ISO 14644-12:2018
Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 12. Технические требования к мониторингу чистоты воздуха по концентрации наноразмерных частиц

 

18 страниц

Опубликован 30.08.2018

Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 12: Specifications for monitoring air cleanliness by nanoscale particle concentration