ISO 14644-1:1999
Помещения чистые и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха

Заменен на ISO 14644-1:2015
 

24 страницы

Завершение срока действия 09.12.2015
Опубликован 01.05.1999

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 1: Classification of air cleanliness