Настоящий международный стандарт распространяется на вакуумметры и определяет термины, относящиеся к ионизационным вакуумметрам с горячим катодом, приводит параметры, предоставляемые изготовителями ионизационных вакуумметров с горячим катодом и неопределенности измерений, которые следует учитывать при эксплуатации этих вакуумметров

 

26 страниц

Опубликован 30.11.2009

Vacuum technology -- Vacuum gauges -- Specifications for hot cathode ionization gauges