ISO 14644-15:2017 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 15. Оценка пригодности к использованию оборудования и материалов по концентрации химических загрязнений в воздухе
Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 15: Assessment of suitability for use of equipment and materials by airborne chemical concentration
