ISO 14706:2014 Химический анализ поверхности. Определение загрязнения химическими элементами поверхности кремниевых пластин методом рентгенофлуоресцентной спектроскопии полного отражения (TXRF)
Surface chemical analysis -- Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
