ISO 20341:2003
Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия с применение вторичного йона. Метод оценки параметров по глубине разрешения с множественными дельта-слойными эталонными материалами

 

11 страниц

Опубликован 31.07.2003

Surface chemical analysis -- Secondary-ion mass spectrometry -- Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials