ISO 14644-13:2017 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 13. Очистка поверхностей до определенных уровней чистоты относительно классификаций по концентрации частиц и по концентрации химических загрязнений
Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 13: Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical classifications
