МИНИСТЕРСТВО ПРОМЫШЛЕННОСТИ И ГОРГОИЛИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ (Госстандарт)

ПРИКАЗ

22 октября 2018 г.    _№    2221

Москва

Об утверждении государственной поверочной схемы дли средств измерений эллипсометрических углов

В соответствии с Положением об эталонах единиц величин, используемых в сфере государственного регулирования обеспечения единства измерений, утвержденным постановлением Правительства Российской Федерации от 23 сентября 2010 г. № 734 «Об эталонах единиц величин, используемых в сфере государственного регулирования обеспечения единства измерений», Временным порядком разработки (пересмотра) и утверждения государственных поверочных схем, утвержденным приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 31 августа 2017 г. № 1832, а также на основании Плана разработки (пересмотра) и утверждения государственных поверочных схем на 2018 г., утвержденного приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 29 декабря 2017 г. № 3021,приказываю:

1.    Утвердить прилагаемую Государственную поверочную схему для средств измерений эллипсометрических углов (далее - ГПС).

2.    Установить, что ГПС применяется для Государственного первичного эталона единиц эллипсометрических углов (ГЭТ 186-2017), средств измерений эллипсометрических углов Дельта в диапазоне от 0° до 360°, углов ПСИ от 0° до 90° и вводится в действие с 1 января 2019 г.

3.    Управлению технического регулирования и стандартизации (Д.А.'Гощсв) обеспечить прекращение применения в качестве национальное стандарта Российской Федерации межгосударственного стандарта ГОСТ 8.605-2011 «Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений эллипсометрических углов».

4.    ФГУП «ВНИИФТРИ» (С.И.Донченко) внести информацию об утверждении ГПС в Федеральный информационный фонд по обеспечению единства измерений.

УТВЕРЖДЕНА приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от «22» октября 2018 г. № 2221

ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИХ УГЛОВ

1.    Область применения

Государственная поверочная схема для средств измерений эллипсометрических углов Дельта Л и Пси ¥ (А - разность фаз между двумя ортогональными р- и ^-компонентами вектора напряженности электрического поля световой волны, отраженной или прошедшей через исследуемый объект, tg¥ - отношение амплитуд р- и л-компонент вектора напряженности электрического поля световой волны) и средств измерений пространственного распределения эллипсометрических углов Д(х,у) и ¥(х,у) в декартовой системе координат (х,у) для оптического излучения в видимой области спектра устанавливает назначение государственного первичного эталона единиц эллипсометрических углов - градуса, комплекс основных средств измерений, входящих в его состав, основные метрологические характеристики эталона и порядок передачи единиц эллипсометрических углов от государственного первичного эталона с помощью рабочих эталонов 1-го разряда средствам измерений с указанием погрешностей и основных методов передачи единиц.

Графическая часть Государственной поверочной схемы для средств измерений эллипсометрических углов представлена в приложении А.

2.    Сокращения и обозначения

В настоящем документе использованы следующие сокращения:

ГПЭ - государственный первичный эталон;

СКО -среднее квадратическое отклонение;

НСП - нсисключенная систематическая погрешность.

3.    Государственный первичный эталон

3.1    ГПЭ единиц эллипсометрических углов ГЭТ 186-2017 предназначен для воспроизведения, хранения единиц эллипсометрических углов Дельта А и Пси ¥, пространственного распределения эллипсометрических углов Д(х,у) и ¥(х,у) и передачи единиц эллипсометрических углов при помощи рабочих эталонов 1-го разряда средствам измерений.

3.2    ГПЭ состоит из комплекса следующих средств измерений:

3.2.1    Эталонной установки для воспроизведения, хранения и передачи единиц эллипсометрических углов, в состав которой входят:

спектральный эллипсометр;

эталонные меры эллипсометрических углов А и ¥ в виде эллипсометрических пластинок - кремниевых пластинок с пленкой из двуокиси кремния различной толщины;

эталонные меры эллипсометрического угла А в виде четверть -и полуволновых фазовых пластинок нулевого порядка для контроля стабильности эталона.

3.2.2    Эталонной установки для воспроизведения, хранения и передачи единиц пространственного распределения эллипсометрических углов А(х,у) и ¥(х,у) в декартовой системе координат (х,у), в состав которой входят:

спектральный эллипсометрический комплекс с двух координатной системой позиционирования эталонной меры пространственного распределения

эллипсометрических углов Д(х,у) и У(х,у);

эталонная мера пространственного распределения эллипсометрических углов Д(х,у) и У(х,у) в виде эллипсометрической пластинки в специальном ложементе с координатной привязкой;

интерференционный профилометр для измерения формы поверхности меры пространственною распределения эллипсометрических углов Д(х,у) и У(х,у) в виде эллипсометрической пластинки в специальном ложементе с координатной привязкой.

