ISO 18516:2006
Поверхностный химический анализ. Электронная спектроскопия Оже и рентгенографическая фотоэлектронная спетроскопия. Определение разрешения в поперечном напрапвлении

Заменен на ISO 18516:2019
 

32 страницы

Завершение срока действия 14.01.2019
Опубликован 19.10.2006

Surface chemical analysis -- Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy -- Determination of lateral resolution