ISO 21360-4:2018
Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов. Часть 4. Турбомолекулярные вакуумные насосы

 

18 страниц

Опубликован 31.07.2018

Vacuum technology -- Standard methods for measuring vacuum-pump performance -- Part 4: Turbomolecular vacuum pumps