ISO 14644-8:2006
Помещения чистые и связанные с ними контролируемые среды. Часть 8: Классификация воздушных молекулярных примесей

Заменен на ISO 14644-8:2013
 

26 страниц

Завершение срока действия 18.02.2013
Опубликован 10.08.2006

Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 8: Classification of airborne molecular contamination