ISO 25178-603:2013
Геометрические характеристики изделий (GPS). Структура поверхности: Ареал. Часть 603. Номинальные характеристики неконтактных инструментов (инферометрическая микроскопия с фазовращением)

 

36 страниц

Опубликован 25.09.2013

Geometrical product specifications (GPS) -- Surface texture: Areal -- Part 603: Nominal characteristics of non-contact (phase-shifting interferometric microscopy) instruments