ISO 14644-2:2000
Помещения чистые и связанные с ними контролируемые среды. Часть 2. Технические требования к испытанию и мониторингу для проверки постоянного соответствия стандарту ИСО 14644-1

Заменен на ISO 14644-2:2015
 

14 страниц

Завершение срока действия 09.12.2015
Опубликован 15.09.2000

Cleanrooms and associated controlled environments. Part 2. Specification for testing and monitoring to prove continued compliance with ISO 14644-1