ISO 14701:2011
Химический анализ поверхности. Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия. Измерение толщины оксида кремния

Заменен на ISO 14701:2018
 

17 страниц

Завершение срока действия 31.10.2018
Опубликован 02.08.2011

Surface chemical analysis -- X-ray photoelectron spectroscopy -- Measurement of silicon oxide thickness