные и вспомогательные средства поверки, перечень которых приведен в таблице 2.

Т а б л и ц а 2

Номер пункта настоящих рекомендаций

Средства поверки

8.4.1.1-8.4.1.2

Установка для измерений спектральной чувствительности приемников излучения в диапазоне длин волн от 0,2 до 1,1 мкм в составе рабочего эталона потока излучения и энергетической освещенности (РЭ ПИ и ЭО) по ГОСТ 8.552. Установка включает источники излучения — лампы типов ДКсШ-120, КГМ-12-100 (или аналогичные), монохроматор типа МДР-23 (или аналогичный), светофильтр типа ЖС-16, фотоприемники типов ФПД-1, ФД-288К (или аналогичные). Относительное суммарное среднеквадратическое отклонение (СКО) — не более 2 %.

8.4.2—8.4.3

Установка для измерений абсолютной чувствительности радиометров (спектрорадиометров) УФ излучения технологических источников в диапазоне длин волн от 0,315 до 0,400 мкм в составе РЭ ПИ и ЭО по ГОСТ8.552. CKO S^ — не более 1 %. Установка включает комплект источников излучения — лампы типов ДРТ-250, ЛУФ-30, ДКсШ-120, ДРУФЗ-125, КГМ-12-100 (или аналогичные), многоканальный радиометр УФ излучения

8.4.4

Установка для измерений коэффициента линейности чувствительности радиометров (спектрорадиометров) УФ излучения технологических источников А составе РЭ ПИ и ЭО по ГОСТ 8.552. Установка включает набор нейтральных ослабителей.

источники излучения — лампы типа ДКсШ-120 (или аналогичные). СКО 5^ — не более 3 %.

8.4.5

Установка для измерений угловой зависимости чувствительности радиометров (спектрорадиометров) УФ излучения технологических источников в составе РЭ ПИ и ЭО по ГОСТ 8.552, включающая гониометр типа ГС-5 (или аналогичный). СКО

•^10 — не более 3 %.

2-119

3

Страница 6

5    Требования к квалификации поверителей

К поверке радиометров (спсктрорадиометров) УФ излучения технологических источников допускают лиц, освоивших работу с радиометрами и используемыми эталонами, изучивших настоящие рекомендации, прошедших аттестацию в соответствии с ПР 50.2.012.

6    Требования безопасности

При поверке радиометров (спектрорадиометров) УФ излучения технологических источников соблюдают правила электробезопасности [2]. Измерения должны проводить два оператора, аттестованные по группе электробезопасности не ниже III, прошедшие инструктаж на рабочем месте по безопасности труда при эксплуатации электрических установок. При работе с источниками УФ излучения необходимо использовать средства защиты персонала от УФ излучения — защитные очки, щитки, перчатки и т. п. в соответствии с требованиями СанПиН 4557.

В помещении, в котором эксплуатируются источники УФ излучения, должна быть предусмотрена приточно-вытяжная вентиляция для исключения вредного воздействия озона на людей.

7    Условия поверки

При проведении поверки должны соблюдаться следующие условия:

-    температура окружающего воздуха, *С.................. 20    ±    5

-    относительная влажность воздуха, %.................. 65    ±    15

- атмосферное давление, кПа ......................от    84    до    104

- напряжение питающей сети, В........................ 220    ±4

- частота питающей сети, Гц........................... 50    ±1

8 Подготовка и проведение поверки

Методика поверки радиометров (спектрорадиометров) УФ излучения технологических источников включает подготовку к поверке, внешний осмотр, опробование и определение метрологических характеристик.

8.1    При подготовке к поверке необходимо включить все приборы в соответствии с их инструкциями по эксплуатации.

8.2    При внешнем осмотре должно быть установлено:

-    соответствие комплектности радиометров (спектрорадиометров) паспортным данным;

-    отсутствие механических повреждений блоков радиометров (спектрорадиометров), сохранность соединительных кабелей и сетевых разъемов;

-    четкость надписей на панели прибора;

-    наличие маркировки (тип и заводской номер прибора);

-    отсутствие сколов, царапин и загрязнений на оптических деталях прибора.

8.3    При опробовании должно быть установлено:

-    наличие показаний радиометров (спектрорадиометров) при освещении УФ излучением;

-    правильное функционирование переключателей пределов измерений, режимов работы радиометров (спектрорадиометров).

