|
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
7 |
8 |
9 |
|
|
|
Хг |
1687.07 |
1243.69 |
302.42 |
15.88 |
140.96 |
|
|
Х1а |
1820,38 |
1347,24 |
306,46 |
1720 |
166.68 |
|
XI6 |
1820.38 |
1347,24 |
306,46 |
1720 |
166.68 |
|
Х1в |
1820,91 |
1347,24 |
306,99 |
1720 |
166,68 |
|
Х1г |
1820,38 |
1347,24 |
306,46 |
1720 |
166.68 |
|
Таблица 32-01-021. Оборудование для эпитаксии
Итмсритсть: 1 ыпмнл. |
|
У с шпонка |
|
32-01-021-01 |
выращивания эпитаксиальных струпур ымридным методом при пониженном давлении, СВЧ обогревом |
Villa |
2233.91 |
1615.68 |
383.54 |
28.73 |
234.69 |
144 |
|
VII16 |
2268.01 |
1615.68 |
388.34 |
28.73 |
263,99 |
2.84 |
|
VIIIb |
2266.60 |
1615.68 |
402.69 |
28.73 |
248.23 |
|
VUIr |
2266.60 |
1615.68 |
402.69 |
28.73 |
248.23 |
|
VlIIc |
2257,03 |
1615.68 |
393,12 |
28.73 |
248,23 |
|
Vim |
2283.18 |
1615.68 |
403,51 |
28.73 |
263.99 |
|
IXa |
2174,99 |
1615,68 |
374,80 |
28,73 |
184.51 |
|
1X6 |
2198.70 |
1615,68 |
384,37 |
28,73 |
198,65 |
|
IXr |
2203,70 |
1615,68 |
403,51 |
28,73 |
184,51 |
|
IXr |
2429.31 |
1827,36 |
41320 |
32,47 |
188.75 |
|
1Хд |
2278,89 |
1686,24 |
406,73 |
29,97 |
185,92 |
|
IXc |
2203.70 |
1615,68 |
403.51 |
28.73 |
184.51 |
|
Xa |
2264,83 |
1686.24 |
406,73 |
29.97 |
171.86 |
|
X6 |
2264.83 |
168624 |
406,73 |
29.97 |
171.86 |
|
Xb |
2454.02 |
1827.36 |
422,77 |
32.47 |
203.89 |
|
Xr |
2303.61 |
168624 |
416.31 |
29.97 |
201.06 |
|
Xla |
2520.50 |
1827,36 |
421,95 |
32.47 |
271.19 |
|
XI6 |
2520.50 |
1827.36 |
421.95 |
32.47 |
271.19 |
|
X1b |
2521.32 |
1827.36 |
422.77 |
32.47 |
271.19 |
|
Xh |
2520.50 |
1827.36 |
421.95 |
32.47 |
271.19 |
|
32-01-021-02 |
и 1и такс налы того наращивания пленок монокрис I аттов |
Villa |
5687.85 |
3937,36 |
983,45 |
67,71 |
767,04 |
356 |
|
VII16 |
5862.03 |
3937.36 |
994.60 |
67,71 |
930.07 |
8 |
|
VIIIb |
5798,78 |
3937,36 |
102827 |
67,71 |
833,15 |
|
Villi |
5798.78 |
3937,36 |
102827 |
67,71 |
833,15 |
|
VlIIc |
5776,23 |
3937,36 |
1005,72 |
67,71 |
833,15 |
|
vim |
5897,47 |
3937,36 |
1030,04 |
67,71 |
930,07 |
|
IXa |
5417,75 |
3937,36 |
962,66 |
67,71 |
517,73 |
|
1X6 |
5534,79 |
3937,36 |
985,21 |
67,71 |
612,22 |
|
IXr |
5485,13 |
3937,36 |
1030.04 |
67.71 |
517,73 |
|
IXr |
6032,36 |
4453,56 |
1050,75 |
76,52 |
528,05 |
|
1Хд |
5666.30 |
410824 |
1036.92 |
70,63 |
521,14 |
|
IXc |
5485,13 |
3937,36 |
1030,04 |
67,71 |
517,73 |
|
Xa |
5636.05 |
410824 |
1036,92 |
70.63 |
490.89 |
|
X6 |
5636.05 |
410824 |
1036.92 |
70.63 |
490.89 |
|
Xb |
6113.98 |
4453.56 |
1073,02 |
76.52 |
587.40 |
|
Xi |
5747.92 |
410824 |
1059.19 |
70.63 |
580.49 |
|
Xla |
6423.84 |
4453.56 |
107125 |
76.52 |
899.03 |
|
XI6 |
6423.84 |
4453.56 |
107125 |
76.52 |
899.03 |
|
XIb |
6425.61 |
4453.56 |
1073.02 |
76.52 |
899,03 |
|
XIi |
6423.84 |
4453,56 |
107125 |
76.52 |
899,03 |
|
32-01-021-03 |
НЛрШЦИНаНИЯ «пигаксиан.ных слоев |
Villa |
3926.56 |
2.341.16 |
850.29 |
59.32 |
735.11 |
214 |
|
VII16 |
4099,28 |
2.341,16 |
859,98 |
59,32 |
898,14 |
7 |
|
VIIIb |
4031,53 |
2.341.16 |
889,15 |
59,32 |
801,22 |
|
VIHr |
4031.53 |
2.341,16 |
889,15 |
59,32 |
801,22 |
|
VlIIc |
4012,01 |
2.341,16 |
869,63 |
59,32 |
801,22 |
|
vim |
4130,10 |
2341,16 |
890,80 |
59,32 |
898,14 |
|
IXa |
.3659.38 |
2.341.16 |
832,42 |
59.32 |
485.80 |
|
1X6 |
3773.39 |
2341.16 |
851,94 |
59,32 |
580,29 |
|
IXb |
3717.76 |
2.341,16 |
890,80 |
59.32 |
485.80 |
|
IXr |
4045,71 |
2645,04 |
908,79 |
67.04 |
491.88 |
|
1Хд |
3826.33 |
2441.74 |
896.78 |
61.88 |
487.81 |
|