|
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
7 |
8 |
9 |
|
|
|
Vli |
1463.37 |
1036.59 |
283.00 |
13.23 |
143.78 |
|
|
via |
146)0,77 |
1036,59 |
280.79 |
13,23 |
143,39 |
|
Vic |
1463,37 |
1036,59 |
283,00 |
13,23 |
143.78 |
|
Vila |
1460,58 |
1036,59 |
278,53 |
13,23 |
145,46 |
|
VIIG |
1460,87 |
1036,59 |
278.82 |
13,23 |
145.46 |
|
Таблица 32-01-021. Оборудование для эпитаксии
Итмсригсть: 1 итмнл. |
|
У с шпонка |
|
32-01-021-01 |
выращивания эпитаксиальных струпур i ндрндним методом при пониженном давлении, СВЧ обогревом |
III |
2008,45 |
1405,44 |
385,70 |
24,98 |
217,31 |
144 |
|
lu |
2635.53 |
1 %7.04 |
418.85 |
34.97 |
249.64 |
2.84 |
|
16 |
2257.66 |
1615.68 |
400,21 |
28.73 |
241,77 |
|
Ib |
2349,26 |
1686Д4 |
401.% |
29.97 |
261.06 |
|
Ir |
2362.78 |
1686.24 |
415.48 |
29,97 |
261,06 |
|
U |
2033,45 |
1405.44 |
392,98 |
24.98 |
235.03 |
|
Ila |
2023,53 |
1405,44 |
385,70 |
24,98 |
232,39 |
|
П6 |
2056,18 |
1405,44 |
379,73 |
24,98 |
271,01 |
|
Ilia |
2008,63 |
1405,44 |
.385,70 |
24,98 |
217,49 |
|
IVa |
2030.72 |
1405.44 |
384.37 |
24.98 |
240.91 |
|
IV6 |
2254,87 |
1615,68 |
394,08 |
28,7.3 |
245,11 |
|
V |
2011.51 |
1405.44 |
388.58 |
24,98 |
217,49 |
|
Via |
2040.85 |
1405.44 |
389,78 |
24,98 |
245.63 |
|
VI6 |
2020.31 |
1405.44 |
380.20 |
24.98 |
234.67 |
|
VIb |
2019.34 |
1405.44 |
383,41 |
24.98 |
230.49 |
|
VIi |
2025.81 |
1405.44 |
385.70 |
24.98 |
2.34.67 |
|
via |
2019.34 |
1405.44 |
383.41 |
24.98 |
230.49 |
|
Vic |
2025.81 |
1405.44 |
385.70 |
24.98 |
234.67 |
|
Vila |
2027.22 |
1405.44 |
379.73 |
24.98 |
242.05 |
|
VII6 |
2027.69 |
1405.44 |
380.20 |
24.98 |
242.05 |
|
32-01-021-02 |
>■ 1и такс юлыюго наращивания пленок монокрис I атлов |
III |
5132,62 |
3424,72 |
989,21 |
58,86 |
718,69 |
356 |
|
la |
6681,69 |
4795,32 |
1062.81 |
82.40 |
823.56 |
8 |
|
16 |
5763,62 |
3937,36 |
1021.12 |
67,71 |
805,14 |
|
Ib |
6024,09 |
4108,24 |
1025.52 |
70,63 |
890,33 |
|
Ir |
6055,99 |
4108Д4 |
1057,42 |
70,63 |
890,33 |
|
1д |
5214,14 |
3424.72 |
1007,51 |
58,86 |
781,91 |
|
Ila |
5191,88 |
.3424,72 |
989,21 |
58,86 |
777,95 |
|
116 |
5283,65 |
.3424,72 |
977,25 |
58,86 |
881,68 |
|
Ilia |
5132,89 |
3424,72 |
989,21 |
58,86 |
718,% |
|
IVa |
5230,07 |
.3424,72 |
987,14 |
58,86 |
818.21 |
|
IV6 |
5773.73 |
3937,36 |
1007,90 |
67.71 |
828.47 |
|
V |
5139.68 |
3424,72 |
9%,00 |
58,86 |
718,% |
|
Via |
5241.72 |
.3424.72 |
1000.87 |
58.86 |
816,13 |
|
VI6 |
5184.41 |
.3424.72 |
978.32 |
58.86 |
781.37 |
|
VIb |
5166.46 |
.3424.72 |
984.% |
58.86 |
756.78 |
|
VIi |
5195.30 |
.3424.72 |
989.21 |
58.86 |
781.37 |
|
Via |
5166.46 |
.3424.72 |
984.% |
58.86 |
756.78 |
|
Vic |
5195.30 |
.3424.72 |
989.21 |
58.86 |
781,37 |
|
Vila |
5221.89 |
.3424.72 |
977.25 |
58.86 |
819.92 |
|
VU6 |
5222.% |
3424.72 |
978.32 |
58.86 |
819,92 |
|
32-01-021-03 |
наращивания
»ни такс налы сых слоев |
III |
3581,16 |
2035,14 |
855,12 |
51.57 |
690,90 |
214 |
|
la |
4552,11 |
2848.34 |
919,15 |
72 Д0 |
784,62 |
7 |
|
16 |
3997,20 |
2.341.16 |
882.8.3 |
59,32 |
773Д1 |
|
Ib |
4185,68 |
2441,74 |
886,94 |
61,88 |
857,00 |
|
Ir |
4213,20 |
2441,74 |
914,46 |
61,88 |
857,00 |
|
la |
.3660,39 |
2035,14 |
871,1.3 |
51,57 |
754,12 |
|
Ila |
3640,42 |
2035,14 |
855.12 |
51.57 |
750,16 |
|
П6 |
3733.49 |
2035,14 |
844,46 |
51.57 |
853,89 |
|
Ilia |
3581.43 |
2035,14 |
855.12 |
51.57 |
691.17 |
|
IVa |
3679.07 |
2035.14 |
853,51 |
51.57 |
790,42 |
|
IV6 |
4009.23 |
2341.16 |
871.53 |
59.32 |
7%. 54 |
|