8.4    Определение метрологических характеристик радиометров (спектрорадиометров) УФ излучения технологических источников

8.4.1. Определение погрешности радиометров (спектрорадиометров) УФ излучения технологических источников, возникающей из-за неидеальной коррекции спектральной чувствительности, проводят при первичной поверке по результатам измерений отклонений реальной относительной спектральной чувствительности поверяемого радиометра (спектроралиометра) от стандартной (приложение А). ОСЧ поверяемого радиометра УФ излучения сравнивается с известной спектральной чувствительностью эталонного приемника УФ излучения, поверенного в ранге РЭ по ГОСТ 8.552 в диапазоне длин волн от 0,28 до 1,1 мкм. Измерения относительной спектральной чувствительности

4

Страница 7

P 50.2.014-2001

поверяемого спектрорадиометра УФ излучения проводят с использованием источника УФ излучения — ксеноновой лампы типа ДКсШ-120, поверенного в ранге РЭ СПЭО по ГОСТ 8.195.

8.4.1.1 При измерении относительной спектральной чувствительности радиометров УФ излучения технологических источников в диапазоне длин волн от 0,28 до 0,40 мкм используется излучатель на основе ксеноновой лампы типа ДКсШ-120, монохроматор типа МДР-23 (или аналогичный) со спектральным разрешением не более 2 нм и эталонный приемник УФ излучения — фотодиод типа ФПД-I. Эталонный приемник УФ излучения и поверяемый прибор поочередно устанавливают за выходной щелью монохроматора таким образом, чтобы поток монохроматического излучения не выходил за пределы апертурной диафрагмы. Измерение сигналов эталонного приемника /°(Х) и поверяемого прибора /(X) проводят поочередно 5 раз на каждой длине волны с шагом 10 нм. Затем за выходной щелью монохроматора устанавливают светофильтр типа ЖС-16, не прозрачный в диапазоне длин волн от 0,28 до 0,40 мкм, и измеряют показания эталонного приемника У°(Х) и поверяемого прибора /(X), соответствующие рассеянному излучению в монохроматоре. Результат /-го измерения ОСЧ поверяемого прибора 5)(Х) рассчитывают по известным значениям ОСЧ 5°(Х) эталонного приемника и отношению измеренных сигналов по формуле

S, (X) = S°(X) [/,(>.) - У,(Х)] / [/” (X) - У?(Х)].    (1)

Для каждой длины волны определяют среднеарифметическое значение ОСЧ 5(Х). Оценку относительного среднеквадратического отклонения S0 результатов измерений для п независимых измерений определяют по формуле

|(£[s<X)-S,<X)]!J S(\)[n(n-\))'/2    ’

где п — число независимых измерений.

Граница относительной неисключенной систематической погрешности результата измерений ОСЧ 0О определяется погрешностью РЭ ПИ и ЭО по ГОСТ 8.552.

Относительное суммарное среднеквадратическое отклонение результатов измерений ОСЧ определяют по формуле

+е£/з),/г.    (3)

Значение относительного суммарного СКО результатов измерений ОСЧ в диапазоне длин волн от 0,28 до 0,40 мкм не должно превышать 5 %.

Определение ОСЧ спектрорааиометра УФ излучения технологических источников проводят для оценки погрешности спектральной коррекции, возникающей из-за высокого порога спектральной чувствительности и значительного уровня рассеянного света спектрорадиометра.

При определении ОСЧ спектрорадиометра УФ излучения в основном диапазоне длин волн от 0,315 до 0,400 мкм эталонный источник УФ излучения на основе ксеноновой лампы типа ДКсШ-120, поверенный в ранге РЭ СПЭО по ГОСТ 8.195, устанавливают на расстоянии 0,5 м от спектрорадиометра, так чтобы значения СПЭО составляли (0,6 + 1,2) • 107 Вт/м3. Показания спектрорадиометра измеряют в единицах СПЭО (Вт/м3). ОСЧ поверяемого спектрорадиометра ^(Х) определяют по отношению измеренных значений СПЭО к значениям СПЭО эталонного Источника излучения. Значения суммарного СКО результатов измерений ОСЧ не должны превышать 5 %.

8.4.1.2 При измерении ОСЧ радиометра в дополнительном видимом и ИК диапазонах длин волн от 0,4 до 1,1 мкм спектральное разрешение монохроматора выбирают в пределах 3 нм. В качестве источника излучения используют лампу накаливания типа КГМ-12-100, в качестве эталонного приемника излучения — кремниевый фотодиод типа ФД-288К.

При измерении ОСЧ спектрорадиометра в видимом и ИК диапазонах/шин волн от 0,4 до 1,1 мкм используют эталонный источник излучения — лампу накаливания типа КГМ-12-100 в

5

Страница 8

составе РЭ ЭО по ГОСТ 8.195 с светофильтром типа ЖС-16 толщиной 2 мм. Поверяемый УФ спектрорадиометр устанавливают на оптической скамье на расстоянии нс менее 0,3 м от источника излучения. Регистрация показаний / в Вт/м2 поверяемого УФ спектрорадиометра в основном рабочем диапазоне длин волн от 0,315 до 0,400 мкм указывает на наличие дополнительной нескорриги-рованиой чувствительности S(K) в диапазоне длин волн от 0,4 до 1,1 мкм. Значение S(X), усредненное в диапазоне длин волн, определяют по формуле 5(Х) = / / £vir.

