ISO 17109:2015
Поверхностный химический анализ. Профилирование по глубине. Метод определения скорости напыления с помощью рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии, Оже-электронной спектроскопии и вторично-ионной масс-спектрометрии при профилировании по глубине распыления с использованием однослойных и многослойных тонких пленок