Данная часть ISO 16000 устанавливает метод для отбора проб и анализа сложных эфиров фосфорной кислоты в воздухе замкнутых помещений и в воздухе испытательной камеры с помощью газовой хроматографии/масс-спектрометрии. Описаны оба основных метода масс-спектрометрии: с низкой разрешающей способностью высокой разрешающей способностью. Методы, описанные в данной части ISO 16000, не подходят для определения сложных эфиров фосфорной кислоты в материалах.
ISO 16000-6 можно применить для определения более летучих соединений, подпадающих под этот стандарт.