По результатам измерений ОСЧ радиометра (спектрорадиометра) определяют погрешность спектральной коррекции. Погрешность спектральной коррекции радиометра (спектрорадиометра) 0, в процентах, вызванную отклонением относительной спектральной чувствительности 5(Х) поверяемого УФ радиометра (спектрорадиометра) от стандартной 5СТ(Х.) (см. приложение А), определяют по формуле

0,

J£(X) S(X)dX ] £ст (X) 5СТ (X)dX Л_о_

CT(X)5CT(X)</X 7£СТ (X) S(X)dX

о

о

100,

(4)

где £(Х) — относительная спектральная плотность энергетической освещенности контрольных источников УФ излучения;

£СТ(Х) — относительная спектральная плотность энергетической освещенности стандартного источника УФ излучения.

Для определения возможности применения поверяемого прибора в качестве радиометра (спектрорадиометра) УФ излучения технологических источников в соответствии с настоящими рекомендациями установлен перечень контрольных и стандартных источников излучения. Табулированные значения £(Х) и £СТ(Х) приведены в таблицах 3—7. Расчет 0, по формуле (4) рекомендуется выполнять с использованием специальных компьютерных программ.

Значение погрешности спектральной коррекции 0, радиометра (спектрорадиометра) УФ излучения технологических источников для каждого контрольного источника не должно превышать 6%.

Таблица 3 — Значения £"(Х) для стандартного источника — ртутной лампы среднего давления

Длина волны, нм

£"<Х)

Длина волны, им

£ет(Х)

Длина волны, нм

Е'ЧХ)

200

5,55-10‘2

320

1,50-10-2

440

2.37

10-2

205

8,19 • 10“2

325

1,1910-2

445

1.20

10-2

210

1,04- Ю"1

330

1,13-10-2

450

7,58

10-2

215

1.04 • I0-*

335

1,03-10-'

455

6.42

10-2

220

1,23-10-'

340

9.48 • 10-2

460

5.43

10-2

225

1,29-10~'

345

7,87-10-2

465

5.19

10-2

230

1,18-10-'

350

6.71 • 10-2

470

5.57

10-2

235

1,02-10-'

355

9,12-10-2

475

5.65

10-2

240

8,64 -10~2

360

9,51 • 10-2

480

5.38

10-2

245

4,87 • 10-2

365

1,000

485

6.13

10"2

250

9,05 • 10~2

370

2,68 • 10-2

490

1.79

10"2

255

4,42 • 10"'

375

1,01 • 10-2

495

7,15

«О-3

260

1,75-10-'

380

1,03 -10“2

500

4,26

10-2

265

2,93-10-'

385

7,87 • (О"3

505

4,49

10-2

270

1,01 • ю-'

390

2,27 • 10-2

510

4,63

10-2

275

6,52 • 10-2

395

5,82 • 10-2

515

4.7Q

10-2

280

1.78-10-'

400

7,40-10-2

520

4,65

10-2

285

2,15-10-2

405

3,30-10-'

525

4.69

10-2

290

8.08-10-2

410

7,52 • 10-2

530

4,74

JO"3

295

1,21-10-'

415

8,64-10-2

535

9.77

10-2

300

1,48-10-'

420

8,36 • 10-2

540

6,49

10-2

305

3,67-10-'

425

9,92 • 10-2

545

7.18

10"'

310

1,20-10-'

430

1,39 -10-2

550

5,61

10-2

315

6,09-10-'

435

6,38-10-'

555

5.50

IQ"3

б

Страница 9

Окончание таблицы 3

Длина волны, нм

£"<*)

Длина волны, нм

Е”(\)

Длина волны, нм

£^’(Х)

560

5.40- 10‘3

745

4,92-10-3

930

5,79- (О"3

565

5,51 •Ю"3

750

4,94- 10"3

935

5,82- 10-3

570

6,27-10"3

755

4,98-10-3

940

5.84-Ю-з

575

9,48 • 10‘3

760

4.97- (О"3

945

5,87- 10-3

580

7,04- 10-'

