ISO 14644-10:2013
Помещения чистые и связанные с ними контролируемые среды. Часть 10. Классификация чистоты поверхности по концентрации химических веществ

 

36 страниц

Опубликован 01.03.2013

Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration