ISO 14644-4:2001
Помещения чистые и связанные с ними контролируемые среды. Часть 4. Проектирование, строительство и ввод в эксплуатацию

 

58 страниц

Опубликован 01.04.2001

Cleanrooms and associated controlled environments. Part 4. Design, construction and start-up