765

4,99- 10-3

950

5,89- Ю-з

585

5,47- 10“3

770

5,01 • 10-3

955

5,92-10-3

590

5.07 • 10“3

775

5,04 • 10-3

960

5,96- 10-3

595

5,05 10-3

780

5,05 • Ю-з

965

5,98 • Ю-з

600

5,02- 10-з

785

5,11-10-3

970

6.01 • Ю-З

605

4,98- Ю"3

790

5,09- Ю-з

975

6,04- Ю-з

610

4,99- 10“3

795

5,11 • 10-3

980

6,05 • Ю-З

615

4,92 • I0"3

800

5,14- Ю-з

985

6,05-Ю-з

620

4,97 • Ю"3

805

5,16- Ю-з

990

6,07 • 10-3

625

4,94 ■ 10“3

810

5,16-Ю-з

995

6,08- Ю-з

630

4.92- (О"3

815

5,16-Ю-з

1000

6,09- Ю-З

635

4,95 - 10-3

820

5,18-Ю-з

1005

6,09-Ю-з

640

4,99 • «О"3

825

5,18-Ю-з

1010

6.23 • 10-3

645

5,02 • «О-3

830

5,19-Ю-з

1015

7,66-10-2

650

5,07 • 10-3

835

5,22-10-3

1020

6,18- 10-3

655

5.16-Ю-з

840

5,25-10-3

1025

6,09- Ю-з

660

5.25 • 10-3

845

5,28 • JO"3

1030

6,08- Ю-З

665

5,27 • Ю-з

850

5,31 • Ю-з

1035

6,06- Ю“3

670

6.07-10-3

855

5,33- Ю-з

1040

6,04- 10-3

675

5,22-10-3

860

5.36- Ю-з

1045

6,01 • ю-з

680

5,21 • Ю-з

865

5,38- Ю-з

1050

5,96- Ю-з

685

5,23-10-3

870

5,41 • Ю-з

1055

5,93 • 10-3

690

5,82 • Ю-з

875

5,43- Ю-з

1060

5,89 • Ю-з

695

5.27-10-3

880

5,45-Ю-з

1065

5,86-Ю-з

700

5,25-10-3

885

5.48 • Ю-з

1070

5,82- 10-3

705

5,34-Ю-з

890

5,52-10-3

1075

5,79- JO"3

710

7,11 • Ю"3

895

5,55-Ю-з

1080

5,75-10-3

715

5,05-10-3

900

5,58-Ю-з

1085

5.72-10-3

720

5,01 • JO”3

905

5,62 • 10-3

1090

5,69-Ю-з

725

4,94-10-3

910

5,65 • 10-3

1095

5.66- Ю-з

730

4,89-10-3

915

5,70-Ю-з

1100

5.69- IQ"3

735

4,90-10-3

920

5,72-Ю-з

740

4,93- IQ-3

925

5,76-10-3

Таблица 4—

Значения £(Х) для контрольного источника — ртутной лампы с люминофором типа ЛУФ

Длина волны, нм

£(Х)

Длина волны, нм

£(Х)

Длина волны, нм

£(Х)

280

2,07 • 10“*

345

9,19-10"'

410

6,31 • (О"2

285

1,18 • 10-5

350

1,000

415

9,85- Ю-з

290

1,58-10-4

355

9,75-10-'

420

6.38 - 10-3

295

8,78 • 10“4

360

8,63-10-'

425

4.11- Ю-З

300

1,81-10-3

365

8,74-10-'

430

2.84,- Ю-З

305

6,06-10-3

370

5,58-10-'

435

1,55- 10“'

310

1,86 - JO"2

375

3.98- 10"'

440

1,83- JO"3

315

6,33-10-2

380

2,70-10-'

445

1,17- Ю-З

320

1,09-10-'

385

1,78-10-'

450

9.48- Ю"4

325

2,23-10-'

390

1,14-10-'

455

7,95- Ю“4

330

3,85-10-'

395

6,99 • 10-2

460

6,36- Ю"4

335

5,83-10-'

400

4,26-10-2

465

5,53- 10~*

340

7,57-10-'

405

3,28-10-'

470

5,09- IQ"4

7

Страница 10

P 50.2.014-2001

Окончание таблицы 4

Длина волны, нм

£<Х)

Длина волны, нм

£(Х)

Длина волны, нм 1

Е (X)

475

4.63- 10~4

520

2,50-10“4

565

1,23* \0~*

480

4.24 • 10~4

525

2.67 - 10“4

570

1.13 * 10-^

485

3,92 -10"4

530

2.36- 10“4

575

9,95-10-5

490

2,67 • 10~J

535

2.35-10-4

580

3,52-10-'

495

3,61 • Ю'4

540

1,92-10"4

585

1,49-10-4

500

505

3,31 • Ю"4

545

3,74-10"‘

590

8.67-10-5

3,20* 10"4

550

5,27- Ю-4

595

7,24- (О"5

510

515

2,94- Ю"4 З.ю - Ю“4

555

560

1,51-ИГ4 1,47*10-4

600

6.96 • JO"5

Таблица 5 - Значения f (X) для контрольного источника - ртутной лампы типа ДРУФЗ

Длина волны, нм

£<Х)

