ISO 16129:2018 Химический анализ поверхности. Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия. Методы ежедневной оценки характеристик рентгеновского фотоэлектронного спектрометра
Surface chemical analysis -- X-ray photoelectron spectroscopy -- Procedures for assessing the day-to-day performance of an X-ray photoelectron spectrometer