3.3    Диапазон значений эллипсометрического угла Д, воспроизводимых эталоном, составляет от 0° до 360°. Диапазон значений эллипсометрического угла У, воспроизводимых эталоном, составляет от 0° до 90°. Пространственный диапазон области воспроизведения пространственного распределения эллипсометрических углов Д(х,у) и У(х,у) (диаметр поля зрения) 30 мм. Диапазон измерений топограммы высот профиля поверхности от 0,006 мкм до 20,000 мкм.

3.4    ГПЭ обеспечивает воспроизведение:

3.4.1    Единицы эллипсометрического угла Д с СКО результатов измерений S(А) не более 0,02° при 50 независимых измерениях. Границы НСП 0(A) не более 0,05°. Расширенная неопределенность (/_Р(Д) не более 0,08° для коэффициента охвата 2 и доверительной вероятности Р = 0,95 при 50 независимых измерениях.

3.4.2    Единицы эллипсометрического угла У с СКО результатов измерений S(T) не более 0,01° при 50 независимых измерениях. Границы НСП &(¥) не более 0,03°. Расширенная неопределенность (/_р(У0 не более 0,06° для коэффициента охвата 2 и доверительной вероятности Р = 0,95 при 50 независимых измерениях.

3.5    Предел допускаемой абсолютной погрешности измерений координат (х,у) при воспроизведении единиц пространственного распределения эллипсо.метрических углов Д(х,у) и У(х,у) составляет 100 мкм.

3.6    Предел допускаемой абсолютной погрешности измерения топограммы высот профиля поверхности 0,006 мкм.

3.7    Для обеспечения воспроизведения единиц эллипсометрических углов с указанной точностью следует соблюдать правила хранения и применения эталона, утвержденные в установленном порядке.

3.8    ГПЭ применяют для передачи единиц эллипсометрических углов рабочим эталонам 1-го разряда методом прямых измерений.

4. Рабочие эталоны 1-го разряда

4.1 В качестве рабочих эталонов 1-го разряда применяют:

меры эллипсометрических углов Д и У в виде эллипсометрических пластинок - кремниевых пластинок с пленкой из двуокиси кремния различной толщины - в диапазонах эллипсометрического угла Д от 0° до 360° и эллипсо.метрическою угла У от 0° до 90°;

меры пространственного распределения эллипсометрических углов Д(х,у) и У(х,у) в виде эллипсомстрнческой пластинки в специальном ложементе с

координатной привязкой в диапазонах эллипсометрического угла Л от 0° до 360° и эллипсометрического угла У от 0° до 90°;

меры эллипсометрического угла Д в виде эллипсометрических фазовых пластинок в диапазоне от 0° до 360°.

4.2    Доверительные абсолютные погрешности рабочих эталонов 1-го разряда 8 при доверительной вероятности 0,95 составляют для эллипсометрического угла Д от 0,08° до 0,2° и для эллипсометрического угла У от 0,05° до 0,1 °.

4.3    Рабочие эталоны 1-го разряда применяют для передачи единиц средствам измерений в виде отображающих эллипсометров, эллипсометров, полярископов-поляриметров и компенсаторов методом прямых измерений.

5. Средства измерений

В качестве средств измерений применяют:

5.1    Отображающие эллипсомстры    с диапазонами    измерений

эллипсометрического угла Д от 0° до 360° и эллипсометрического угла ¥ от 0° до 90°.

Пределы допускаемой абсолютной    погрешности Д_д    измерений

составляют для эллипсометрического угла Д от 0,09° до 0,5°.

Пределы    допускаемой    абсолютной    погрешности    Д*    для

эллипсометрического угла У от 0,06° до 0,3°.

5.2    Эллипсометры с диапазонами измерений эллипсометрического угла Д от 0° до 360° и эллипсометрического угла Ч* от 0° до 90°.

Пределы допускаемой абсолютной    погрешности Д_д    измерений

составляют для эллипсометрического угла Д от 0,09° до 0,5°.

Пределы    допускаемой    абсолютной    погрешности    Дч»    для

эллипсометрического угла от 0,06° до 0,3°.

5.3    Полярископы-поляриметры с диапазоном измерений эллипсометрического угла Д от 0° до 360°.

Предел допускаемой абсолютной погрешности Д_д измерений эллипсометрического угла Д от 0,1° до 2,0°.

5.4    Компенсаторы с диапазоном измерений эллипсометрического угла Д от 0° до 10800°.

Предел допускаемой абсолютной погрешности Д_д измерений эллипсометрического угла Д от 1,0° до 6,0°.