Длина волны, нм

£<Х)

Длина волны, нм

£<Х)

290

295

300

305

310

315

320

1,39 -10-4

330

1,02*10"*

370

1,03- ю-*

3,59- ИГ4

335

1,28-10"*

375

5,90-10-5

1.41-Ю"5

340

2.39-10"1

380

3,38-10-5

2,06-10"4

345

2.70- 10_J

385

2.64- 10“ 5

5,34-10“5

350

3.04 • 10"J

390

6.10-10-5

2.58- 10-J 2.16-10-4

355

360

3,24 • 10"J 3.45 • 10-J

395

400

1.42-10-5 3,29- 10"4

325

4,53-10"4

365

1,000

Таблица 6 — Значения £(Х) для контрольного источника — ксеноновой лампы высокого

давления

Длина волны, нм

£W

Длина волны, нм

£(Х)

Длина волны, нм

£(Х)

200

205

210

215

220

225

230

235

240

245

250

255

260

265

8,03-10"4 6.22-10-5 2,30-Ю"4,15-Ю"9.01 • 10“1,20-10"' 1,68 10-' 1,75-ИГ1.83-10“' 1,99-10-' 2,17-Ю"2,38-10-' 2,61 • 10-' 2,79-10-'

270

275

280

285

290

295

300

305

310

315

320

325

330

335

2.98- 10-' 3,16-10-' 3.35-10"' 3,59 • 10-' 3,78 • 10“'

3.99- 10-' 4,13-10-' 4,49 • 10-' 4,88-10-' 5,22 • 10"' 5.59-10-' 5.86-10-' 6,15-10"' 6.44 • 10“'

340

345

350

355

360

365

370

375

380

385

390

395

400

6,74 • 10-' 7.01 • 10-' 7.30-10-' 7.63 10-' 7,98-10-' 8,33-10-' 8.70- 10-' 8.76- 10"' 8,82-10-'

9.07    • 10"' 9,32-10-'

1.000

8.08    10-'

Таблица 7—

Значения £(Х) для контрольного источника типа А

Длина волны, нм

£(Х)

Длина волны, им

£(Х)

Длина волны, нм

£(Х)

270

275

280

285

290

295

300

305

7,83 -ИГ4 1,03-10-5 1,33-10-5 1,68-10-5 2.09 • 10-5 2.57 • 10-5 3,13-10-5 3,75-10-5

310

315

320

325

330

335

340

345

4,49- 10-5

5.37- 10-5

6.38- 10-5 7,55-10-5 8.94 • 10-5 1,04- 10“1,21- 10-* 1,42 - IQ-2

350

355

360

365

370

375

380

385

.1:62 -10"2 1,85*10”* 2,12- КГ2.39-10"2,70 • 10-3,05- 10“3.44 • 10“3,84-10"2

8

Страница 11

P 50.2.014-2001

Окончание таблицы 7

Длина волны, нм

£(Х)

Длина волны, нм

Ш

Длина волны, нм

Е(\)

390

4,27 • 10"2

630

5,61 • 10"'

870

9.77-10-'

395

4,72 -КГ2

635

5,75-10-'

875

9,80- 10“'

400

5,21 • 10"2

640

5,88-10"'

880

9.82-10-'

405

5,74-10~2

645

6,01 • ю-'

885

9.85-I0"1

410

6,33 • ю-2

650

6.14-10-'

890

9,87-10-'

415

6,90 • 10“2

655

6,27-10"'

895

9,89-10-'

420

7,56 • 10“2

660

6,39-10-'

900

9.91 • 10"'

425

8,20 • 10-2

665

6,52 • 10"'

905

9,93-10-'

430

8,90 • 10-2

670

6.64-10-'

910

9,95- 10"'

435

9,68 • 10"2

675

6,76 • 10-'

915

9,96- 10-'

440

1,05 -10-»

680

6,88 • 10-'

920

9,97 -10-'

445

1,13- ИГ1

685

7.00- Ю"1

925

9.98 10-'

450

1,21 • 10"'

690

7,12-10-'

930

9,98 • 10-'

455

1,30-10"1

695

7.24-10-'

935

9,99-10-'

460

1,39 -10-1

700

7,35-10-'

940

9,99-10-'

465

1,48 • 10“'

705

7.46 • 10"'

945

1,000

470

1,58 • 10“»

710

7,57-10-'

950

1,000

475

1,68 ЧО"1

715

7,68 • 10"'

955

1.000

480

1,78 -Ю"'

720

7,78-10-'

960

9.99-10-'

485

1,88-10-'

725

7,88-10-'

965

9,99-10-'

490

1,99 * 10“*

730

7,98 • 10-'

970

9,98-10-'

495

2,10-10-'

735

8.07-10-'

975

9.98 -10"'

500

2.22-10-'

740

8,16-10-'

980

9.97-10-'

505

2,33-10-'

745

8,25-10-'

985

9,96 - 10"'

510

2,45-10-'

750

8,34-10"'

990

9,96- 10"'

515

2,57-10-'

755

8,42 • 10-'

995

9.95 - 10-'

520

2,69-10-'

760

8,51 • 10-'

1000

9,94 - 10"'

525

2,81 •10"'

765

8,59-10-'

1005

9,93- 10-'

530

2,94-10-'

770

8,67-10-'

1010

9,91 • 10-'

535

3,07 • 10"'

775

8,75-10-'

1015

9,89- 10"'

540

3,20-10"'

780

8,83-10-'

1020

9,88- 10"'

545

3,33-10-'

785

8,90-10-'

1025

9,86- 10-'

550

3,46-10-'

790

8,97-10"'

1030

9,83-10-'

555

3,59-10-'

795

9,04 * 10-'

1035

9,81 • 10"'

560

3,72-10-'

800

9,11 • 10-'

1040

9,79-10-'

565

3,86-10-'

805

9,18-10-'

1045

9.77-10-'

570

3,99-10-'

810

9,24-10-'

1050

9,74-10-'

575

4,12-10-'

815

9,30 • 10"'

1055

9,71 • 10"'

580

4,26-10-'

820

9,35-10-'

1060

9,68-10-'

585

4,39-10-'

825

9,40-10-'

1065

9,65-10-'

590

4.52-10-'

830

9,45-10-'

1070

9,62-10-'

595

4,66-10-'

835

9,50-10-'

1075

9,59 - 10"'

600

4,79- 10"'

840

9.54-10"'

1080

9,56-10-'

605

4.93 -10-'

845

9,59 10-'

1085

9,53 - 10"'

610

5,07 • 10-'

850

9,63-10-'

1090

9.50- 10-'

615

5,21 • 10-'

855

9,67 • 10-'

1095

9.47 * 10-'

620

5,34-10"'

860

9,70-10-'

1100

9,43-10-'

625

5,48 • 10-'

865

9,74 • 10-'

8.4.2 Определение погрешности радиометров (спектрорадиометров) УФ излучения технологических источников, возникающей из-за неидеальной коррекции спектральной чувствительности, проводят при периодической поверке по контрольным источникам излучения в УФ, видимом и ИК диапазонах длин волн от 0,2 до 1,1 мкм.

В основном УФ диапазоне длин волн от 0,315 до 0,400 мкм измерения проводят с использованием в качестве контрольных источников излучения — ртутных ламп типов ЛУФ-40, ДРТ-250 и

9

Страница 12

ДРУФЗ-125, ксеноновой лампы типа ДКсТ-120, накальной лампы типа КГМ-12-100. При этом эталонный и поверяемый УФ радиометры (спектрорадиометры) поочередно устанавливают на оптической скамье на расстоянии не более 1 м от каждого из источников излучения и юстируют по углу для достижения максимального сигнала. Измерения сигналов поверяемого и эталонного радиометров (спектрорадиометров) проводят 5 раз для каждого контрольного источника и определяют среднеарифметическое значение разности сигналов и СКО результатов измерений. Разница показаний поверяемого и эталонного радиометров (спектрорадиометров) для каждого контрольного источника не должна превышать 5 %.

В видимом и ИК диапазонах длин волн от 0,4 до 1,1 мкм в качестве контрольного источника излучения используется лампа типа КГМ-12-100 со светофильтром типа ЖС-4. Расстояние от источника излучения до поверяемого радиометра (спектрорадиометра) составляет не менее 0,3 м. Регистрация сигнала поверяемого прибора / указывает на наличие нескорригированной чувствительности в видимом и ИК диапазонах длин волн Syu, определяемой отношением - I / Еып.

К применению допускают радиометры (спектрорадиометры) УФ излучения технологических источников, для которых значение SV(f не превышает 5 • 10~3.

8.4.3    Определение погрешности абсолютной чувствительности радиометров (спектрорадиометров) УФ излучения технологических источников в диапазоне длин волн УФ-А проводят с использованием ксеноновой лампы типа ДКсШ-120.

На расстоянии не более 1 м от лампы на оптической скамье поочередно устанавливают эталонный радиометр (спектрорадиометр) и поверяемый прибор. Измерения сигналов эталонного /° и поверяемого прибора / проводят поочередно 5 раз. Значение абсолютной чувствительности поверяемого прибора 5 рассчитывают по формуле

S=S°f/f°,    (5)

где S° — значение абсолютной чувствительности эталонного прибора.

Определяют среднеарифметическое значение абсолютной чувствительности поверяемого прибора, суммарное СКО результата измерений с учетом погрешности эталонного радиометра (спектрорадиометра) по формулам (2), (3). Предельная погрешность определения абсолютной чувствительности 02 не должна превышать 4 %.

8.4.4    Измерение коэффициента линейности радиометра (спектрорадиометра) УФ излучения технологических источников проводят для определения границ диапазона измерений ЭО. Коэффициент линейности определяют по отклонению чувствительности радиометра (спектрорадиометра) от постоянного значения в рабочем диапазоне измеряемой величины. На оптической скамье устанавливают два источника УФ излучения — лампы типа ДКсШ-120. Расстояние между поверяемым радиометром (спектрорадиомстром) и источниками излучения выбирают таким образом, чтобы показания радиометра (спектрорадиометра) соответствовали нижней границе диапазона измерений ЭО, указанной в паспорте поверяемого прибора и составляли для радиометра (спектрорадиометра) УФ излучения технологических источников не более 1 Вт/мг. Регистрируют показания поверяемого радиометра (спектрорадиометра) от каждого из двух излучателей /, и /2 и суммарный сигнал /j. от двух излучателей. Измерения проводят поочередно 5 раз с использованием экранирую-ших заслонок. Определяют среднеарифметическое значение измеренных сигналов, СКО суммарное СКО результатов измерений, рассчитывают коэффициент линейности К, равный /£/ (/,+ /2), и погрешность радиометра (спектрорадиометра) 0,, вызванную отклонением чувствительности радиометра (спектрорадиометра), равную 100 | К — 1|.

При определении границ диапазона измерений ЭО поверяемого радиометра (спектрорадиометра) расстояние от источников излучения до прибора уменьшают таким образом, чтобы значение энергетической освешенности от каждого источника излучения увеличилось на порядок. Измеряют сигналы /,, /2, /£ и рассчитывают соответствующее значение погрешности 0j. Измерения повторяют каждый раз с увеличением значения энергетической освещенности на порядок до достижения верхней границы диапазона измерений, указанной в паспорте поверяемого прибора и составляющей для радиометра (спектрорадиометра) технологических источников не менее 1000 Вт/м2. По результатам измерений определяют границы диапазона энергетической освещенности поверяемого радиометра (спектрорадиометра), в пределах которого значение погрешности ©j не превышает 4 %.

8.4.5    При измерении угловой зависимости чувствительности радиометра (спектрорадиометра) УФ излучения технологических источников от угла падения потока излучения измерительный блок

10

Страница 13

P 50.2.014-2001

поверяемого радиометра (спектрорадиометра) устанавливают на неподвижное плечо гониометра типа ГС-5, на подвижное плечо гониометра устанавливают источник излучения — лампу типа ДКсШ-120. Регистрируют показания /(ф) поверяемого радиометра (спектрорадиометра) в зависимости от угла падения потока излучения ф в пределах от 0’ до 85* с шагом 5*. Показания прибора /(ф) для угла ф нормируют на показание прибора /(ф0) при нормальном угле падения ф0 потока излучения. Рассчитывают угловую зависимость /(ф) отклонения относительной чувствительности радиометра (спектрорадиометра) от функции cos ф по формуле

/(Ф)- 100{/(9)/[/(9o)cosVJ- 1).    (6)

Косинусную погрешность радиометра (спектрорадиометра) 04 в процентах рассчитывают по формуле

©4 * ||/(ф)|яп2ф</ф.    (7)

о*

Косинусную погрешность 04, рассчитывают с использованием специально разработанных компьютерных программ. Значение 04 нс должно превышать 4 %.

При превышении указанного значения косинусной погрешности допускается ограничивать угол зрения радиометра (спектрорадиометра) УФ излучения технологических источников с указанием в паспорте прибора значения угла зрения и поправочных коэффициентов, учитывающих угловые размеры излучателя.

8.4.6 Обработку результатов измерений характеристик радиометров (спектрорадиометров) УФ излучения технологических источников и определение основной относительной погрешности проводят в соответствии с ГОСТ 8.207.

8.4.6.1    Оценку относительного среднеквадратического отклонения 50 результатов измерений для п независимых измерений проводят по формуле (2).

СКО 50 определяется по результатам измерений в соответствии с 8.4.1 и не должно превышать 1 % в динамическом диапазоне от 1 до 1000 Вт/м2 для средств измерений энергетической освещенности УФ излучения технологических источников.

8.4.6.2    Границу относительной неисключенной систематической погрешности 0О определяют по формуле

во = U [iejj .    (8)

Источниками неисключенной систематической прогрешности являются:

0, — погрешность спектральной коррекции (0, £5 % — по 8.4.1, 8.4.2);

©2 — погрешность определения абсолютной чувствительности (02 <, 4 % — по 8.4.3);

©з — погрешность, определяемая коэффициентом линейности (03 £4 % — по 8.4.4);

04 — погрешность, вносимая нестандартной угловой зависимостью радиометра (04 й 4 % — по 8.4.5).

Граница относительной неисключенной систематической погрешности средств измерений энергетической освещенности УФ излучения технологических источников не должна превышать 10 %.

8.4.6.3    Предел допускаемой основной относительной погрешности \ рассчитывают по формуле

A0 = KS4 = К

где К — коэффициент, определяемый соотношением случайной и неисключенной систематической погрешностей.

Так как для радиометра (спектрорадиометра) УФ излучения технологических источников 0О > 850, то случайной погрешностью по сравнению с систематической пренебрегают и принимают

4> = ©о-

105/з + .у$

(9)

Страница 14

8.4.6.4 Результаты поверки средств измерений энергетической освещенности УФ излучения технологических источников считаются положительными, если предел допускаемой основной относительной погрешности не превышает 10 %.

9 Оформление результатов поверки

9.1    При положительных результатах поверки выдают свидетельство о государственной поверке по ПР 50.2.006.

9.2    При отрицательных результатах поверки свидетельство аннулируют и выдают извещение о непригодности радиометра (спектрорадиометра) по ПР 50.2.006.

ПРИЛОЖЕНИЕ А (обязательное)

Характеристики средств измерений

А.1 Радиометры УФ излучения технологических источников используются для измерения энергетической освещенности (ЭО) в единицах — ватт на квадратный метр (Вт/м2) в диапазоне длин волн УФ-А (0,315+0,400 мкм) в соответствии с ГОСТ 8.552. Значение энергетической освещенности £А определяется по формуле

0.400

A J £(Х)</Х,

0Д15

(А.1)

где А — безразмерный коэффициент;

X — длина волны, мкм;

£(Х) — спектральная плотность энергетической освещенности (СПЭО).

В соответствии с формулой (А.1) статшартная спектральная чувствительность (X) радиометров УФ излучения технологических источников должна быть постоянной в диапазоне длин волн УФ-А и равной нулю — вне диапазона, так что показания радиометра пропорциональны измеряемому значению энергетической освещенности.

А.2 Спсктрорадиомстры УФ излучения технологических источников предназначены для измерения СПЭО в единицах — ватт на кубический метр (Вт/м3). Значения ЭО в диапазоне УФ-А определяют интегрированием СПЭО по длинам волн в соответствии с формулой (А.1). Спетрорадиомстры позволяют также оценить эффективную освещенность EetT интегрированием СПЭО по длинам волн с учетом спектрального коэффициента относительной фотохимической эффективности УФ ихтучения Afefr(X) технологических источников по формуле

EefT = А */£ (X) КеП (Х)</ X. ОД

(А.2)

ПРИЛОЖЕНИЕ Б (справочное)

Библиография

12

[ 1) ИСО 3059—74. Методы неразрушающего контроля

(2) Правила технической эксплуатации электроустановок потребителей. М., 1986

Страница 15

P 50.2.014-2001

УДК 543.52:535.214.535.241:535.8.006:354    ОКС 17.020    Т84.10    ОКСТУ0008

17.240

Ключевые слова: энергетическая освещенность, спектральная чувствительность, средства измерений, ультрафиолетовое излучение, радиометр, спектрорадиометр, технологический источник

Страница 16

РЕКОМЕНДАЦИИ ПО МЕТРОЛОГИИ Государственная система обеспечения единства измерений

СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ ХАРАКТЕРИСТИК УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ ПРИ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОМ КОНТРОЛЕ В ДЕФЕКТОСКОПИИ, ПОЛИГРАФИИ

И ФОТОЛИТОГРАФИИ

Методика поверки

БЗ 2-2001/2

Редактор Т. С. Шеко Технический редактор Л. А. Гусева Корректор Н. И. Гавр и щу к Компьютерная верстка А. П. Финогеновой

Им. ли и. Ni 02354 от 14.07.2000. Сдано в набор 18.12.2001. Подписано в печать 07.02.2002. Уел. печ. л. 1,86. Уч.-им. л. 1.60.

Тираж 265 экз. С 3843. Им. № 2825/4 Зак. 119.

ИПК Издательство стандартов, 107076 Москва. Колодезный пер., 14. http://www.standards.ru e-mail: info^standards.ru Набрано в Калужской типографии стандартов на ПЭВМ. Калужская типография стандартов. 248021 Калуга, ул. Московская. 256. ПЛР Hi 040138